激光切割加工过程中等离子体对焦点位置检测干扰研究

在非接触式的激光切割焦点位置检测与控制系统中，切割加工中产生的等离子体对电容传感器产生干扰，从而导致焦点位置检测误差。本文根据电容原理定量地分析了等离子体对电容传感器干扰产生的误差，进而提出了消除等离子体于扰的措施。