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Improvements of Traditional Laser Fraunhofer Diffraction Experiment Using Digital Image Processing Method 被引量:1
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作者 JIN Yuanwei WANG Yabing +2 位作者 ZHAO Bin YI Zhaoguang XU Shenghui 《Journal of Donghua University(English Edition)》 EI CAS 2020年第5期406-410,共5页
We present an improved digital image processing(DIP)method to calculate the widths of single slits.Different from the traditional laser Fraunhofer diffraction experiment in college physical experiments,by performing f... We present an improved digital image processing(DIP)method to calculate the widths of single slits.Different from the traditional laser Fraunhofer diffraction experiment in college physical experiments,by performing fast Fourier transform,inverse fast Fourier transform and the nonlinear leastsquare fitting on the diffraction pattern taken by a camera,the DIP method can quickly return an analytic expression,whose period is used to calculate widths of single slits.By comparing the measured results by the DIP method and the successional difference(SD)method,we find that for a single slit whose width is 60372μm,the DIP method is more accurate.Experimental results show that for single slits with widths between 40μm and 160μm,the relative error of the DIP method is less than 2.78%.Also,the DIP method can be used to measure the diameter of filament and fibres online in real time. 展开更多
关键词 digital image processing method traditional laser Fraunhofer diffraction experiment width of single slit
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两种沉积物粒度分析测试方法对比及转换关系
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作者 钱磊 孙吉主 +1 位作者 王勇 李坤 《长江科学院院报》 CSCD 北大核心 2024年第2期159-166,共8页
粒径分布(PSD)作为土体的基本物理性质之一,对土体的工程性质具有很大影响。目前,测量海洋沉积物PSD存在不同的方法,但不同方法量测结果的一致性和相互关系值得探讨。基于PSD沉降分析法与激光衍射法的测试原理,推导得出两种方法之间的联... 粒径分布(PSD)作为土体的基本物理性质之一,对土体的工程性质具有很大影响。目前,测量海洋沉积物PSD存在不同的方法,但不同方法量测结果的一致性和相互关系值得探讨。基于PSD沉降分析法与激光衍射法的测试原理,推导得出两种方法之间的联系,并提出了一种转换方法。采用上述两种测量方法对两种不同海域的深海沉积物进行PSD分析,依据转换方法对激光衍射法得到的PSD进行转换,并将转换后的结果进行分析。结果显示:沉降分析法与激光衍射法所得结果主要差距在于黏土、粉砂粒径的含量,且经转换后,两种测量方法得出的黏土、粉砂粒级的百分含量基本一致,检验了转换方法的可靠性。 展开更多
关键词 深海沉积物 粒度分析 沉降分析法 激光衍射法 转换方法 相关性
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激光衍射法测定西格列他钠粒径分布
