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IABC: An iteratively automatic machine learning boosted hand-eye calibration method for laser displacement sensor
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作者 Helin LI Bin LIN +6 位作者 Tianyi SUI Liang XU Chen ZHANG Shuai YAN Yang WANG Xinquan HAO Deyu LOU 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第8期422-453,共32页
An on-machine measuring(OMM)system with a laser displacement sensor(LDS)is designed for measuring free-form surfaces of hypersonic aircraft’s radomes.To improve the measurement accuracy of the OMM system,a novel Iter... An on-machine measuring(OMM)system with a laser displacement sensor(LDS)is designed for measuring free-form surfaces of hypersonic aircraft’s radomes.To improve the measurement accuracy of the OMM system,a novel Iteratively Automatic machine learning Boosted hand-eye Calibration(IABC)method is proposed.Both the hand-eye relationship and LDS measurement errors can be calibrated in one calibration process without any hardware changes via IABC.Firstly,a new objective function is derived,containing analytical parameters of the handeye relationship and LDS errors.Then,a hybrid calibration model composed of two kernels is proposed to solve the objective function.One kernel is the analytical kernel designed for solving analytical parameters.Another kernel is the automatic machine learning(AutoML)kernel designed to model LDS errors.The two kernels are connected with stepwise iterations to find the best calibration results.Compared with traditional methods,hand-eye experiments show that IABC reduces the calibration RMSE by about 50%.Verification experiments show that IABC reduces the measurement deviations by about 25%-50%and RMSEs within 40%.Even when the training data are obviously less than the test data,IABC performs well.Experiments demonstrate that IABC is more accurate than traditional hand-eye methods. 展开更多
关键词 Hand-Eye Calibration laser displacement sensor Machine learning measurement errors On-Machine measurement
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The Laser Shaft Alignment System with Dual PSDs 被引量:1
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作者 JIAO Guohua 1,2 ,LI Yulin1,ZHANG Dongbo3,LI Tonghai1,HU Baowen1 (1.Xian Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS,Xi’an 710068,China 2.Graduate School of the Chinese Academy of Sciences,Beijing 100039,China 3.The 16th Institute of CATEC,Xi’an 710100,China) 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第S1期107-111,共5页
