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NIPT-plus筛查染色体MMS的应用评价
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作者 陈英 童晓青 +3 位作者 余学高 黄浩 黄彬 陈培松 《分子诊断与治疗杂志》 2024年第1期10-14,共5页
目的探讨扩展性无创产前检测(NIPT-plus)在筛查染色体微缺失/重复综合征(MMS)上的应用。方法选取中山大学附属第一医院2018年1月至2020年12月3860例孕妇及2022年10例室间质评样本的NIPT和NIPT-plus检测结果,其中24例孕妇进行染色体微阵... 目的探讨扩展性无创产前检测(NIPT-plus)在筛查染色体微缺失/重复综合征(MMS)上的应用。方法选取中山大学附属第一医院2018年1月至2020年12月3860例孕妇及2022年10例室间质评样本的NIPT和NIPT-plus检测结果,其中24例孕妇进行染色体微阵列分析(CMA)产前诊断。结果24例孕妇及10例质评样本NIPT-plus游离DNA浓度明显高于NIPT,总测序数据量提高了1.39~1.58倍,有效测序数据量提高了1.20~1.35倍;24例孕妇样本NIPT-plus提示1例18-三体,1例21-三体,2例MMS,NIPT提示1例18-三体,1例21-三体;10例质评样本NIPT-plus提示9例MMS且9号样本同时存在性染色体非整倍体(SCAs),NIPT仅提示1例SCAs。结论在本院系统检测范围内NIPT-plus能有效应用于MMS的筛查,减少出生缺陷。 展开更多
关键词 扩展性无创产前检测 染色体微缺失/重复综合征 灵敏度
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The DNA damage repair complex MoMMS21-MoSMC5 is required for infection-related development and pathogenicity of Magnaporthe oryzae
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作者 Yue Jiang Rong Wang +8 位作者 Lili Du Xueyu Wang Xi Zhang Pengfei Qi Qianfei Wu Baoyi Peng Zonghua Wang Mo Wang Ya Li 《Journal of Integrative Agriculture》 SCIE CAS CSCD 2024年第6期1956-1966,共11页
The conserved DNA damage repair complex,MMS21-SMC5/6(Methyl methane sulfonate 21-Structural maintenance of chromosomes 5/6),has been extensively studied in yeast,animals,and plants.However,its role in phytopathogenic ... The conserved DNA damage repair complex,MMS21-SMC5/6(Methyl methane sulfonate 21-Structural maintenance of chromosomes 5/6),has been extensively studied in yeast,animals,and plants.However,its role in phytopathogenic fungi,particularly in the highly destructive rice blast fungus Magnaporthe oryzae,remains unknown.In this study,we functionally characterized the homologues of this complex,MoMMS21 and MoSMC5,in M.oryzae.We first demonstrated the importance of DNA damage repair in M.oryzae by showing that the DNA damage inducer phleomycin inhibited vegetative growth,infection-related development and pathogenicity in this fungus.Additionally,we discovered that MoMMS21 and MoSMC5 interacted in the nuclei,suggesting that they also function as a complex in M.oryzae.Gene deletion experiments revealed that both MoMMS21 and MoSMC5 are required for infection-related development and pathogenicity in M.oryzae,while only MoMMS21 deletion affected growth and sensitivity to phleomycin,indicating its specific involvement in DNA damage repair.Overall,our results provide insights into the roles of MoMMS21 and MoSMC5 in M.oryzae,highlighting their functions beyond DNA damage repair. 展开更多