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作者 郭宁子 刘丽 +4 位作者 岳瑞齐 冯慧庆 杨化新 魏宁漪 陈华 《中国药物警戒》 2024年第2期147-151,共5页
目的建立西格列他钠的粒径分布测定方法,为药物粒径测定的方法开发和质量控制提供参考。方法采用MALVERN Mastersizer 3000激光衍射粒度仪和AEROS干法进样器建立西格列他钠的粒径分布方法。背景测量持续时间7 s;样品测量持续时间7 s;遮... 目的建立西格列他钠的粒径分布测定方法,为药物粒径测定的方法开发和质量控制提供参考。方法采用MALVERN Mastersizer 3000激光衍射粒度仪和AEROS干法进样器建立西格列他钠的粒径分布方法。背景测量持续时间7 s;样品测量持续时间7 s;遮光度0.5%~5%;样品分散气压0.4 MPa;进样速度60%;文丘里管类型为高能文丘里管;料斗间隙2.5 mm。结果3批样品粒径分布特征值d(0.1)在1.02~1.17μm,d(0.5)在5.94~6.69μm,d(0.9)在20.70~22.40μm,平均标准偏差(RSD)均小于1%。结论建立了西格列他钠的粒度测定方法,可为其他易引湿药物的干法粒径测定方法开发提供参考。 展开更多
关键词 激光衍射法 西格列他钠 粒径分布 易引湿药物 干法测定
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LD端面泵浦薄片激光器的温度和热应力分布研究 被引量:10
4
作者 刘全喜 钟鸣 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期636-640,共5页
为了分析薄片激光器的热效应,建立了LD端面泵浦薄片激光介质的数值模型。考虑到介质与空气的对流换热和介质材料的热力学参数随温度的变化,根据经典热传导方程和热弹性方程,运用有限单元法,得出了介质内温度和热应力的时空分布,分析了... 为了分析薄片激光器的热效应,建立了LD端面泵浦薄片激光介质的数值模型。考虑到介质与空气的对流换热和介质材料的热力学参数随温度的变化,根据经典热传导方程和热弹性方程,运用有限单元法,得出了介质内温度和热应力的时空分布,分析了温度和热应力与泵浦功率、换热系数和时间的变化规律。模拟结果表明:热破坏主要为前表面光斑外侧的拉伸破裂;温度和应力的上升时间和热恢复时间随泵浦功率的变化不是很明显,随换热系数的增大而减小,但随着换热系数的增加,温度和应力的变化越来越小。 展开更多
关键词 薄片激光器 激光二极管(ld)端面泵浦 有限单元法 温度分布 热应力分布
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吸管法和激光法测定紫色土机械组成对比研究
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作者 王风香 蒙薪赟 +3 位作者 慈恩 刘彬 高佳佳 唐江 《西南大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期164-172,共9页
吸管法是测定土壤机械组成的经典方法,激光法是测定土壤机械组成的简便方法.为探究两者在紫色土机械组成测定上的差异以及两者之间的联系,分别采用两种方法测定145个紫色土样品的机械组成,并建立线性方程、随机森林回归(Random Forest R... 吸管法是测定土壤机械组成的经典方法,激光法是测定土壤机械组成的简便方法.为探究两者在紫色土机械组成测定上的差异以及两者之间的联系,分别采用两种方法测定145个紫色土样品的机械组成,并建立线性方程、随机森林回归(Random Forest Regression,RFR)模型和支持向量回归(Support Vactor Regression,SVR)模型进行比较分析.结果表明:(1)相较于吸管法,激光法所测紫色土黏粒含量和粉粒含量均偏高,所测砂粒含量则偏低;(2)随着土壤砾石含量的增加,两种方法所测的相同粒级含量差值逐渐增大,且差值从大到小依次为:砂粒、粉粒、黏粒;(3)相比于pH>7.5的紫色土,两种方法所测的相同粒级含量差值明显大于pH≤7.5的紫色土,且差值从大到小依次为:砂粒、粉粒、黏粒.总体来看,紫色土的砾石含量是影响两种方法所测机械组成关联效果的一个关键因素,对于砾石含量≤5%的紫色土,两种方法的测定结果有很好的关联性,可采用激光法替代吸管法,但测定结果需要校正,建议选用拟合效果较好的RFR或SVR模型进行校正. 展开更多
关键词 紫色土 机械组成 激光法 吸管法
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1342nm激光输出的LD端面抽运Nd:YVO_4激光器 被引量:1
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作者 王娟娟 王加贤 李立卫 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期22-24,共3页