Shaft alignment is an important technique during installation and maintenance of a rotating machine. A high-precision laser alignment system has been designed with dual PSDs (Position Sensing Detector) to change tradi... Shaft alignment is an important technique during installation and maintenance of a rotating machine. A high-precision laser alignment system has been designed with dual PSDs (Position Sensing Detector) to change traditional manual way of shaft alignment and to make the measurement easier and more accurate. The system is comprised of two small measuring units (laser transmitter and detector) and a PDA (Personal Digital Assistant) with the measurement software. The laser alignment system with dual PSDs was improved on a single PSD system,and it gets higher measurement accuracy than the previous design,and it has been succeeded in designing and implement for actual shaft alignment. In the system,the range of offset measurement is ±4 mm,and the resolution is 1.5 μm,and the accuracy is less than 2 μm. 展开更多
关键词 ROTATING machine SHAFT ALIGNMENT laser ALIGNMENT POSITION sensing detector (psd) laser micro-displac
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基于线激光的压缩机曲轴圆度和平面度测量
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作者 梁杰 孙震伟 《郑州大学学报(工学版)》 CAS 北大核心 2024年第4期133-139,共7页
目前人工使用千分表测量空调压缩机曲轴圆度和平面度时存在易伤工件表面、效率低和不能精确评定等问题。针对上述问题,设计了一套基于线激光位移传感器的空调压缩机曲轴圆度和平面度非接触式测量系统。首先,通过测量标准量棒,提出一种... 目前人工使用千分表测量空调压缩机曲轴圆度和平面度时存在易伤工件表面、效率低和不能精确评定等问题。针对上述问题,设计了一套基于线激光位移传感器的空调压缩机曲轴圆度和平面度非接触式测量系统。首先,通过测量标准量棒,提出一种系统误差的标定方法;其次,基于线激光采样数据,开发了一种曲轴横截面圆度测点的提取算法,并将系统误差用于测点补偿,实现曲轴圆度测量;接着根据曲轴平面测点间的斜率分离出轮廓线,通过均匀下采样方法获取精简点云数据并采用最小二乘法实现曲轴平面度测量;最后,基于上述方法开展了曲轴圆度和平面度的测量实验。实验结果表明:该测量系统的圆度测量精度<4μm,平面度测量精度<2μm,圆度重复度测量误差<0.8μm,平面度重复度测量误差<0.3μm,满足曲轴圆度和平面度快速准确的测量需求。 展开更多
关键词 线激光位移传感器 非接触测量 空调压缩机曲轴 圆度测量 平面度测量
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基于PSD的一维位移测量系统 被引量:10
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作者 于光平 李延吉 冯英荐 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2008年第12期1-3,共3页
介绍了PSD(Position Sensitive Detector)传感器的结构及工作原理,设计了一种基于PSD的非接触精密位移测量系统。系统包括PSD传感器、控制系统和上位机3部分。对控制系统的硬件电路进行了详细介绍,控制系统以STC89C52RC单片机和具有24... 介绍了PSD(Position Sensitive Detector)传感器的结构及工作原理,设计了一种基于PSD的非接触精密位移测量系统。系统包括PSD传感器、控制系统和上位机3部分。对控制系统的硬件电路进行了详细介绍,控制系统以STC89C52RC单片机和具有24位转换精度的AD7714为核心。单片机通过AD7714采集PSD传感器的输出信号,再对采集到的位移信号分析处理后将数据打包通过RS-485接口传给上位机,位移值在上位机界面上显示出来,实现了对系统的远程控制和实时测量。系统的量程为-10^+10 mm,测量分辨率达到了1μm,测量精度较高。 展开更多
关键词 psd传感器 非接触位移测量 AD7714 远程控制
