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Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法
被引量:
7
1
作者
李亚磊
邓新绿
徐军
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期459-462,共4页
本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术———采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器———利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频干扰;差分放大器———两根同轴电缆与...
本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术———采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器———利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频干扰;差分放大器———两根同轴电缆与差分放大器配合使用,消除由于同轴电缆电阻电容(RC)特性引起的诱导噪音。上述方法分别从抗干扰原理、抗干扰装置和实验结果三方面予以了说明,指出了目前使用Langmuir探针进行等离子体诊断时存在的问题,并提出了解决方案。
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关键词
langmuir
探针
抗干扰
信噪比
ⅰ
-
ⅴ
特性曲线
下载PDF
职称材料
题名
Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法
被引量:
7
1
作者
李亚磊
邓新绿
徐军
机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期459-462,共4页
文摘
本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术———采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器———利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频干扰;差分放大器———两根同轴电缆与差分放大器配合使用,消除由于同轴电缆电阻电容(RC)特性引起的诱导噪音。上述方法分别从抗干扰原理、抗干扰装置和实验结果三方面予以了说明,指出了目前使用Langmuir探针进行等离子体诊断时存在的问题,并提出了解决方案。
关键词
langmuir
探针
抗干扰
信噪比
ⅰ
-
ⅴ
特性曲线
Keywords
langmuir probe
,
noise elimination
,
signal-to-noise ratio
,
ⅰ- ⅴ characteristics curve
分类号
O785.5 [理学—晶体学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法
李亚磊
邓新绿
徐军
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
7
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职称材料
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