研究大功率激光二极管端面抽运的Nd:YVO4连续波1342nm激光器的输出特性。实验结果表明,小功率抽运时,激光器的输出功率基本随抽运功率线性增加;当抽运功率超过一定值时,斜率效率下降,对于长腔斜率效率下降更为明显,甚至出现输出功率降... 研究大功率激光二极管端面抽运的Nd:YVO4连续波1342nm激光器的输出特性。实验结果表明,小功率抽运时,激光器的输出功率基本随抽运功率线性增加;当抽运功率超过一定值时,斜率效率下降,对于长腔斜率效率下降更为明显,甚至出现输出功率降低。通过对晶体中的振荡激光基模半径和热致衍射损耗计算得出:高抽运功率下,热效应影响了激光器的输出功率,为了获得最大的输出功率,激光晶体内不考虑热效应时的基模半径与抽运激光光束尺寸的比值ω/ωp在0.8~0.9之间最佳,而且抽运功率越大,比值越小。理论分析与实验结果基本一致。 展开更多
关键词 ND:YVO4激光器 ld抽运 热效应 热致衍射损耗
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影响沉积物粒度测量结果的多因素分析
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作者 陈雨核 廖远涛 +2 位作者 张帅 樊昊 王伟 《科学技术创新》 2024年第19期63-66,共4页
为了分析沉积物粒度测量结果的影响因素,采用不同的前处理方法以及两种激光粒度分析仪器分析了采自金沙江某考古遗址处的样品,结果表明:(1)富含有机质及碳酸盐成分的深层样品在加入HCl处理后,粒度测量结果偏粗;有机质含量较少的浅层样... 为了分析沉积物粒度测量结果的影响因素,采用不同的前处理方法以及两种激光粒度分析仪器分析了采自金沙江某考古遗址处的样品,结果表明:(1)富含有机质及碳酸盐成分的深层样品在加入HCl处理后,粒度测量结果偏粗;有机质含量较少的浅层样品经加热处理后粒度偏粗。(2)对同一样品,贝克曼-库尔特激光粒度分析仪对含量相对较少的细颗粒组分更敏感,马尔文激光粒度分析仪对粗颗粒组分的检测效果更好。因此,针对不同沉积环境的样品,应需要采取不同的前处理方法,将所使用的数据建立在同一测量系统内,以期获得更准确的古环境信息。 展开更多
关键词 粒度分析 前处理方法 激光粒度分析仪 沉积环境
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LD侧泵浦Nd∶YAG板状介质温度特性的理论研究 被引量:3
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作者 方爱平 楼祺洪 +2 位作者 董景星 魏运荣 李铁军 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期248-250,共3页
利用有限差分法对LD侧面泵浦Nd∶YAG板状激光器介质的二维温度分布进行了数值计算。与用热像仪实际测得的结果比较 ,温度变化趋势吻合。根据计算结果重新设计激光晶体的冷却方案 ,改善了温度的分布 ,光束质量因子M2 从 6 .7减小到 3,提... 利用有限差分法对LD侧面泵浦Nd∶YAG板状激光器介质的二维温度分布进行了数值计算。与用热像仪实际测得的结果比较 ,温度变化趋势吻合。根据计算结果重新设计激光晶体的冷却方案 ,改善了温度的分布 ,光束质量因子M2 从 6 .7减小到 3,提高了激光输出的光束质量。 展开更多
关键词 有限差分法 侧面泵浦 板状激光介质 温度分布
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LD泵浦Nd:YVO4固体激光器绿光输出关键问题研究
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作者 吴江宏 王啦 +2 位作者 李奋浩 赵洪霞 程培红 《宁波工程学院学报》 2015年第4期40-44,共5页
随着半导体激光器的发展与成熟以及固体激光器应用的不断广泛,LD泵浦Nd:YVO4固体激光器实验成为光电相近专业必选实验。本文针对LD泵浦Nd:YVO4固体激光器实验过程中,光路调整和绿光输出难度大等关键问题,提出简单易行、可操作性强的步... 随着半导体激光器的发展与成熟以及固体激光器应用的不断广泛,LD泵浦Nd:YVO4固体激光器实验成为光电相近专业必选实验。本文针对LD泵浦Nd:YVO4固体激光器实验过程中,光路调整和绿光输出难度大等关键问题,提出简单易行、可操作性强的步骤方法,并取得了较好的实验效果。 展开更多
关键词 ld泵浦 固体激光器 绿光输出 关键操作 方法研究
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Crystal Growth and Laser Characteristics of Nd^(3+)∶KGd(WO_4)_2
10
作者 王宇明 雷鸣 +3 位作者 李建立 曾繁明 张礼杰 刘景和 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第6期676-679,共4页