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基于物理水平基准的组合式高程测量方法
5
作者 王清和 赵国柱 +4 位作者 马国鹭 朱目成 宗建宇 王立斌 彭小武 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第1期150-157,共8页
针对空间坐标点相对于测量基准的高程测量准确性问题,提出一种基于物理水平基准的组合式高程测量方法。利用激光三角测量原理及其测量光路的几何特性,搭建了物理水平基准的高程测量系统,在朗伯散射光场中,分析了倾角变化对激光光能质心... 针对空间坐标点相对于测量基准的高程测量准确性问题,提出一种基于物理水平基准的组合式高程测量方法。利用激光三角测量原理及其测量光路的几何特性,搭建了物理水平基准的高程测量系统,在朗伯散射光场中,分析了倾角变化对激光光能质心偏移量的影响,建立了相应的误差修正模型,利用倾角传感器实现了高程测量的倾角误差补偿,自主研制了标定平台对本文提出的高程测量系统进行标定验证试验。结果表明:本文提出的组合式高程测量方法能够在500 mm测量量程下将重复性测量误差控制在±20μm的波动范围内,相较于单一激光位移传感器测量方式,其组合式高程测量误差波动量大幅度降低,能够适应空间坐标点在任意姿态下的精准测量,有效改善激光位移传感器在高程测量领域的性能,使其测量结果更为真实有效。 展开更多
关键词 测量与计量 激光位移传感器 朗伯定律 误差修正 不确定度分析
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基于PSD的高精度激光校准仪的设计 被引量:5
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作者 焦国华 李育林 胡宝文 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第6期64-66,共3页
针对国内对轴系的校准技术普遍采用传统的手工方法,提出了一种基于位置敏感探测器(PSD)的高精度激光校准的解决方法。在PSD信号处理上,使用高精度的A/D转换单片机运用软件算法的方式代替传统的运算电路方法计算PSD位置值,有效地提高了... 针对国内对轴系的校准技术普遍采用传统的手工方法,提出了一种基于位置敏感探测器(PSD)的高精度激光校准的解决方法。在PSD信号处理上,使用高精度的A/D转换单片机运用软件算法的方式代替传统的运算电路方法计算PSD位置值,有效地提高了系统的精度和稳定性。回转式校准仪的偏移测量范围为±4mm,分辨力为1.5μm、精度为5.5μm。可以广泛用于精确轴系校准和定位。 展开更多
关键词 激光微位移测量 激光校准 位置敏感探测器 轴系校准
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基于PSD的微位移传感器建模的实现方法 被引量:6
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作者 丁硕 杨友林 巫庆辉 《电子设计工程》 2012年第11期8-11,共4页
为了正确反映基于光电位置敏感器(PSD)的微位移传感器的特性,首先介绍了一维光电位置敏感器的工作原理并分析了利用PSD结合光学三角测量法将位移信号转换成电压信号的工作原理,得出基于PSD的微位移传感器被测试件位移量与相关测量电路... 为了正确反映基于光电位置敏感器(PSD)的微位移传感器的特性,首先介绍了一维光电位置敏感器的工作原理并分析了利用PSD结合光学三角测量法将位移信号转换成电压信号的工作原理,得出基于PSD的微位移传感器被测试件位移量与相关测量电路输出电压(S,V)关系特征,然后基于最小二乘估计算法基本原理,提出了运用MAT-LAB语言建立PSD的微位移传感器(S,V)关系特征的数学模型的方法,给出了建模的程序流程图以及仿真结果。 展开更多
关键词 光电位置敏感器 微位移传感器 传感器建模 位移测量 MATLAB语言
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基于PSD的微小位移测量研究 被引量:12
8
作者 曾为 陈培锋 李超 《光学与光电技术》 2006年第2期54-56,共3页
介绍了一种新型的纳米精度光学测量系统。该系统结合半导体位置探测器件(Position Sensitive Detection,PSD)及现代计算机技术,利用激光在两平面镜间多次反射,将测量镜的纳米量级被测物位移放大到PSD能够分辨出的微米量级的位移,从而利... 介绍了一种新型的纳米精度光学测量系统。该系统结合半导体位置探测器件(Position Sensitive Detection,PSD)及现代计算机技术,利用激光在两平面镜间多次反射,将测量镜的纳米量级被测物位移放大到PSD能够分辨出的微米量级的位移,从而利用相对低精度的手段完成高精度的测量。实验表明此系统能够对微小位移进行放大测量,测量精度达到11.5 nm。 展开更多
关键词 激光测量 微小位移 多次反射 psd
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基于激光位移传感器的厚度测量校准系统设计及应用
9
作者 孙进 于子金 《宝钢技术》 CAS 2024年第1期60-65,共6页
