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制作微模具的微机械加工技术应用与研究 被引量：2
1
作者 李静 《延安职业技术学院学报》 2014年第4期139-140,146,共3页
本文主要探讨微型模具的制作技术,重点介绍LIGA加工模具的技术,包括其原理、工艺特点等,简单介绍其他加工微模具的方法。
关键词 微模具 微机械加工技术 liga加工技术 微细加工技术
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MEMS微电子机械系统与自动化变送器的发展 被引量：1
2
作者 卞正岗 《可编程控制器与工厂自动化（PLC FA）》 2010年第5期30-30,32,34,共3页
本文概述了MEMS技术及它与过程自动化发展的关系。
关键词 智能微系统 liga加工技术 压力变送器 现场总线 无线变频器
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学习MEMS微电子机械系统,促进流程工业自动化发展
3
作者 卞正岗 《自动化博览》 2009年第4期22-24,共3页
本文概述了MEMS技术及它与过程自动化发展的关系。
关键词 智能微系统 liga加工技术 压力变送器 现场总线 无线变送器
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