The Nd^3+ 3.2% (atom fraction):KGd(WO4)2 crystal was grown by Kyropoulos method. The absorption spectrum and fluorescence spectrum of Nd^3 + : KGW crystal were measured. The absorption cross sections at 808 nm... The Nd^3+ 3.2% (atom fraction):KGd(WO4)2 crystal was grown by Kyropoulos method. The absorption spectrum and fluorescence spectrum of Nd^3 + : KGW crystal were measured. The absorption cross sections at 808 nm(0. 6799 × 10^-20 cm^2) were calculated, and the output wavelength of fluorescence is 1064 and 1351 nm. The diode-pumped laser was operated both in the free-running and passively Q-switched operating modes. The maximum laser output(1064 nm) is 326 mW with 62.7 % slope efficiency when input energy is 900 mW. The beam quality factor M^2 ≈ 1.1. The green light of 532 nm is obtained in frequency doubling operation. The laser is passively Q-switched by using Cr^4+ :LuAG as saturable absorber. The pulse width is 170 ns at repetitive frequency of 15 kHZ. 展开更多
关键词 Nd KGW crystal Kyropoulos method ld pumped laser characteristics rare earths
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核酸提取用磁珠粒度快速测试方法
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作者 侯晓妮 吕帅 +3 位作者 姜展樾 马丽侠 刘明东 周李华 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第11期184-188,共5页
为快速、准确地对核酸提取用磁珠的粒度进行测试,研究使用激光衍射粒度分析技术进行粒度试验,考察搅拌速度、超声频率、样品浓度(遮光度)的影响,并采用扫描电子显微镜进行方法准确度的确认,进行耐用性、时间稳定性、重复性、中间精密度... 为快速、准确地对核酸提取用磁珠的粒度进行测试,研究使用激光衍射粒度分析技术进行粒度试验,考察搅拌速度、超声频率、样品浓度(遮光度)的影响,并采用扫描电子显微镜进行方法准确度的确认,进行耐用性、时间稳定性、重复性、中间精密度的验证。同时,选取不同粒度的实际样品进行测定,结果表明,该方法的重复性优于3%,中间精密度优于5%。由此可见,该方法准确、可靠、快速、便捷,适用于核酸提取用磁珠粒度和粒度分布的测试。 展开更多
关键词 磁珠 粒度 激光衍射法 测试
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激光散射法测定非达霉素粒度的方法开发与验证 被引量:1
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作者 孙超 康帅 +2 位作者 吴谧 李晓露 高福然 《中国抗生素杂志》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期1163-1167,共5页
目的 建立激光散射法测定非达霉素原料药粒度的方法。方法 采用Mastersizer 2000激光粒度仪,干法测定,标准文丘里管,样品折射率1.50,颗粒吸收率0.01,分散气压0.20 MPa,振动进样速度80%,背景和测定扫描时间10 s,遮光度范围0.5%~5.0%,每... 目的 建立激光散射法测定非达霉素原料药粒度的方法。方法 采用Mastersizer 2000激光粒度仪,干法测定,标准文丘里管,样品折射率1.50,颗粒吸收率0.01,分散气压0.20 MPa,振动进样速度80%,背景和测定扫描时间10 s,遮光度范围0.5%~5.0%,每个试样重复测定2次。结果 所建立方法的重复性、中间精密度、耐用性考察结果的RSD均小于10%。结论 该方法准确度高、重复性好,可用于非达霉素原料药的粒度测定。 展开更多
关键词 激光散射法 非达霉素 粒度 分散气压 振动进样速度
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鱼腥草素钠鼻喷雾剂的喷雾特性评价 被引量:1
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作者 王淼 贾青 吴陈亮 《中南药学》 CAS 2023年第5期1222-1227,共6页
