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Al2O3颗粒对LiTaO3烧结性的影响 被引量:5
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作者 张有凤 周玉 +1 位作者 贾德昌 李宏宇 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期552-554,共3页
采用氮气保护热压烧结工艺制备纯LiTaO3压电陶瓷和Al2O3/LiTaO3(简称ALT)陶瓷复合材料,Al2O3p的体积分数(%)分别为0,5,10,15,20.加入少量Al2O3p后,LiTaO3致密度显著提高,ALT陶瓷复合材料的致密度均在99.5%以上.反之,LiTaO3p的加入也能... 采用氮气保护热压烧结工艺制备纯LiTaO3压电陶瓷和Al2O3/LiTaO3(简称ALT)陶瓷复合材料,Al2O3p的体积分数(%)分别为0,5,10,15,20.加入少量Al2O3p后,LiTaO3致密度显著提高,ALT陶瓷复合材料的致密度均在99.5%以上.反之,LiTaO3p的加入也能明显提高Al2O3的烧结致密度,而且能够显著降低Al2O3的烧结温度.XRD衍射结果表明,该复合材料中只有LiTaO3和Al2O3两相,无反应产物,说明经过1300℃热压烧结,Al2O3p和LiTaO3稳定共存,两者的化学相容性较好.SEM,TEM观察表明,Al2O3p弥散地分布于LiTaO3颗粒的晶界上,两者结合紧密,且材料内部不存在微裂纹,说明两者的热物理相容性也较好.在这个材料体系中,LiTaO3和Al2O3有很好的相容性. 展开更多
关键词 AL2O3P litao3 烧结性 致密度 相容性
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LiTaO3薄膜红外探测器热分析 被引量:2
2
作者 黄大贵 谢明君 +1 位作者 张德银 董政 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期637-640,共4页
利用有限元软件ANSYS对LiTaO3薄膜热释电红外探测器进行热分析;研究了敏感元绝热层的厚度与热导率以及基底的厚度及材料对热分析结果的影响;提出了优化方案,并给出优化前后仿真的对比结果。分析结果表明,探测器的热响应随绝热层的厚度... 利用有限元软件ANSYS对LiTaO3薄膜热释电红外探测器进行热分析;研究了敏感元绝热层的厚度与热导率以及基底的厚度及材料对热分析结果的影响;提出了优化方案,并给出优化前后仿真的对比结果。分析结果表明,探测器的热响应随绝热层的厚度增加而增加,随绝热层的热导率降低而增加。在硅、镍、蓝宝石三种基底材料中,使用蓝宝石的探测器的热响应效果最佳。在绝热层厚度为2μm的情况下,基底的厚度对探测器响应的影响可以忽略。实验测试结果证实了优化模型的有效性。 展开更多
关键词 ANSYS软件 litao3薄膜红外探测器 基底材料 热分析 绝热层
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气相质子交换LiTaO3光波导及其特性
3
作者 邓文渊 李玉善 +1 位作者 马少杰 鄂书林 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第0Z2期129-132,共4页
本文利用苯甲酸气相质子交换技术制备了LiTaO3光波导,测量了Z-切LiTaO3光波导的参数(交换深度d和表面折射率增量△nc)和X-切LiTaO3光波导的红外吸收谱,给出了光波导层的折射率分布,并与液相质子交换热退火光波导的结果进行了比较... 本文利用苯甲酸气相质子交换技术制备了LiTaO3光波导,测量了Z-切LiTaO3光波导的参数(交换深度d和表面折射率增量△nc)和X-切LiTaO3光波导的红外吸收谱,给出了光波导层的折射率分布,并与液相质子交换热退火光波导的结果进行了比较。实验结果表明:非寻常折射率分布与热退火液相质子交换方法制备的LiTaO3光波导基本相近,但表面非寻常折射率增量(△nc)更大,其折射率分布更接近于高斯型。 展开更多
关键词 气相质子交换 litao3晶体 光波导 钛酸锂晶体 折射率分布 波导参数 气相压 热退火处理 特性
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非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3 SAW基板
4
作者 商晓莉 公勋 +1 位作者 熊军 章德 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第1期4-5,8,共3页
研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2)。非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36... 研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2)。非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36°Y-X LiTaO3上时,在膜厚仅为传统SiO2薄膜的1/3情况下就可实现零延迟温度系数。另外,该结构中被利用的1阶Love波模式很纯,没有和其他模式明显的耦合,而且其k2高达8.61%。故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW应用材料。 展开更多
关键词 延迟温度系数(TCD) 非晶态TeO2薄膜 36°Y-X litao3 LOVE波 层状结构 声表面波(SAW)
