期刊文献+
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
LIGA工艺在工程中的两类应用 被引量:5
1
作者 高杨 李枚 +2 位作者 彭良强 张菊芳 黄军容 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第10期883-888,共6页
本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 。
关键词 liga工艺 应用 密码锁 加速度开关 mems 微电子机械系统 同步辐射光剂 微电铸 微塑铸
下载PDF
微小型组合锁原理样机的研制 被引量:7
2
作者 高杨 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第14期1239-1242,共4页
报道了一种微小型组合锁原理样机的研制情况和结果。介绍了原理样机的系统结构设计、专用微小型电磁电机的设计与开发、UV-LIGA微细加工零件、控制电路、样机装配等内容。研制的原理样机外形尺寸小于15mm×20mm×25mm,功能满足... 报道了一种微小型组合锁原理样机的研制情况和结果。介绍了原理样机的系统结构设计、专用微小型电磁电机的设计与开发、UV-LIGA微细加工零件、控制电路、样机装配等内容。研制的原理样机外形尺寸小于15mm×20mm×25mm,功能满足设计要求,证明了装置系统设计的可行性,验证了微电机、微机械加工在组合锁装置微小型化中的应用价值。 展开更多
关键词 微电子机械系统 组合锁 微电机 UV—UGA
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部