期刊文献+
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
磁控溅射SiC/W纳米多层膜的微结构研究 被引量:4
1
作者 杨晓豫 蔡珣 +1 位作者 李莹 张流强 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第6期412-416,共5页
用磁控溅射法在Si基底上制备了不同调制波长的SiC/W纳米多层膜。利用小角度X射线衍射技术(LXD),详细研究了其中典型的多层膜的调制周期性,各子层的厚度及界面平整度等界面微观结构。结果表明:磁控溅射法制备的纳米多层膜具有较好... 用磁控溅射法在Si基底上制备了不同调制波长的SiC/W纳米多层膜。利用小角度X射线衍射技术(LXD),详细研究了其中典型的多层膜的调制周期性,各子层的厚度及界面平整度等界面微观结构。结果表明:磁控溅射法制备的纳米多层膜具有较好的周期结构及陡峭的界面梯度,由衍射峰位置计算出的界面不均匀度与子层厚度之比一般在5%以内。另外,对于小角度X射线衍射谱线中的所谓峰分裂现象进行了分析和计算。 展开更多
关键词 纳米多层膜 lxd 界面微结构 纳米材料
下载PDF
BP-2A型微机母线保护装置的应用 被引量:1
2
作者 高清华 高颂 《黑龙江科技信息》 2010年第35期7-7,共1页
随着电力事业的发展,母线保护相继从常规继电器保护改为微机保护,其型号为BP-2A。
关键词 BP-2A lxd CQJ 区内故障 区外故障 死区保护
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部