关键词 Magnaporthe oryzae mms21 SMC5 DNA damage repair PATHOGENICITY
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MMS系统在贸易交接计量中的应用
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作者 阎立学 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第2期0107-0110,共4页
质量流量计因其测量准确度高和使用简单方便,被广泛应用于石油石化贸易计量交接领域。但对连续和非连续计量而言,物料汽化是造成流量计计量失准的常见原因之一。如何及时、精确判断物料是否汽化是影响计量准确性的重要因素。但在长期运... 质量流量计因其测量准确度高和使用简单方便,被广泛应用于石油石化贸易计量交接领域。但对连续和非连续计量而言,物料汽化是造成流量计计量失准的常见原因之一。如何及时、精确判断物料是否汽化是影响计量准确性的重要因素。但在长期运行过程中也难免发生一些故障,不能被及时发现和处理。导致计量交接过程中缺少有效追踪和数据支持,进而产生计量纠纷的问题。本文介绍了如何利用质量流量计远程智能诊断系统(简称MMS)实现现场仪表的实时监控和远程智能诊断。通过运用质量流量计远程智能诊断系统可强化计量过程监督,实时对现场仪表运行状态进行分析,能及时发现异常问题的原因,减少计量交接损失和人工现场调表、核查的时间成本。证实了该系统在计量交接中判断物料汽化的便捷性、准确性、可操作性。 展开更多
关键词 质量流量计 mms系统 智能 监控 现场仪表
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基于Wireshark的智能变电站MMS告警功能设计及实现
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作者 王宇 栾庆武 岳蔚 《电气应用》 2023年第6期102-109,共8页
Wireshark是一款强大的网络协议分析开源的跨平台软件,几乎包含了所有主流的网络通信报文,但对于智能变电站,其在MMS报文分析方面仍有很多不足。通过分析Wireshark的设计架构、处理流程、MMS服务及帧格式等,给出了基于Wireshark开发的... Wireshark是一款强大的网络协议分析开源的跨平台软件,几乎包含了所有主流的网络通信报文,但对于智能变电站,其在MMS报文分析方面仍有很多不足。通过分析Wireshark的设计架构、处理流程、MMS服务及帧格式等,给出了基于Wireshark开发的适用于智能变电站的MMS告警功能的方案及实现过程,展示了基于该方案的MMS告警功能的运行结果,达到了预期目的。基于开源软件进行二次开发,为开源软件在电力系统中的应用提供了一种新的思路,对于智能变电站的通信协议分析也具有重要意义。 展开更多
关键词 智能变电站 WIRESHARK mms报文 BER编码
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基于ROC曲线分析>5 mm亚实性结节平均CT值及形态学特征在预测肺腺癌浸润程度中的应用效果
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作者 陈曦 黄志成 +2 位作者 吴佳妮 叶钉利 张苏雅 《影像研究与医学应用》 2024年第15期49-51,55,共4页
目的:探究基于ROC曲线分析>5 mm亚实性结节(SSN)平均CT值及形态学特征在预测肺腺癌浸润程度中的应用效果。方法:选择2021年7月—2023年6月期间在吉林省肿瘤医院进行影像检查且经手术病理证实的SSN患者105例,共计112个结节。依据术后... 目的:探究基于ROC曲线分析>5 mm亚实性结节(SSN)平均CT值及形态学特征在预测肺腺癌浸润程度中的应用效果。方法:选择2021年7月—2023年6月期间在吉林省肿瘤医院进行影像检查且经手术病理证实的SSN患者105例,共计112个结节。依据术后病理检查结果并结合第8版肺癌TNM分期标准将入组患者分为浸润性腺癌组(A组,n=66)和浸润前-微浸润腺癌组(B组,n=39)。收集患者临床资料及影像学资料,在单因素分析结果的基础上进行Logistic分析,再绘制受试者工作特征(ROC)曲线分析对浸润性肺癌的预测价值。结果:两组患者有无吸烟史、结节位置、空泡征、支气管充气征对比差异无统计学意义(P>0.05),两组患者形状、边界、磨玻璃成分平均CT值、相对密度、胸膜凹陷、结节最大直径、肺组织平均CT值、性质、胸膜凹陷对比,差异有统计学意义(P<0.05)。结节最大直径、磨玻璃成分平均CT值是浸润性肺癌的危险因素(P<0.05)。二者联合预测的曲线下面积(AUC)为0.913,灵敏度为81.43%,特异度为92.86%。结论:CT值及形态学特征在预测肺腺癌浸润程度具有较高的应用效果。结节最大直径和磨玻璃成分均CT值是浸润性肺癌的危险因素,二者联合预测具有较高的灵敏度、特异度和准确率。 展开更多
