LV/HV兼容N-Well CMOS芯片与制程结构

LV/HV兼容N-Well CMOS技术,该技术能够实现低压5 V与高压100~700 V(或更高)兼容CMOS工艺。为了便于高低压MOS器件兼容集成,采用具有漂移区的偏置栅结构的HV MOS器件。改变漂移区参数可以得到不同的高压。使用MOS芯片结构设计﹑工艺与制造技术,依该技术得到了芯片制程结构。

LV/HV兼容CMOS芯片与制程结构

LV/HV兼容CMOS技术,该技术能够实现低压5 V与高压100~700 V(或更高)兼容的CMOS工艺。为了便于高低压MOS器件兼容集成,采用具有漂移区的偏置栅结构的HV MOS器件。改变漂移区的长度,宽度,结深度以及掺杂浓度等可以得到高电压。采用MOS集成电路芯片结构设计、工艺与制造技术,依该技术得到了芯片制程结构。

LV/HV兼容Twice-Well CMOS芯片与制程结构

LV/HV兼容Twice-Well CMOS技术,该技术能够实现低压5 V与高压100 V^700 V(或更高)兼容CMOS工艺。为了便于高低压MOS器件兼容集成,采用比通常浅双阱更深的阱,形成其漂移区的偏置栅结构的HV MOS器件。采用MOS芯片结构设计、工艺与制造技术,依该技术得到了芯片制程结构。

LV/HV P-Well BCD[B]技术(1)的芯片与制程剖面结构

LV/HV P-Well BCD[B]技术(1)能够实现低压5 V与高压100～700 V(或更高)兼容的BCD工艺。为了便于高低压MOS器件兼容集成,采用源区为硼磷双扩散形成沟道的具有漂移区的偏置栅结构的HV LDMOS器件。改变漂移区的长度,宽度,结深度以及掺杂浓度等可以得到不同的高电压。采用MOS集成电路芯片结构设计﹑工艺与制造技术,依该技术得到了芯片制程结构。

LV/HV P-Well BCD[B]芯片工艺技术(2)的制程剖面结构

LV/HV P-Well BCD[B]技术(2)能够实现低压5 V与高压100~700 V(或更高)兼容的BCD工艺。为了便于高低压MOS器件兼容集成,采用源区为硼磷双扩散形成沟道的具有漂移区的偏置栅结构的HV VDMOS器件。改变漂移区的长度,宽度,结深度以及掺杂浓度等可以得到高电压。采用MOS集成电路芯片结构设计、工艺与制造技术,依该技术得到了芯片制程结构。

LV/HV Twin-Well BCD[B]技术(1)芯片与制程剖面结构

LV/HV Twin-Well BCD[B]技术(1)能够实现低压5 V与高压100～700 V (或更高)兼容的BCD工艺。为了便于高低压MOS器件兼容集成,采用源区为硼磷双扩散形成沟道的具有漂移区的偏置栅结构的HV LDMOS器件。改变漂移区的长度,宽度,结深度以及掺杂浓度等可以得到不同的高电压。采用MOS集成电路芯片结构设计﹑工艺与制造技术,依该技术得到了芯片制程结构。

LV/HV P-Well BCD[C]芯片与制程剖面结构

LV/HV P-Well BCD[C]技术能够实现低压5 V与高压100~700 V(或更高)兼容的BCD工艺。为了便于高低压MOS器件兼容集成,采用源区为硼磷双扩散形成沟道的具有漂移区的偏置栅结构的HV LDMOS器件。改变漂移区的长度,宽度,结深度以及掺杂浓度等可以得到高电压。采用MOS集成电路芯片结构设计﹑工艺与制造技术,依该技术得到了芯片制程结构。

LV/HV Twin-Well BCD[B]技术(2)芯片与制程剖面结构

LV/HV Twin-Well BCD[B]技术(2)能够实现MOS器件低压5 V与高压100~700 V (或更高)和双极型器件低压5 V与高压30~100 V兼容的BCD工艺。为了便于高低压器件兼容集成,采用源区为硼磷双扩散形成沟道的具有漂移区的偏置栅结构的HV LDMOS器件,亦同时形成HV双极型器件。改变漂移区的长度,宽度,结深度以及掺杂浓度等可以得到不同的高电压。采用芯片结构设计、工艺与制造技术,依该技术得到了芯片制程结构。