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应用于硅基等离子天线的LPIN二极管的自加热效应 被引量:1
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作者 刘会刚 梁达 +3 位作者 张时雨 廖沁悦 任立儒 耿卫东 《半导体光电》 CAS 北大核心 2015年第5期698-703,共6页
介绍了LPIN二极管及其在硅基等离子天线方面的应用,从理论上分析了LPIN二极管自加热效应及其对本征区载流子浓度的影响。仿真分析了不同SOI埋层材料对LPIN二极管本征区载流子浓度的影响。仿真结果显示,LPIN二极管的自加热效应会降低其... 介绍了LPIN二极管及其在硅基等离子天线方面的应用,从理论上分析了LPIN二极管自加热效应及其对本征区载流子浓度的影响。仿真分析了不同SOI埋层材料对LPIN二极管本征区载流子浓度的影响。仿真结果显示,LPIN二极管的自加热效应会降低其本征区载流子浓度,通过改变埋层的材料,增加埋层的热导率,可以减弱自加热效应,从而增加本征区载流子浓度,提高硅基等离子天线效率。 展开更多
关键词 硅基等离子天线 lpin二极管 自加热效应 载流子浓度 埋层
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