新型LIGA掩摸板制造工艺研究

LIGA掩模板的制备是LIGA技术中的关键工艺。利用最近发展起来的硅感应耦合等离子体（ICP）深层刻蚀工艺开发出了新型LIGA掩模板。与其它类型的LIGA掩模板相比，该掩模板具有加工工艺简单、价格低廉等优点。利用该LIGA掩模板进行了LIGA技术的研究，得到了比较理想的结果。