关键词 >5 mm亚实性结节 平均CT值 形态学特征 肺腺癌浸润程度
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国产超细胆道镜(3mm)在腹腔镜经胆囊管胆道探查、取石中的临床应用
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作者 茹东跃 张晓慧 张玲玲 《中文科技期刊数据库(文摘版)医药卫生》 2024年第9期0010-0013,共4页
探究在腹腔镜经胆囊管胆道探查、取石中应用国产超细胆道镜(3mm)的效果。方法 收集本院2022年4月至2023年4月住院治疗的胆管结石患者60例,按随机数表分成两组。观察组采用3 mm直径的自制微型胆道镜进行探诊,对照组采用传统的开腹手术,... 探究在腹腔镜经胆囊管胆道探查、取石中应用国产超细胆道镜(3mm)的效果。方法 收集本院2022年4月至2023年4月住院治疗的胆管结石患者60例,按随机数表分成两组。观察组采用3 mm直径的自制微型胆道镜进行探诊,对照组采用传统的开腹手术,一期缝合。对手术时间,出血量,住院天数, VAS评分等进行观察。结果 治疗组在手术时间、术中出血量及住院天数等方面,与对照组比较,有显著性差别(P<0.05),而观察组的 VAS得分则显著低于对照组(P<0.05)。结论 国产超细胆道镜(3mm)在腹腔镜经胆囊管胆道探查、取石临床疗效及疼痛感均显著低于常规腹腔镜下胆总管探查技术,充分证明国产超细胆道镜已经达到国际先进水平,具有临床推广的价值与意义。 展开更多
关键词 国产超细胆道镜 3mm 腹腔镜经胆囊管胆道探查取石 临床应用
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鞍钢Φ110 mm圆钢孔型设计与轧制
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作者 卜俊男 黄旺祥 +3 位作者 李国辉 黄永阔 耿路春 李尧 《鞍钢技术》 CAS 2024年第2期34-37,49,共5页
鞍钢股份有限公司大型总厂连轧生产线设备升级后,采用“箱形-椭圆-圆-椭圆-圆”的孔型系统,完成了Φ110 mm圆钢孔型设计。轧制后,Φ110 mm圆钢平均成材率达到90.31%,外径在109.10~111.05 mm波动,平均椭圆度1.16 mm,满足生产要求。
关键词 孔型设计 轧制参数 轧制表 Φ110 mm圆钢
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一种20GHz0.65mm节距CQFP外壳
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作者 刘洋 余希猛 +2 位作者 杨振涛 刘林杰 李伟业 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期292-296,共5页
提出了一种应用频率达20 GHz的0.65 mm节距陶瓷四边引线扁平封装(CQFP)外壳,对高频信号的传输采用共面波导-垂直过孔-共面波导-引线的结构。对成型引线附近的阻抗不连续性进行了分析,通过信号传输引线的非等宽设计,改善了引线部位的阻... 提出了一种应用频率达20 GHz的0.65 mm节距陶瓷四边引线扁平封装(CQFP)外壳,对高频信号的传输采用共面波导-垂直过孔-共面波导-引线的结构。对成型引线附近的阻抗不连续性进行了分析,通过信号传输引线的非等宽设计,改善了引线部位的阻抗突变,提高了信号的传输带宽。通过板级联合仿真和布线优化,将外壳应用频率提升至20 GHz。利用GSG探针对外壳样品进行测试,实测结果表明,该结构在DC~20 GHz插入损耗优于-1 dB,回波损耗不大于-15 dB。该CQFP外壳通过了机械和环境可靠性试验,可应用于高频高可靠封装领域。 展开更多
关键词 高频 陶瓷四边引线扁平封装(CQFP) 阻抗 引线 0.65 mm节距 陶瓷外壳
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4300 mm中厚板轧机薄规格钢板板形控制技术研究
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作者 闵承鑫 徐海健 王静 《鞍钢技术》 CAS 2024年第3期37-42,共6页
针对4300 mm轧机在生产厚度小于8 mm的薄规格钢板板形合格率低于87%问题,分析了8 mm以下薄规格钢板板形的影响因素,通过改进加热、轧制、矫直等工艺和完善轧制计划等方式,实现了8 mm以下钢板的稳定生产,板形合格率达到98%以上。
关键词 4300 mm轧机 薄规格钢板 板形控制
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基于复合索引的MM-OFDM-SFCIM系统设计与检测算法