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LiTaO3晶片CMP过程的化学去除机理研究 被引量:1
5
作者 杜宏伟 魏昕 +2 位作者 林悦香 潘志国 江景涛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期242-244,共3页
通过化学腐蚀方法研究了LiTaO3(LT)晶片的化学机械抛光的化学腐蚀机理,研究了LiTaO3单晶的化学机械抛光过程腐蚀作用的主要影响因素及其影响规律,获得了LiTaO3晶片CMP过程有效的氧化剂和稳定剂。采用X衍射测量抛光表面的结构变化,分析... 通过化学腐蚀方法研究了LiTaO3(LT)晶片的化学机械抛光的化学腐蚀机理,研究了LiTaO3单晶的化学机械抛光过程腐蚀作用的主要影响因素及其影响规律,获得了LiTaO3晶片CMP过程有效的氧化剂和稳定剂。采用X衍射测量抛光表面的结构变化,分析了晶片表面在不同抛光液条件下发生的变化。研究结果为优化LiTaO3CMP工艺参数,进一步探讨化学机械抛光机理提供了依据。 展开更多
关键词 钽酸锂 化学机械抛光 化学腐蚀 抛光液
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Low External Electric Field Periodic Poling of Thick LiTaO3
6
作者 Chen Yunlin Guo Juan Lou Cibo Huang Ziheng Chen Shaolin Zhang Guangyin 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第z1期128-130,共3页
A promising method of ferroelectric domain inverted structures was demonstrated, which allows us to fabricate thicker domain inverted patterns by applying a lower external electric field in LiTaO3 crystal. The externa... A promising method of ferroelectric domain inverted structures was demonstrated, which allows us to fabricate thicker domain inverted patterns by applying a lower external electric field in LiTaO3 crystal. The external field for the domain reversal of the 1.5 mm thick LiTaO3 at 500 ℃ was only 6 V·mm-1, which is lower by three orders of magnitude than that in LiTaO3 crystal at room temperature. The process of the domain inversion structure was also studied. The fabrication techniques are based on controlled temperature and field duration time. 展开更多
关键词 litao3 crystal FERROELECTRIC domain INVERTED
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3-15 First-principle Investigation of LiTaO3
7
作者 He Wenhao Gao Xing Wang Zhiguang 《IMP & HIRFL Annual Report》 2014年第1期106-106,共1页
As an important multi-functional material applied in surface acoustic wave devices, optical communications,laser and optoelectronics due to its good photoelectric and piezoelectric properties, lithium tantalate (LiTaO... As an important multi-functional material applied in surface acoustic wave devices, optical communications,laser and optoelectronics due to its good photoelectric and piezoelectric properties, lithium tantalate (LiTaO3) hasdrawn extensive interests[1]. Numerous physical properties of LiTaO3, such as acoustical, electronic structures,optical properties and effective mass, thermodynamic properties, have been reported in several papers.Point defects will affect the electronic structure which should be responsible for many physical properties,especially optical properties. 展开更多
