基于杂质离子含量评价的LTPS-LCD面板测量体系

残像是影响液晶显示器(LCD)面板品质的重要因素,残像的不良改善已成为面板工厂持续性研究课题。残像程度与杂质离子的含量正相关,为了实现对低温多晶硅(LTPS)LCD盒内杂质离子含量的监控,本文系统地对LTPS-LCD面板测试盒测量体系进行了研究,并对该测量体系的稳定性、分辨能力进行了探讨。首先针对LTPS技术的面板设计了一种新的测试盒,然后采用液晶电压保持率(Voltage Holding Residual,VHR)评价盒内杂质离子含量,运用测量系统分析方法对其可靠性进行评估,最后通过对比不同紫外线(UV)照射时间与光配向烘烤时间下VHR的变化分析其分辨力。实验结果表明该测量体系的量具重复性、再现性(Gage R&R%)为10.77%,变异与流程公差(P/T)为26.93%<30%,可区分数为13>5,不同批次VHR均值维持在93%~95%,测量结果可靠、稳定,并能有效识别出VHR差异。本文设计的测试盒符合LTPS-LCD面板产业对杂质离子含量监测需求,可为工厂实际生产中杂质离子的监控提供参考。