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作者 张莹莹 袁伟娜 朱煜 《华东理工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期442-449,共8页
空间调制(Spatial Modulation, SM)技术和OFDM多模子载波索引调制(OFDMMulti-Mode Index Modulation, MM-OFDM-IM)技术分别在能量效率(Energy Efficiency,EE)和频谱效率(Spectral Efficiency,SE)上有着很大的优势。多维度索引调制技术... 空间调制(Spatial Modulation, SM)技术和OFDM多模子载波索引调制(OFDMMulti-Mode Index Modulation, MM-OFDM-IM)技术分别在能量效率(Energy Efficiency,EE)和频谱效率(Spectral Efficiency,SE)上有着很大的优势。多维度索引调制技术相结合能够应用多种物理资源,应对无线通信系统对数据传输和系统容量的高需求,由此将SM与MMOFDM-IM系统灵活结合,构建基于空频结合的多模复合索引调制(OFDM-Multiple-Mode Space Frequency Composite Index Modulation,MM-OFDM-SFCIM)系统,保留传统子载波索引调制技术中的静默子载波,拓展新的复合系数维度,提高系统的SE和EE。针对系统的复杂特性,提出了基于符号能量及对数似然的联合检测算法(REML based on symbolic Energy and LLR,EL-REML)。仿真结果表明,MM-OFDM-SFCIM系统比传统的空频结合系统在SE上提高了约30%,并且MM-DFDM-SPCIM系统中提出的EL-REML算法比LLR算法在误码率上提高了3~4 dB,相比传统的ML算法,其计算复杂度更低。 展开更多
关键词 SM mm-OFDM-IM 频谱效率 计算复杂度 误码率
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基于SylixOS操作系统MMS协议服务器的实现
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作者 张明棽 孙新志 +2 位作者 史绪龙 严伟权 黎平龙 《电工技术》 2023年第4期152-154,共3页
以励磁系统中IEC 61850通信的实现为例,介绍在国产操作系统SylixOS下MMS通信的建模方法以及IEC 61850协议栈的实现过程,在励磁系统中实现基于SylixOS操作系统的IEC 61850标准MMS服务器的功能。
关键词 SylixOS mms IEC 61850 SCL
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基于MM32F5270微控制单元的智慧门禁系统设计
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作者 林博涵 程仪 +1 位作者 朱立超 谢迎娟 《计算机测量与控制》 2024年第8期272-279,共8页
传统门禁系统存在钥匙易被伪造、解锁方式单一、难以对门禁区域进行实时监控和数据分析等一系列安全性、体验性问题;结合物联网技术,以灵动微电子MM32F5270开发板作为主控,设计了一套安全性高、智能化高、可联网的智慧门禁系统;系统以Mi... 传统门禁系统存在钥匙易被伪造、解锁方式单一、难以对门禁区域进行实时监控和数据分析等一系列安全性、体验性问题;结合物联网技术,以灵动微电子MM32F5270开发板作为主控,设计了一套安全性高、智能化高、可联网的智慧门禁系统;系统以MindSDK和MircoPython为开发平台,由摄像头模块采集图像数据,并交由MM32F5270处理后,通过WIFI模块传输数据到服务器;根据接收到的图像数据结合LBP算法获取人脸特征点数据,并将其输入至卷积神经网络以实现人脸检测的目标;实验结果表明,该智慧门禁系统能有效解决安全性差、数据管理难和无法实时监控等问题,提高了用户体验和系统可靠性。 展开更多
关键词 智慧门禁 IOT TCP透传 mm32F5270 OpenMV LBP算法
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粉煤循环流化床锅炉0~1 mm制粉系统开发与热力计算方法
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作者 尚曼霞 姚禹歌 +2 位作者 柯希玮 周托 黄中 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期1560-1566,共7页