关键词 FIRST-PRINCIPLE INVESTIGATION litao3
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Z切LiTaO3单晶的冲击相变
8
作者 李俊 周显明 +4 位作者 李加波 李赛男 祝文军 王翔 经福谦 《中国工程物理研究院科技年报》 2008年第1期11-12,共2页
高压相变是高压科学研究中的一个热点课题,它探索和揭示物质在高温高压极端条件下结构和物态变化的临界现象和规律,在凝聚态物理、材料科学、地球和行星科学研究中占有重要的地位,同时也是武器物理研究的一项重要内容。LiTaO3是一种... 高压相变是高压科学研究中的一个热点课题,它探索和揭示物质在高温高压极端条件下结构和物态变化的临界现象和规律,在凝聚态物理、材料科学、地球和行星科学研究中占有重要的地位,同时也是武器物理研究的一项重要内容。LiTaO3是一种重要的功能材料,且具有典型的ABO3晶体结构。有关它的高压相变研究,目前人们从有限的静压和动高压实验数据获得的认识还存在较大的分歧,如相变起始压力报道差别较大,高压相结构还不很清楚,有较高的科学研究价值。本项目通过冲击压缩实验结合第一性原理理论计算开展了LiTaO3单晶的冲击相变研究。 展开更多
关键词 litao3 冲击相变 单晶 科学研究价值 凝聚态物理 高压相变 晶体结构 第一性原理
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在GaAs基板上外延生长的LiTaO3光学薄膜
9
作者 高晓萍 《光机电信息》 1995年第4期38-38,共1页
关键词 litao3 光学薄膜 外延生长 GaAs基板 半导体激光器 SHG器件 光调制器件
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Observation of inhomogeneity in congruent LiTaO3 crystal
10
作者 X.B.Hu H.D.Jiang +5 位作者 H.Liu S.S.Jiang Q.Li J.Y.Wang C.Q.Zhang B.Ten 《Beijing Synchrotron Radiation Facility》 2001年第2期142-144, ,共3页
The inhomogeneity in a congrunet LiTaO3 crystal has been observed by transmission synchrotron topography.Many extraordinary regions exist in congruent LiTaO3 crystal and they often show diffraction intensity different... The inhomogeneity in a congrunet LiTaO3 crystal has been observed by transmission synchrotron topography.Many extraordinary regions exist in congruent LiTaO3 crystal and they often show diffraction intensity different from that of ordinary regions in synchrotron topographs.Differential thermal analysis indiates that the Curie temperature of the extraordinary region is lower than that of ordinary region,and the extraordinary region is really a high defect density region.The diffraction contrast of the extraordinary region in synchrotron topographs is explained qualitatively by a calculation at the selected wavelength.2001 Published by Elsevier Science B.V. 展开更多
关键词 litao3晶体 钽酸锂晶体 同步辐射形貌术 结构分析 X射线分析
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大尺寸掺镁化学计量比LiNbO3、LiTaO3光学超晶格材料和全固态白光激光器
11
作者 刘辉 《中国科技成果》 2010年第10期14-14,共1页
本课题主要在我们已有的工作基础上,改进微结构材料的极化制备技术,研制大尺寸、高损伤阈值的掺镁化学计量比铌酸锂(MgSLN)和钽酸锂(MgSLT)光学超晶格材料,同时优化超晶格结构设计,研究多个非线性光学耦合过程的方案,研制出输... 本课题主要在我们已有的工作基础上,改进微结构材料的极化制备技术,研制大尺寸、高损伤阈值的掺镁化学计量比铌酸锂(MgSLN)和钽酸锂(MgSLT)光学超晶格材料,同时优化超晶格结构设计,研究多个非线性光学耦合过程的方案,研制出输出大功率全固态红、绿、蓝三基色激光器和准白光激光器,解决材料和器件产业化方面的关键技术,为最终实现产业化奠定基础。 展开更多
关键词 光学超晶格材料 化学计量比铌酸锂 LINBO3 激光器 litao3 大尺寸 全固态 掺镁
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磁控溅射法制备LiTaO3薄膜及其结晶性能研究
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作者 孙斌玮 杨明 +2 位作者 苟君 王军 蒋亚东 《半导体光电》 CAS 北大核心 2019年第6期806-809,814,共5页
