Development of Debris-free Laser Plasma Sources for EUV Lithography in CIOMP

We have been developing debris-free laser plasma sources for EUV lithography since 1996. Two types of debris-free sources, such as cryogenic target and gas-puff target laser plasma sources, were designed and built up in CIOMP. EUV radiation spectra of the sources with a variety of targets have been obtained by different ways.

氪激光等离子体X射线谱研究

在“星光-Ⅱ”激光装置上，聚焦1．06μm激光束于真空室内氪气体喷射靶上，产生氪元素激光等离子体．用PET（2d=0．8742nm）平晶谱仪测量了氪激光等离子体5．25～7．55A范围的X射线发射谱．基于准相对论多组态理论，考虑了CI作用和Breit修正，采用COWAN程序计算了氪的类C到类Mg离子3—2和4—2共振跃迁波长和跃迁几率．16条氪的类N至类F离子．共振线得到辨识和归类．本工作对于积累氪元素离子谱线数据具有重要的意义．

激光气体靶产生的类氖氪离子4d-2p共振跃迁及其类Na3l4l′双电子伴线的研究

用相对论多组态 (HXR)方法 ,详细计算了类Ne氪离子 4d 2 p类Na 3l4l′双电子伴线波长和强度因子 ,并模拟了实验光谱 ,解释了最新利用激光气体靶产生的 0 .5 2 5～ 0 .5 5 5nm范围的氪X Ray光谱 ,计算结果与实验符合得相当好。此外 ,还讨论了组态相互作用对双电子伴线结构的影响。

超短强激光辐照Ar喷气靶的X射线发射

利用带差分抽运系统的高效高分辨率软 X射线大面积透射光栅光谱仪 ,对超短强激光脉冲辐照下氩气体靶的软 X射线发射特性进行了光谱诊断。测得了氩气 1 2 nm～ 35 nm范围内的 X射线发射光谱 ,并观察到

用于超短强激光与气体靶相互作用实验的新型前置差分抽运系统

介绍了用于超短超强激光脉冲 -脉冲气体靶相互作用研究的新型差分抽运系统 ,与高效高分辨率大面积透射光栅光谱仪配合 ,进行了超短激光脉冲辐照下氩气喷靶的软 X射线发射特性的实验研究。实验表明 ,该谱仪有足够的灵敏度参与超短强激光脉冲辐照气体靶的软 X射线产生、X射线激光乃至高次谐波实验的软 X射线光谱诊断工作。