为实现粉煤循环流化床(powdered coal-circulating fluidized bed,PC-CFB)的0~1 mm给煤,借鉴传统煤粉锅炉制粉系统的设计及计算经验,开发PC-CFB锅炉0~1 mm制粉系统,其特征为采用中速磨煤机制备粉煤,利用气固分配器分离制粉乏气与粉煤的... 为实现粉煤循环流化床(powdered coal-circulating fluidized bed,PC-CFB)的0~1 mm给煤,借鉴传统煤粉锅炉制粉系统的设计及计算经验,开发PC-CFB锅炉0~1 mm制粉系统,其特征为采用中速磨煤机制备粉煤,利用气固分配器分离制粉乏气与粉煤的混合物,并设置备用系统以保证系统发生故障时的正常燃料供应。提出0~1 mm制粉系统的热力计算模型,确定磨煤机通风量、干燥剂配比以及干燥剂温度等关键技术指标,预测制粉系统干燥出力,并分析PC-CFB锅炉0~1 mm制粉系统的性能变化规律。研究结果表明:保持磨煤机出力、热风温度不变,在系统允许的范围内降低磨煤机出口温度,有利于降低干燥剂量,提升干燥出力;磨煤机出口温度每降低1℃,制粉系统所需的干燥剂量减少约523 m3/h,干燥出力增加约0.4 t/h。 展开更多
关键词 粉煤循环流化床 0~1 mm粉煤 制粉系统 热力计算
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基于MMS模型的继电保护装置自动测试技术研究
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作者 王珠峰 陈培训 +2 位作者 孔凡坊 陈庆会 陈博 《电工技术》 2023年第24期107-110,208,共5页
提出一种基于MMS模型的继电保护装置自动测试技术,该技术能够自动模拟继电保护装置的输入信息,自动验证输出信息,通过MMS报文读写保护装置的定值、控制字、软压板,针对各厂家“六统一”保护型号功能配置,建立典型测试模板库,实现继电保... 提出一种基于MMS模型的继电保护装置自动测试技术,该技术能够自动模拟继电保护装置的输入信息,自动验证输出信息,通过MMS报文读写保护装置的定值、控制字、软压板,针对各厂家“六统一”保护型号功能配置,建立典型测试模板库,实现继电保护装置一键式测试,并通过中间模型文件解决了不同厂家的保护装置数据输出端口信息描述不统一的问题,实现模型自动映射。最后以某型号线路保护装置测试为例验证所提方法的可行性。 展开更多
关键词 继电保护装置 自动测试系统 mms模型 模型映射 中间模型
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基于MMS仿真的智能变电站调试技术研究
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作者 李蛟龙 蒋卓妍 +1 位作者 王博宇 董金昭 《电气应用》 2023年第11期124-129,共6页
智能变电站间隔层设备与监控后台、远动网关机采用IEC 61850 MMS模型及协议进行通信,具有信息模型复杂、服务内容繁多,存在MMS信息量大和调试效率低等问题。提出基于MMS仿真的智能站调试技术,研究MMS数据源的通信和服务仿真,并开发MMS... 智能变电站间隔层设备与监控后台、远动网关机采用IEC 61850 MMS模型及协议进行通信,具有信息模型复杂、服务内容繁多,存在MMS信息量大和调试效率低等问题。提出基于MMS仿真的智能站调试技术,研究MMS数据源的通信和服务仿真,并开发MMS仿真调试系统。模拟MMS客户端对下实现对站控层设备信息的监视与查看,模拟MMS服务端对上将保护、测控信息上送至监控主站,响应主站命令,基于MMS仿真实现MMS通信异常调试、保护信息调试、调控主站对点调试和闭环自动测试。经技术实际应用表明该技术可有效提高智能变电站MMS信息调试效率,保障智能变电站按时可靠投运。 展开更多
关键词 智能变电站 mms仿真 监控系统调试 保护闭环测试
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封闭螺丝与2 mm矮愈合基台应用于行GBR术埋入式愈合患者中对其探诊出血及美学效果的影响
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作者 林木城 林晖 《中国医药指南》 2024年第22期48-50,共3页
目的对比封闭螺丝与2 mm矮愈合基台应用于行引导骨再生术(GBR)埋入式愈合患者中对其探诊出血及美学效果的影响。方法选取2018年7月至2023年7月我院的70例GBR术埋入式愈合患者,按随机数字表法将其分入试验组和对照组,每组各35例。对照组... 目的对比封闭螺丝与2 mm矮愈合基台应用于行引导骨再生术(GBR)埋入式愈合患者中对其探诊出血及美学效果的影响。方法选取2018年7月至2023年7月我院的70例GBR术埋入式愈合患者,按随机数字表法将其分入试验组和对照组,每组各35例。对照组患者采用封闭螺丝,试验组采用2 mm矮愈合基台。对两组患者治疗前后探诊出血及美学评分改善情况、不良反应(感染、植入物脱落或松动、骨组织损失)发生情况、患者满意度进行对比。结果试验组探诊出血及美学评分改善情况优于对照组(P<0.05),总满意率高于对照组(P<0.05),植入物脱落或松动等不良反应发生率低于对照组(P<0.05)。结论2 mm矮愈合基台应用于行GBR术埋入式愈合患者中的效果优于封闭螺丝,更有利于促进探诊出血及美学效果改善,减少不良反应,提高患者满意度。 展开更多
关键词 封闭螺丝 2 mm矮愈合基台 引导骨再生术 埋入式愈合 探诊出血 美学效果
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TZΦ219 mm三辊连轧管机组简介