为了提高钢板厚度校准的精度和安全性,针对传统接触式测厚仪精度低和射线类测厚仪存在辐射风险的问题,设计了一种基于激光位移传感器的差分非接触厚度测量校准系统。该系统采用差分测量结构,将激光位移传感器分别放置在待测钢板的顶部... 为了提高钢板厚度校准的精度和安全性,针对传统接触式测厚仪精度低和射线类测厚仪存在辐射风险的问题,设计了一种基于激光位移传感器的差分非接触厚度测量校准系统。该系统采用差分测量结构,将激光位移传感器分别放置在待测钢板的顶部和底部,通过对传感器数据的采样和计算,实现钢板厚度的准确测量。硬件电路方面采用了STM32核心芯片进行设计,系统软件部分进行了相应的优化设计。试验后,系统重复性精度可达±0.1%,测量允许误差优于±0.05%,同时测量漂移控制在钢板厚度的±0.1%范围内。该系统不仅显著提高了测量精度,同时有效降低了测量过程中的安全风险,在钢板生产和加工领域具有重要的指导意义和应用价值。 展开更多
关键词 钢板厚度 高精度检测 非接触厚度测量 激光位移传感器
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Study on Coaxiality Measurement System of Compound Gear Shaft Based on Non⁃contact Optic 被引量:2
10
作者 YE Zhibin LU Yonghua +2 位作者 TAN Jie LI Yanlong CHAI Zhong 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI CSCD 2021年第3期393-403,共11页
Aiming at the shortcomings of traditional contact measurement methods such as low measurement efficiency,high cost and low accuracy,a non-contact optical measurement method based on the laser displacement sensor is pr... Aiming at the shortcomings of traditional contact measurement methods such as low measurement efficiency,high cost and low accuracy,a non-contact optical measurement method based on the laser displacement sensor is proposed.According to the relevant regulations of the coaxiality error evaluation standard and the structural characteristics of the compound gear shaft,we have designed and built a set of supporting software system as well as a hardware test platform.In this paper,the distance difference threshold and scale threshold methods are used to eliminate outlier data.The least squares circle is selected to calculate the center of the circle and the minimum containment cylinder axis method is used as the reference axis of the composite gear shaft.Compensated by the standard step shaft calibration,the coaxiality error of the composite gear shaft can be measured to be within 0.01 mm in less than two minutes.The range value of the multi-section measurement test is 0.065 mm.The average coaxiality error is∅0.476 mm. 展开更多
关键词 compound gear shaft non-contact measurement laser displacement sensor COAXIALITY measuring system
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基于PSD的高精度激光位移传感器设计与分析 被引量:12
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作者 蔡明知 宋洪侠 +1 位作者 曹铁泽 王晓东 《机电产品开发与创新》 2007年第5期150-152,共3页
介绍了PSD器件的工作原理,对基于三角法测量原理的传感器主要结构参数进行了分析,给出了设计的传感器外形。并设计一种含有多种放大倍数的PSD检测电路,可实现测量中对环境变化的自适应能力。最后分析了影响传感器测量精度的各种因素,并... 介绍了PSD器件的工作原理,对基于三角法测量原理的传感器主要结构参数进行了分析,给出了设计的传感器外形。并设计一种含有多种放大倍数的PSD检测电路,可实现测量中对环境变化的自适应能力。最后分析了影响传感器测量精度的各种因素,并讨论了消除的方法。 展开更多
关键词 高精度位移传感器 位置敏感器件(psd) 激光三角法 放大电路
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基于激光传感器的滤棒长度高速在线检测系统 被引量:2
12
作者 罗亮 陆飞 金强 《中国仪器仪表》 2024年第2期73-77,共5页
