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LIGA工艺在工程中的两类应用
被引量:
5
1
作者
高杨
李枚
+2 位作者
彭良强
张菊芳
黄军容
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第10期883-888,共6页
本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 。
关键词
liga
工艺
应用
密码锁
加速度开关
mems
微电子机械系统
同步辐射光剂
微电铸
微塑铸
下载PDF
职称材料
微小型组合锁原理样机的研制
被引量:
7
2
作者
高杨
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第14期1239-1242,共4页
报道了一种微小型组合锁原理样机的研制情况和结果。介绍了原理样机的系统结构设计、专用微小型电磁电机的设计与开发、UV-LIGA微细加工零件、控制电路、样机装配等内容。研制的原理样机外形尺寸小于15mm×20mm×25mm,功能满足...
报道了一种微小型组合锁原理样机的研制情况和结果。介绍了原理样机的系统结构设计、专用微小型电磁电机的设计与开发、UV-LIGA微细加工零件、控制电路、样机装配等内容。研制的原理样机外形尺寸小于15mm×20mm×25mm,功能满足设计要求,证明了装置系统设计的可行性,验证了微电机、微机械加工在组合锁装置微小型化中的应用价值。
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关键词
微电子机械系统
组合锁
微电机
UV—UGA
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职称材料
题名
LIGA工艺在工程中的两类应用
被引量:
5
1
作者
高杨
李枚
彭良强
张菊芳
黄军容
机构
上海交通大学微纳米科学技术研究院
中国工程物理研究院电子工程研究所
中国科学院高能物理研究所
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第10期883-888,共6页
文摘
本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 。
关键词
liga
工艺
应用
密码锁
加速度开关
mems
微电子机械系统
同步辐射光剂
微电铸
微塑铸
Keywords
liga
,
combination lock
,
acceleration switch
,
mems
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TG249.9 [金属学及工艺—铸造]
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职称材料
题名
微小型组合锁原理样机的研制
被引量:
7
2
作者
高杨
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第14期1239-1242,共4页
基金
武器装备预研共用技术项目(41305010301)
武器装备预研基金资助项目(514050401)
国防科技重点实验室基金资助项目(51485030404)
文摘
报道了一种微小型组合锁原理样机的研制情况和结果。介绍了原理样机的系统结构设计、专用微小型电磁电机的设计与开发、UV-LIGA微细加工零件、控制电路、样机装配等内容。研制的原理样机外形尺寸小于15mm×20mm×25mm,功能满足设计要求,证明了装置系统设计的可行性,验证了微电机、微机械加工在组合锁装置微小型化中的应用价值。
关键词
微电子机械系统
组合锁
微电机
UV—UGA
Keywords
mems
combination
lock
micromotor
UV-
liga
分类号
TJ43 [兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
LIGA工艺在工程中的两类应用
高杨
李枚
彭良强
张菊芳
黄军容
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002
5
下载PDF
职称材料
2
微小型组合锁原理样机的研制
高杨
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
7
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职称材料
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