用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上沉积了LiTaO3薄膜,并在氧气气氛中不同温度下进行退火。采用SEM、XRD、XPS等表征方法分析了薄膜的结晶性能、各元素化学价态和元素原子百分比。结果表明,经700℃退火处理1h得到的薄膜结晶性... 用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上沉积了LiTaO3薄膜,并在氧气气氛中不同温度下进行退火。采用SEM、XRD、XPS等表征方法分析了薄膜的结晶性能、各元素化学价态和元素原子百分比。结果表明,经700℃退火处理1h得到的薄膜结晶性能最好,在(104)晶向上具有强烈的择优取向性。薄膜退火温度的升高导致薄膜中Li空位缺陷和O空位缺陷减少。研究表明,薄膜中O/Li的原子比对结晶性能有着非常明显的影响,原子值越接近晶体化学计量比,结晶性能越好。 展开更多
关键词 钽酸锂 铁电薄膜 射频磁控溅射 结晶性能 近化学计量比
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衬底效应对LiTaO_3薄膜制备的影响 被引量:5
13
作者 张德银 黄大贵 +2 位作者 李金华 但迪迪 董政 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期660-662,669,共4页
用溶胶凝胶法在N型硅、P型硅、石英、铂、镍衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,用XRD和SEM对钽酸锂薄膜性能参数进行了表征;发现掺杂少量环氧树脂能提高钽酸锂薄膜的均匀性,改善薄膜与衬底的粘附性;研究了衬底效应与薄膜厚度的关系,薄膜... 用溶胶凝胶法在N型硅、P型硅、石英、铂、镍衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,用XRD和SEM对钽酸锂薄膜性能参数进行了表征;发现掺杂少量环氧树脂能提高钽酸锂薄膜的均匀性,改善薄膜与衬底的粘附性;研究了衬底效应与薄膜厚度的关系,薄膜厚度超过0.2μm,Ni衬底的XRD峰值强度几乎不再出现,说明衬底对薄膜初始结晶取向有重要影响;利用不同衬底上生长钽酸锂薄膜,XRD研究结果表明:N型硅、P型硅、石英衬底上只能制备多晶钽酸锂薄膜,铂衬底上制备的钽酸锂薄膜在(012)晶向有强大的择优取向性,镍衬底上制备的钽酸锂薄膜有更好的C轴择优取向性,C轴择优取向系数可达0.082。 展开更多
关键词 litao3 择优晶向 溶胶凝胶 衬底效应 薄膜
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Love波传感器及其质量灵敏度测试 被引量:8
14
作者 胡友旺 史建亮 +1 位作者 贾宏光 吴一辉 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2126-2129,2134,共5页
为实现流体领域的液相传感,设计并制作了基于36°-YXLiTaO3作为压电衬底、PMMA薄膜作为波导层的Love波传感器;通过微电流电铸实验测量得到Love波传感器的质量灵敏度为-2.281g-1cm2.分析了波导层厚度、器件温度和电铸电极的厚度三个... 为实现流体领域的液相传感,设计并制作了基于36°-YXLiTaO3作为压电衬底、PMMA薄膜作为波导层的Love波传感器;通过微电流电铸实验测量得到Love波传感器的质量灵敏度为-2.281g-1cm2.分析了波导层厚度、器件温度和电铸电极的厚度三个因素对灵敏度的影响,为进一步提高灵敏度提供了参考. 展开更多
关键词 LOVE波传感器 litao3 PMMA 灵敏度
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声表面波器件用Y36°切LiTaO_3晶片表面加工研究 被引量:14
15
作者 夏宗仁 李春忠 崔坤 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期419-421,共3页
采用双晶摆动曲线法测量了钽酸锂晶片的加工损伤层 ,其平均值在 2 6 .2~ 5 2 .8μm之间 ;根据工序要求 ,选取加工余量为 15 0 μm左右 ,采用天然石榴石研磨粉 ,适当的磨料浓度、添加悬浮剂、分散剂以避免产生缺陷 ,并采用化学机械抛光... 采用双晶摆动曲线法测量了钽酸锂晶片的加工损伤层 ,其平均值在 2 6 .2~ 5 2 .8μm之间 ;根据工序要求 ,选取加工余量为 15 0 μm左右 ,采用天然石榴石研磨粉 ,适当的磨料浓度、添加悬浮剂、分散剂以避免产生缺陷 ,并采用化学机械抛光法 ,可获得较高加工质量的声表面波器件用Y36°切LiTaO3 展开更多
关键词 litao3晶体 损伤层 Beiliby层 声表面波器件 锂酸锂晶片 表面加工 终端机
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溶胶-凝胶法合成LiTaO_3粉体的烧结和介电性能 被引量:3
16
作者 胡建辉 刘艳改 +3 位作者 范佶 卫礼贤 房明浩 黄朝晖 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第A02期326-328,共3页
采用溶胶凝胶法合成LiTaO3粉体,并探讨溶胶-凝胶过程中的工艺条件对LiTaO3陶瓷制备的影响。结果表明:在CA(柠檬酸):Ta=4:1条件下制备的LiTaO3粉体在1150℃烧结后试样的相对密度可达到92.3%;相对介电常数可达到147,介电损耗低为1.63。
关键词 litao3 溶胶-凝胶法 柠檬酸与钽离子比 烧结 介电性能