为解决滤棒生产过程中,滤棒长度无法实时监控的问题,本文提出采用两台激光位移传感器的非接触式测量方式,建立滤棒长度的理论计算模型,设计由激光位移传感器、工控机、PLC、人机交互界面等组成的滤棒长度高速在线检测系统,实现了滤棒长... 为解决滤棒生产过程中,滤棒长度无法实时监控的问题,本文提出采用两台激光位移传感器的非接触式测量方式,建立滤棒长度的理论计算模型,设计由激光位移传感器、工控机、PLC、人机交互界面等组成的滤棒长度高速在线检测系统,实现了滤棒长度的在线检测、检测数据存储、不合格品剔除报警。测试结果表明:该系统实现滤棒长度的在线检测,检测精度为0.01mm;系统运行稳定可靠,操作简单易懂,人机交互性较好,对提高滤棒长度的在线监控水平、自动化程度和滤棒质量具有较好的实用价值。 展开更多
关键词 滤棒 长度测量 激光传感器 位移检测系统
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隔离开关合闸状态的非接触自动检测方法
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作者 苑龙祥 汪华平 +2 位作者 王阳 刘敬之 曲全磊 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期734-738,共5页
为了提升隔离开关合闸状态自动检测效果,采用了基于激光位移传感器的隔离开关合闸状态非接触自动检测方法,使激光位移传感器的分辨率达到最大值,优化了激光位移传感器的光学参数,提升了其位移测量精度;通过光学参数优化后的激光位移传感... 为了提升隔离开关合闸状态自动检测效果,采用了基于激光位移传感器的隔离开关合闸状态非接触自动检测方法,使激光位移传感器的分辨率达到最大值,优化了激光位移传感器的光学参数,提升了其位移测量精度;通过光学参数优化后的激光位移传感器,采集隔离开关轮廓曲线,得到隔离开关轮廓曲线采样点集;利用最小二乘法拟合隔离开关轮廓曲线采样点的椭圆方程,并计算隔离开关导电臂与水平方向的夹角;当导电臂夹角处于规定夹角区间内,则判定合理开关合闸到位,完成隔离开关合闸状态非接触自动检测。结果表明,该方法计算的前、后导电臂夹角分别在0.4°与0.5°左右,均低于夹角规定区间。这一结果对实现隔离开关合闸状态非接触自动检测是有帮助的。 展开更多
关键词 激光技术 测量与计量 隔离开关 激光位移传感器 合闸状态 非接触 自动检测 最小二乘法
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优化非线性误差的激光位移传感器测距仿真
14
作者 赵凤龙 王伟锋 《计算机仿真》 2024年第10期400-404,共5页
激光位移传感器需要具有高精度和高分辨率的测量能力,以满足实际应用的需求,为此提出一种优化非线性误差的激光位移传感器测距方法。在物联网环境下,通过双目视觉系统得到激光位移传感器光束的光斑位置,采用最小二乘法拟合光束直线得到... 激光位移传感器需要具有高精度和高分辨率的测量能力,以满足实际应用的需求,为此提出一种优化非线性误差的激光位移传感器测距方法。在物联网环境下,通过双目视觉系统得到激光位移传感器光束的光斑位置,采用最小二乘法拟合光束直线得到光束方向参数,同时利用激光位移传感器的数值求解零点位置,实现距离测量。由于测距过程中存在非线性固有误差,为此引入BP神经网络对激光位移传感器的测距误差展开训练,完成位移误差补偿。仿真结果表明,所提方法可以有效降低激光位移传感器测距误差,同时还可以有效缩短测距耗时。 展开更多
关键词 物联网技术 激光位移传感器 测距 最小二乘法 双目视觉系统
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采用PSD的激光平台测量仪的设计 被引量:5
15
作者 张金根 刘志勤 +1 位作者 衣彬 伏艳 《电光与控制》 北大核心 2007年第6期186-188,共3页
针对传统的测量小角度、小位移的工具所存在的体积大、功耗大、成本高、操作复杂、测量精度难以保证等缺陷,设计了一种采用PSD作为主测量器件,ADS7825作为A/D转换器件,LPC2214作为核心控制器件的激光平台测量系统。经过严格的测试表明,... 针对传统的测量小角度、小位移的工具所存在的体积大、功耗大、成本高、操作复杂、测量精度难以保证等缺陷,设计了一种采用PSD作为主测量器件,ADS7825作为A/D转换器件,LPC2214作为核心控制器件的激光平台测量系统。经过严格的测试表明,该系统能够达到较高的测量精度,大幅度降低了成本,体积、功耗都比较小,同时操作简单。 展开更多
关键词 激光平台测量仪 位置敏感探测器 角位移
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基于激光位移传感器的可视化表面粗糙度测量系统
16
作者 陈涛 谢雨芳 +2 位作者 陈怡硕 宋沅馨 陈尉棋 《中国仪器仪表》 2024年第7期64-67,共4页
表面粗糙度是表面微观几何形状误差,它是评价材料加工质量的一个重要参量。传统接触式测量表面粗糙度容易造成表面划伤,且测量速度低,不适合在线测量,而非接触式测量方法能够克服上述不足。本文设计了一种基于激光位移传感器的非接触式... 表面粗糙度是表面微观几何形状误差,它是评价材料加工质量的一个重要参量。传统接触式测量表面粗糙度容易造成表面划伤,且测量速度低,不适合在线测量,而非接触式测量方法能够克服上述不足。本文设计了一种基于激光位移传感器的非接触式表面粗糙度测量系统,对设定区域扫描,实现对物体表面微观变化的在线检测,通过分析反射光强的变化,获得物体表面形貌变化及偏差信息。该系统采用MP340单片机进行数据处理,借助可视化人机交互界面实时监测被测物体表面状态结果。实验测试表明,系统原理直观,测试数据精确可靠,抗背景光干扰能力强,轴向检测范围在1~80µm的测量,精度小于5µm,为实际应用提供一种技术参考。 展开更多