目的考察鱼腥草素钠鼻喷雾剂的喷雾特性。方法采用HPLC、激光粒度仪、Andersen级联撞击器、SprayVIEW激光成像系统等考察所制备的鼻喷雾剂的递送剂量、雾滴粒径分布(激光衍射法、撞击器法)、喷雾模式和羽流几何学。结果为保证给药剂量... 目的考察鱼腥草素钠鼻喷雾剂的喷雾特性。方法采用HPLC、激光粒度仪、Andersen级联撞击器、SprayVIEW激光成像系统等考察所制备的鼻喷雾剂的递送剂量、雾滴粒径分布(激光衍射法、撞击器法)、喷雾模式和羽流几何学。结果为保证给药剂量的准确性,鼻喷雾剂启动需喷废3喷,在超出7 d的使用周期时需进行再启动,应喷废1喷;递送剂量均一性测试中,平均值均在标示量的85%~115%,且全部测定值均在标示量的80%~120%;雾滴粒径分布测试中,激光衍射法检测结果表明雾滴粒径集中分布在14~82μm;撞击器法检测结果显示小于9μm雾滴中药物含量均未检出;喷雾角度为31°~35°,呈扇形分布,横截面接近圆形,椭圆率为1.13~1.24。结论鱼腥草素钠鼻喷雾剂递送剂量准确,具有良好的喷雾特性。 展开更多
关键词 鱼腥草素钠鼻喷雾剂 递送剂量 激光衍射法 撞击器法 喷雾模式 羽流几何学
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激光冲击强化对TC11钛合金焊接接头层深残余应力的影响
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作者 张超 张虎 +4 位作者 周云 祝少华 芦琳 符利兵 黄晓江 《焊管》 2023年第9期21-24,共4页
利用激光冲击对TC11钛合金焊缝金属进行强化处理,通过电解抛光的方式获取不同的层深,采用XRD侧倾法对不同层深进行残余应力测试,研究其大小及分布。结果表明,TC11钛合金经过激光冲击强化后,焊缝金属表面压应力平均值为-529.1 MPa,比强... 利用激光冲击对TC11钛合金焊缝金属进行强化处理,通过电解抛光的方式获取不同的层深,采用XRD侧倾法对不同层深进行残余应力测试,研究其大小及分布。结果表明,TC11钛合金经过激光冲击强化后,焊缝金属表面压应力平均值为-529.1 MPa,比强化前平均值(-119 MPa)提升了近5倍,随着层深的增大,残余压应力大小整体呈明显下降趋势,下降速度由快变慢;层深1591μm处压应力平均值为-175.6 MPa,比激光冲击强化前焊缝表面(0μm)残余压应力平均值提升56.6 MPa,进一步说明激光冲击强化达到层深1591μm时,仍具有良好的强化效果。 展开更多
关键词 TC11钛合金 激光冲击 残余应力 侧倾法 X射线衍射
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Soil particle size range correction for improved calibration relationship between the laser-diffraction method and sieve-pipette method 被引量:1
15
作者 Weiwen QIU Wei HU +1 位作者 Denis CURTIN Lidia MOTOI 《Pedosphere》 SCIE CAS CSCD 2021年第1期134-144,共11页
Particle size fraction(clay, silt, and sand) is an important characteristic that influences several soil functions. The laser-diffraction method(LDM) provides a fast and cost-effective measurement of particle size dis... Particle size fraction(clay, silt, and sand) is an important characteristic that influences several soil functions. The laser-diffraction method(LDM) provides a fast and cost-effective measurement of particle size distribution, but the results usually differ from those obtained by the traditional sieve-pipette method(SPM). This difference can persist even when calibration is applied between the two methods. This partly relates to the different size ranges of particles measured by the two methods as a result of different operational principles, i.e., particle sedimentation