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磁控溅射SiC/W纳米多层膜的微结构研究
被引量:
4
1
作者
杨晓豫
蔡珣
+1 位作者
李莹
张流强
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1997年第6期412-416,共5页
用磁控溅射法在Si基底上制备了不同调制波长的SiC/W纳米多层膜。利用小角度X射线衍射技术(LXD),详细研究了其中典型的多层膜的调制周期性,各子层的厚度及界面平整度等界面微观结构。结果表明:磁控溅射法制备的纳米多层膜具有较好...
用磁控溅射法在Si基底上制备了不同调制波长的SiC/W纳米多层膜。利用小角度X射线衍射技术(LXD),详细研究了其中典型的多层膜的调制周期性,各子层的厚度及界面平整度等界面微观结构。结果表明:磁控溅射法制备的纳米多层膜具有较好的周期结构及陡峭的界面梯度,由衍射峰位置计算出的界面不均匀度与子层厚度之比一般在5%以内。另外,对于小角度X射线衍射谱线中的所谓峰分裂现象进行了分析和计算。
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关键词
纳米多层膜
lxd
界面微结构
纳米材料
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职称材料
BP-2A型微机母线保护装置的应用
被引量:
1
2
作者
高清华
高颂
《黑龙江科技信息》
2010年第35期7-7,共1页
随着电力事业的发展,母线保护相继从常规继电器保护改为微机保护,其型号为BP-2A。
关键词
BP-2A
lxd
CQJ
区内故障
区外故障
死区保护
下载PDF
职称材料
题名
磁控溅射SiC/W纳米多层膜的微结构研究
被引量:
4
1
作者
杨晓豫
蔡珣
李莹
张流强
机构
上海交通大学材料科学系
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1997年第6期412-416,共5页
基金
金属基复合材料国家重点实验室资助
文摘
用磁控溅射法在Si基底上制备了不同调制波长的SiC/W纳米多层膜。利用小角度X射线衍射技术(LXD),详细研究了其中典型的多层膜的调制周期性,各子层的厚度及界面平整度等界面微观结构。结果表明:磁控溅射法制备的纳米多层膜具有较好的周期结构及陡峭的界面梯度,由衍射峰位置计算出的界面不均匀度与子层厚度之比一般在5%以内。另外,对于小角度X射线衍射谱线中的所谓峰分裂现象进行了分析和计算。
关键词
纳米多层膜
lxd
界面微结构
纳米材料
Keywords
Nano-laminated film,Low-angle X-ray diffraction (
lxd
),Interface microstructure,Altermative length
分类号
O48 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
BP-2A型微机母线保护装置的应用
被引量:
1
2
作者
高清华
高颂
机构
黑龙江华电富拉尔基发电有限公司
出处
《黑龙江科技信息》
2010年第35期7-7,共1页
文摘
随着电力事业的发展,母线保护相继从常规继电器保护改为微机保护,其型号为BP-2A。
关键词
BP-2A
lxd
CQJ
区内故障
区外故障
死区保护
分类号
TM773 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁控溅射SiC/W纳米多层膜的微结构研究
杨晓豫
蔡珣
李莹
张流强
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1997
4
下载PDF
职称材料
2
BP-2A型微机母线保护装置的应用
高清华
高颂
《黑龙江科技信息》
2010
1
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职称材料
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