基于LCP基板的平面螺旋电感设计与实现

平面螺旋电感作为射频微波电路的重要基础元器件,在电路中发挥着储能、滤波和阻抗匹配等关键作用,因此设计符合小体积高性能要求的平面螺旋电感显得尤为重要。基于液晶聚合物(LCP)基板制作了一系列平面螺旋电感,建立了适用于LCP基板的平面螺旋电感集总参数等效电路模型。系统研究了线圈匝数、金属线宽和线圈形状变化对电感有效值、品质因数(Q值)和自谐振频率的影响规律,并且通过在电感接地面引入缺陷地结构,减小了接地面对电感磁通量的束缚,从而在保持自谐振频率基本不变的情况下,使电感有效值和品质因数得到显著提高,因此缺陷地结构对减小电感体积和性能提升具有重大意义。

LCP柔性基板的薄膜电阻制作技术

针对液晶聚合物(LCP)柔性基板高频电子封装应用需求,采用一种薄膜溅射工艺直接在LCP柔性基板上制作TaN薄膜电阻,研究不同等离子体预处理方式对LCP表面形貌和LCP表面薄膜金属膜层附着强度的影响,进一步研究溅射气压和氮气体积分数等参数对电阻性能的影响,考察LCP柔性基板上的TaN薄膜电阻精度及电阻温度系数(TCR),并制备出50Ω的薄膜电阻。结果表明:当射频功率为300 W的氧等离子体预处理600 s时,LCP表面的面粗糙度低,LCP基板表面薄膜金属膜层附着强度高,其值>5.0 N/mm^(2);当溅射功率为400 W、氮气体积分数为3%、溅射气压为0.2 Pa时,制备的TaN薄膜电阻的阻值精度高,阻值精度≤±4%,TCR电阻稳定性能好。