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零声表面波频率温度系数方向的硅酸镓镧晶体生长
1
作者
张健
王继扬
+3 位作者
于永贵
张怀金
王春雷
丛恒将
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期379-383,400,共6页
采用提拉法生长了高质量、大尺寸、结构完整的声表面波零温度系数切向LGS晶体。XRD图谱显示,生长的晶体为单一相LGS晶体,晶格常数为a=0.816274 nm,c=0.509253 nm,密度为5.7463 g/cm3。压电常数、介电常数、热膨胀性能等与传统方向生长...
采用提拉法生长了高质量、大尺寸、结构完整的声表面波零温度系数切向LGS晶体。XRD图谱显示,生长的晶体为单一相LGS晶体,晶格常数为a=0.816274 nm,c=0.509253 nm,密度为5.7463 g/cm3。压电常数、介电常数、热膨胀性能等与传统方向生长的晶体一致。用此方向生长的LGS晶体制作声表面波频率温度性能优化的切片,只需要垂直生长方向进行切割,可以大大简化晶体的加工工艺、提高LGS晶体的利用率,节省材料成本。
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关键词
硅酸镓镧
晶体生长
声表面波
频率温度系数
晶体切割利用率
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职称材料
题名
零声表面波频率温度系数方向的硅酸镓镧晶体生长
1
作者
张健
王继扬
于永贵
张怀金
王春雷
丛恒将
机构
山东大学晶体材料国家重点实验室
山东大学网络与信息中心
山东大学物理与微电子学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期379-383,400,共6页
基金
国家自然科学基金委重大基金项目(No.50590401)
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放课题
文摘
采用提拉法生长了高质量、大尺寸、结构完整的声表面波零温度系数切向LGS晶体。XRD图谱显示,生长的晶体为单一相LGS晶体,晶格常数为a=0.816274 nm,c=0.509253 nm,密度为5.7463 g/cm3。压电常数、介电常数、热膨胀性能等与传统方向生长的晶体一致。用此方向生长的LGS晶体制作声表面波频率温度性能优化的切片,只需要垂直生长方向进行切割,可以大大简化晶体的加工工艺、提高LGS晶体的利用率,节省材料成本。
关键词
硅酸镓镧
晶体生长
声表面波
频率温度系数
晶体切割利用率
Keywords
la3ga5sio4 crystal
crystal
growth
SAW
TCF
crystal
utilization rate
分类号
O78 [理学—晶体学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
零声表面波频率温度系数方向的硅酸镓镧晶体生长
张健
王继扬
于永贵
张怀金
王春雷
丛恒将
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
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职称材料
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