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作者 黄贤安 《山西冶金》 CAS 2024年第5期75-77,共3页
太原重工股份有限公司采用多项先进技术和创新技术,制造出了国产首台套TZΦ219 mm三辊连轧管机组,主要对该机组的产品规格、技术指标、工艺流程、设备主要组成进行介绍,并分析其运行效果。
关键词 钢管 TZΦ219 mm 穿孔机 连轧管机 张减机
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2.2 mm角膜微切口白内障超声乳化术治疗老年白内障的临床效果
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作者 李建平 胡颖 罗永锋 《临床研究》 2024年第2期69-72,共4页
目的探究2.2 mm角膜微切口白内障超声乳化术治疗老年白内障的效果及对角膜内皮功能、并发症发生率的影响。方法以2020年3月至2022年3月期间收治的113例老年白内障患者为研究对象,均行白内障超声乳化术治疗,根据切口大小将患者分为2.2 mm... 目的探究2.2 mm角膜微切口白内障超声乳化术治疗老年白内障的效果及对角膜内皮功能、并发症发生率的影响。方法以2020年3月至2022年3月期间收治的113例老年白内障患者为研究对象,均行白内障超声乳化术治疗,根据切口大小将患者分为2.2 mm组(55例)及常规组(58例)。比较两组手术相关指标及手术前后视力恢复情况,对患者手术前后角膜切口内外口处厚度、角膜内皮细胞功能、角膜生理指标及泪膜功能进行分析评估,并统计患者术后一过性高眼压、角膜水肿的并发症发生率。结果2.2 mm组术后7 d裸眼远视力、最佳矫正视力(BCVA)的LogMAR值及角膜散光值小于常规组,差异有统计学意义(P<0.05);2.2 mm组术后1 d、7 d切口外口处角膜厚度及术后1 d的切口内口处厚度小于常规组,差异有统计学意义(P<0.05);2.2 mm组术后7 d的角膜内皮细胞(CECs)密度及六角形细胞比例大于常规组,CECs变异系数小于常规组,差异有统计学意义(P<0.05);2.2 mm组术后7 d的角膜阻力因数(CRF)大于常规组,Goldmann相关眼压(IOPg)及角膜补偿眼压(IOPcc)高于常规组,差异有统计学意义(P<0.05);2.2 mm组术后7 d的泪膜破裂时间(BUT)长于常规组,基础泪液分泌试验(ST-Ⅱ)值小于常规组,差异有统计学意义(P<0.05);2.2 mm组并发症发生率为1.82%(一过性高眼压1例),常规组并发症发生率为3.39%(一过性高眼压1例、角膜水肿1例),两组并发症发生率对比差异无统计学意义(P>0.05)。结论2.2 mm角膜微切口白内障超声乳化术治疗老年白内障,可有效提高患者术后视力,促进角膜切口愈合,并能改善角膜内皮细胞功能及泪膜功能。 展开更多
关键词 老年白内障 2.2 mm角膜微切口 白内障超声乳化术 角膜内皮功能 并发症
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炉卷轧机4.5 mm薄规格产品生产开发
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作者 王泽鹏 贾莎 肖彦忠 《河南冶金》 2024年第3期45-48,共4页
针对炉卷轧机生产4.5 mm薄规格产品过程中存在的主要问题进行研究,从坯料设计、工艺优化、辊型优化、热矫模型优化等方面着手,成功地开发出Q355D钢种4.5 mm×2500 mm规格产品,该产品尺寸、板形、性能、表面质量满足国家标准。
关键词 轧钢 4.5 mm薄规格 产品开发 炉卷轧机
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200 mm SiC外延炉及同质外延工艺研究
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作者 谢添乐 李苹 +4 位作者 杨宇 巩小亮 巴赛 陈国钦 万胜强 《电子工业专用设备》 2024年第4期11-16,29,共7页
目前SiC产业正由150 mm(6英寸)向200 mm(8英寸)转型,为满足行业对大尺寸、高质量SiC同质外延片的迫切需求,采用自主研制的200 mmSiC外延生长设备在国产衬底上成功制备出150 mm、200 mm 4H-SiC同质外延片,并开发了适用于150 mm及200 mm... 目前SiC产业正由150 mm(6英寸)向200 mm(8英寸)转型,为满足行业对大尺寸、高质量SiC同质外延片的迫切需求,采用自主研制的200 mmSiC外延生长设备在国产衬底上成功制备出150 mm、200 mm 4H-SiC同质外延片,并开发了适用于150 mm及200 mm的同质外延工艺,其中外延生长速率可大于60μm/h,在满足高速外延的同时,外延片质量优异,其中150 mm、200 mm SiC外延片厚度均匀性都可控制在1.5%以内,浓度均匀性均小于3%,致命缺陷密度小于0.3颗/cm2,外延表面粗糙度均方根Ra小于0.15 nm,各核心工艺指标均处于行业先进水平。 展开更多
关键词 碳化硅 200 mm外延炉 化学气相沉积 同质外延
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