according to Stokes’ Law vs. Mie theory for laser beam scattering. The objective of this study was to identify particle size ranges of LDM equivalent to those measured by SPM and evaluate whether new calibration models based on size range correction can be used to improve LDM-estimated particle size fractions, using 51 soil samples with various texture collected from five soil orders in New Zealand. Particle size distribution was determined using both LDM and SPM. Compared with SPM, original data from LDM underestimated the clay fraction(< 2 μm), overestimated the silt fraction(2–53 μm), but provided a good estimation of the sand fraction(53–2 000 μm).Results from three statistical indices, including Pearson’s correlation coefficient, slope, and Lin’s concordance correlation coefficient, showed that the size ranges of < 2 and 2–53 μm defined by SPM corresponded with the < 5 and 5–53 μm size ranges by LDM, respectively. Compared with the traditional calibration(based on the same particle size ranges), new calibration models(based on the corrected size ranges of these two methods) improved the estimation of clay and silt contents by LDM. Compared with soil-specific models(i.e., different models were developed for different soils), a universal model may be more parsimonious for estimating particle size fractions if the samples to be assessed represent multiple soil orders. 展开更多
关键词 laser diffraction Lin’s concordance correlation coefficient particle size distribution Pearson’s correlation coefficient sedimentation method soil separate soil texture
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稳定和非稳定激光谐振腔中的自再现模讨论
16
作者 黎敏 《大学物理》 2023年第6期6-11,51,共7页
本文通过菲涅耳-基尔霍夫衍射积分方法,推导了一般稳定和非稳定球面镜谐振腔中自再现模的解析表达式,揭示了从稳定腔变为非稳腔过程中自再现模的变化规律.进一步地,本文在几何光学近似条件下得到了非稳腔的自再现模,通过与衍射积分结果... 本文通过菲涅耳-基尔霍夫衍射积分方法,推导了一般稳定和非稳定球面镜谐振腔中自再现模的解析表达式,揭示了从稳定腔变为非稳腔过程中自再现模的变化规律.进一步地,本文在几何光学近似条件下得到了非稳腔的自再现模,通过与衍射积分结果对比,发现基于几何光学近似得到的非稳腔最低阶偶对称模(即基模)和最低阶奇对称模的空间分布与衍射积分结果一致.而对于更高阶的自再现模,当非稳腔接近稳定腔时,几何光学近似得到的自再现模空间分布和衍射积分结果之间存在较大差异.本文的结果可以作为激光原理教学内容的重要补充. 展开更多
关键词 激光原理 自再现模 衍射积分方法 几何光学近似
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激光衍射法测试超高分子量聚乙烯粒度分布的影响因素研究
17
作者 季轩 《合成技术及应用》 2023年第1期58-62,共5页