关键词 激光位移传感器 表面粗糙度 非接触测量 可视化 人机交互
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基于逐层切割法不规则果实体积测量的研究
17
作者 陈小梅 黄惠 《龙岩学院学报》 2023年第2期55-60,共6页
研究一种不规则果实体积综合测量装置,实现对果实的体积、纵径、横径、表面粗糙度等相关指标的一次性测量。采用丝杆机构双向移动实现果实自动定位,解决不规则水果中心难以确定问题;设计自带径向移动的旋转机构,满足不同大小果径测量;... 研究一种不规则果实体积综合测量装置,实现对果实的体积、纵径、横径、表面粗糙度等相关指标的一次性测量。采用丝杆机构双向移动实现果实自动定位,解决不规则水果中心难以确定问题;设计自带径向移动的旋转机构,满足不同大小果径测量;基于不规则曲面立体切割法实时测算果实体积,测量精度高,一次装夹可以实现多个参数指标的测量。实验结果显示:测量直径为175 mm的规则物(球),横径误差为0.39%,体积误差为0.32%,以不规则物为试件(最大横径为104 mm),横径误差为0.16%,体积误差为0.17%,具有较高的精度,并且果径越小,精度越高。该装置的应用可降低果实分拣的劳动强度,满足科学研究的需求,为准确快速地测量不规则物体积提供了一种新的思路。 展开更多
关键词 不规则 体积测量 逐层切割法 激光位移传感器
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基于2D位移激光传感器的钢轨波磨动态检测方法 被引量:1
18
作者 滕云 刘宏立 +1 位作者 马子骥 刘建伟 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第5期121-125,共5页
针对2D位移激光传感器在高速和宽波段的钢轨波磨动态测量过程中受到点头振动和噪声干扰的问题,提出一种基于经验模态分解(EMD)的分趋势式数据拼接方法。首先,将采集到的波磨数据进行EMD,并将其分为长趋势与短趋势;然后,通过盲识别方法... 针对2D位移激光传感器在高速和宽波段的钢轨波磨动态测量过程中受到点头振动和噪声干扰的问题,提出一种基于经验模态分解(EMD)的分趋势式数据拼接方法。首先,将采集到的波磨数据进行EMD,并将其分为长趋势与短趋势;然后,通过盲识别方法提取出数据采集中产生的偏移角度,从而准确提取出相邻采样数据之间的相干数据集;最后,通过不同趋势段的数据配准完成相邻采样数据集的拼接。实验结果表明:所提方法可稳定、精确地在真实铁路测量环境中对钢轨波磨进行测量。 展开更多
关键词 钢轨波磨 数据拼接 点头振动 动态测量 2D激光位移传感器
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一种基于卡尔曼滤波的自由曲面扫描测量方法 被引量:1
19
作者 苏鹏 孙晓 +2 位作者 于柳 文比强 汤迎红 《机电工程技术》 2023年第3期93-97,共5页
将激光位移传感器安装在旋转的机构上实现对自由曲面的内径测量,创新提出了一种基于卡尔曼滤波的高精度补偿算法,有效解决了异形面的激光高精度测量难题。首先介绍分析了激光三角法的测量原理,结合被测对象的结构特点,设计了一种仿形测... 将激光位移传感器安装在旋转的机构上实现对自由曲面的内径测量,创新提出了一种基于卡尔曼滤波的高精度补偿算法,有效解决了异形面的激光高精度测量难题。首先介绍分析了激光三角法的测量原理,结合被测对象的结构特点,设计了一种仿形测量方法,采用几何定心的原理,对自由曲面的弧面半径进行高精度的离散测量。建立了标准卡尔曼滤波算法,蒙特卡洛方法用于模拟激光位移传感器测量的半径范围结果,对模拟的范围结果提出运用卡尔曼滤波技术进行误差补偿,并在MATLAB上进行实验仿真,最后对仿真结果进行分析。实验结果表明,该方法能够将数据的标准差降低近50%,并过滤掉明显噪点。该测量方法能应用在不同半径范围的管道自由曲面,有效减小了测量过程中产生的误差,提高了测量精度,为提高管道内径测量精度提供了参考。 展开更多
关键词 激光位移传感器 激光三角法 内径测量 卡尔曼滤波 测量精度
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非接触三点内径测量法中角度安装误差的校准方法研究
20
作者 钟亦林 马有为 +2 位作者 丁国清 马英超 陈欣 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第4期107-112,共6页
由于操作简便,非接触三点内径测量法常用于工业现场测量。为提高工件内径测量精度,对在安装中无法避免的位移传感器角度安装误差进行分析建模,提出了一个新的考虑角度安装误差的非接触内径测量模型及一种基于多观测位置联立方程的误差... 由于操作简便,非接触三点内径测量法常用于工业现场测量。为提高工件内径测量精度,对在安装中无法避免的位移传感器角度安装误差进行分析建模,提出了一个新的考虑角度安装误差的非接触内径测量模型及一种基于多观测位置联立方程的误差校准方法。通过仿真分析了模型中观测位置数、工件内径尺寸与其他参数的设置对校准结果的影响,确认了在观测位置数大于4时即可实现对误差的校准。最终,使用激光位移传感器构建内径测量系统并开展实验,验证了角度安装误差校准方法的有效性,圆工件的内径测量的绝对精度与重复性精度分别在0.6μm与0.4μm以下。 展开更多
关键词 内径测量 角度安装误差 校准 激光位移传感器
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