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质子交换LiTaO_3光波导特性及晶格常数变化 被引量:2
17
作者 马少杰 廖燕平 +3 位作者 邓文渊 张红坡 李玉善 刘弦 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期417-421,共5页
采用气相质子交换方法,在Z-切LiTaO3晶体表面制备平面光滑波导层。样品制备采用245℃苯甲酸气体,在 LiTaO3晶体在-C和+C表面交换 8~20 小时。质子交换层在 LiTaO3表面形成,并用棱镜耦合测量波导样品... 采用气相质子交换方法,在Z-切LiTaO3晶体表面制备平面光滑波导层。样品制备采用245℃苯甲酸气体,在 LiTaO3晶体在-C和+C表面交换 8~20 小时。质子交换层在 LiTaO3表面形成,并用棱镜耦合测量波导样品。然后在HF:HNO3酸中用化学方法腐蚀波导层,并用电子显微镜观测光波导层与衬底界面的形貌。用X射线衍射法,测量LiTaO3质子交换光波层的晶格常数变化。用双晶X射线测量质子交换(PE)和退火质子交换(APE)波导层晶格常数的变化。样品的X射线衍射曲线表明,PE和APE波导晶格常数的变化不同。实验中,还测量了有无极畴反转LiTaO3晶格常数的改变。 展开更多
关键词 质子交换光波导 litao3 晶格常数 钽酸锂 晶体
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LiTaO_3颗粒增韧Al_2O_3陶瓷复合材料的制备与性能 被引量:5
18
作者 刘艳改 周玉 贾德昌 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期40-42,共3页
通过冷等静压成型空气气氛下无压烧结把 L i Ta O3压电陶瓷颗粒作为增韧相引入 Al2 O3结构陶瓷 ,结果发现 ,L i Ta O3与 Al2 O3在 130 0℃烧结后能稳定共存 ,L i Ta O3颗粒弥散均匀分布 ;L i Ta O3的加入改善了 Al2 O3陶瓷的烧结性能 ;L... 通过冷等静压成型空气气氛下无压烧结把 L i Ta O3压电陶瓷颗粒作为增韧相引入 Al2 O3结构陶瓷 ,结果发现 ,L i Ta O3与 Al2 O3在 130 0℃烧结后能稳定共存 ,L i Ta O3颗粒弥散均匀分布 ;L i Ta O3的加入改善了 Al2 O3陶瓷的烧结性能 ;L i Ta O3颗粒含量适中的 Al2 O3基陶瓷复合材料的力学性能显著提高。 展开更多
关键词 颗粒增韧 制备 性能 AL2O3 陶瓷复合材料 litao3 氧化铝 钽酸锂 组织
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Al_2O_3颗粒对LiTaO_3压电陶瓷增强增韧机制的探讨 被引量:3
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作者 张有凤 周玉 +1 位作者 贾德昌 孟庆昌 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2009年第22期72-74,78,共4页
采用氮气保护热压烧结工艺制备Al2O3/LiTaO3(简称ALT)陶瓷基复合材料,研究了Al2O3颗粒对LiTaO3压电陶瓷增强增韧的机制。结果表明,ALT陶瓷复合材料的相对密度比烧结纯LiTaO3陶瓷的高得多,且其各项力学性能均有明显的提高;Al2O3的加入起... 采用氮气保护热压烧结工艺制备Al2O3/LiTaO3(简称ALT)陶瓷基复合材料,研究了Al2O3颗粒对LiTaO3压电陶瓷增强增韧的机制。结果表明,ALT陶瓷复合材料的相对密度比烧结纯LiTaO3陶瓷的高得多,且其各项力学性能均有明显的提高;Al2O3的加入起到烧结助剂的作用;Al2O3第二相加入后对LiTaO3压电陶瓷起到弥散强化作用,其增韧机理为ALT复合材料中残余应力场和裂纹偏转增韧。 展开更多
关键词 litao3 AL2O3P 增韧机理 陶瓷复合材料
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Al_2O_3含量对Al_2O_3/LiTaO_3复合陶瓷介电性能的影响 被引量:2
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作者 张有凤 周玉 +1 位作者 贾德昌 孟庆昌 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1189-1192,共4页
采用热压烧结法制备了Al2O3/LiTaO3(ALT)陶瓷复合材料,研究了Al2O3不同体积含量(5vol%、10vol%、15vol%和20vol%)对LiTaO3压电陶瓷介电性能的影响.结果表明:随着频率的增加,不同Al2O3含量的ALT陶瓷复合材料的介电常数和介电损耗均降低,... 采用热压烧结法制备了Al2O3/LiTaO3(ALT)陶瓷复合材料,研究了Al2O3不同体积含量(5vol%、10vol%、15vol%和20vol%)对LiTaO3压电陶瓷介电性能的影响.结果表明:随着频率的增加,不同Al2O3含量的ALT陶瓷复合材料的介电常数和介电损耗均降低,但降低的幅度不同.少量Al2O3(5vol%)的添加既能增大材料的介电常数同时又降低了材料的介电损耗,但是随着Al2O3含量的继续增加,ALT陶瓷复合材料的介电常数和介电损耗都增大,其居里温度先升高后降低.Al2O3作为第二相不但能促进LiTaO3陶瓷烧结致密,而且对ALT陶瓷复合材料的介电性能也有提高. 展开更多
关键词 litao3 AL2O3 介电性能 复合陶瓷
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