目前,激光衍射法测试超高分子量聚乙烯(UHMWPE)的粒度分布使用无水乙醇作为分散剂,由于无水乙醇具有危险性大、废液处置难等缺点,本文以水作为分散剂,以聚氧乙烯辛烷基苯酚醚为表面活性剂开展试验,研究了表面活性剂加入量、样品质量、... 目前,激光衍射法测试超高分子量聚乙烯(UHMWPE)的粒度分布使用无水乙醇作为分散剂,由于无水乙醇具有危险性大、废液处置难等缺点,本文以水作为分散剂,以聚氧乙烯辛烷基苯酚醚为表面活性剂开展试验,研究了表面活性剂加入量、样品质量、搅拌速率、测试时间等因素对UHMWPE粒度分布测试结果的影响。研究表明,当表面活性剂的加入量为0.2~0.3 mL,样品质量为600~700 mg,搅拌速率为2000~2200 r/min,测试时间为15 s条件下,测试结果的重复性好且准确度高,适用于UHMWPE的粒度分布测试。 展开更多
关键词 超高分子量聚乙烯 激光衍射法 粒度分布
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激光法与湿筛-吸管法测定土壤颗粒组成的转换及质地确定 被引量:58
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作者 杨金玲 张甘霖 +1 位作者 李德成 潘继花 《土壤学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期772-780,共9页
湿筛-吸管法是测定土壤颗粒组成(PSD)的传统方法,而激光法则是新兴的土壤颗粒测定方法,为了明确二者测定数据间的转换关系,应用两种方法分别测定了中国6个主要土纲的265个土壤样品。结果表明,激光法测定的土壤黏粒含量明显地小于湿筛-... 湿筛-吸管法是测定土壤颗粒组成(PSD)的传统方法,而激光法则是新兴的土壤颗粒测定方法,为了明确二者测定数据间的转换关系,应用两种方法分别测定了中国6个主要土纲的265个土壤样品。结果表明,激光法测定的土壤黏粒含量明显地小于湿筛-吸管法测定的数据,激光法测定的土壤粉粒含量明显地大于湿筛-吸管法测定的数据,而对于土壤砂粒含量的测定结果二者互有高低。两种方法测定的黏粒、粉粒和砂粒间均分别具有很好的相关性,甚至按照美国的7级分类标准,每个粒度级别在两种方法间均具有很好的相关性。按照激光法和吸管法测定数据间的转换关系式得出了用激光法测定数据的砂土、壤土和黏土质地划分界限,从而能够应用激光法测定的数据直接进行质地划分,这对于推动激光法在土壤学中的进一步应用和推动土壤科学的发展均具有重要意义。 展开更多
关键词 土壤颗粒组成 土壤质地 吸管法 激光法
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光栅参数测量技术研究进展 被引量:15
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作者 刘洪兴 张巍 巩岩 《中国光学》 EI CAS 2011年第2期103-110,共8页
光栅参数测量技术是衡量光栅制作水平的重要标准。本文从直接测量法和间接测量法两个角度对现阶段较成熟的光栅参数测量技术进行了研究。重点介绍了原子力显微镜(AFM)测量法、扫描电子显微镜(SEM)测量法、激光衍射(LD)测量法以及散射测... 光栅参数测量技术是衡量光栅制作水平的重要标准。本文从直接测量法和间接测量法两个角度对现阶段较成熟的光栅参数测量技术进行了研究。重点介绍了原子力显微镜(AFM)测量法、扫描电子显微镜(SEM)测量法、激光衍射(LD)测量法以及散射测量术的测量原理和研究进展,指出了这些方法各自的优缺点和适用范围。AFM测量法和SEM测量法均可测得光栅的局部形貌信息,可用于检测光栅表面形貌缺陷;LD测量法和散射测量术反映的是激光照射区域的平均结果,其中LD测量法能得到光栅周期参数,而椭偏测量术能得到光栅周期以外的其他形貌参数。这些方法测得的光栅参数结果比较吻合,其中LD测量法不确定度最小,AFM次之,SEM最大。文章最后对未来光栅参数测量技术的发展方向进行了论述。 展开更多
关键词 光栅 光栅参数测量 原子力显微镜 扫描电子显微镜 激光衍射仪 椭偏仪
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激光粒度分析中颗粒折射率的确定方法 被引量:18
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作者 耿淑华 丁伟中 郭曙强 《上海金属》 CAS 北大核心 2014年第2期1-4,共4页
随着粉末冶金技术的发展,金属颗粒粒度分析越来越受到关注,激光法是粒度分析中较常用的方法。比较了Mie散射理论与Fraunhofer衍射理论模型选择对颗粒粒度测试的影响。对于粒度较大颗粒,可以不考虑颗粒的折射率,使用Fraunhofer理论。而... 随着粉末冶金技术的发展,金属颗粒粒度分析越来越受到关注,激光法是粒度分析中较常用的方法。比较了Mie散射理论与Fraunhofer衍射理论模型选择对颗粒粒度测试的影响。对于粒度较大颗粒,可以不考虑颗粒的折射率,使用Fraunhofer理论。而对于亚微米小颗粒,应选择Mie理论,需要提供颗粒与分散介质的折射率。并讨论了待测颗粒折射率实部与虚部的确定方法。 展开更多
关键词 激光法 粒度分析 MIE散射 Fraunhofer衍射 折射率
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