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Pumping characteristics of Ti-based non-evaporable getter
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作者 张艳 尉秀英 +1 位作者 熊玉华 秦光荣 《广东有色金属学报》 2005年第2期318-322,共5页
The application of non-evaporable getters is increasing, they have been widely used in sealed-off vacuum or controlled atmosphere devices. A new type of Ti-based sintered non-evaporable getter has been studied. The ro... The application of non-evaporable getters is increasing, they have been widely used in sealed-off vacuum or controlled atmosphere devices. A new type of Ti-based sintered non-evaporable getter has been studied. The room temperature pumping speeds under three activation processes for H2 were measured as a function of sorbed gas quantities in this paper. At the same time, the optimal activation processes were discussed. The results indicate that the getter combines high porosity and large specific surface area which confirm good performances at room temperature. The threshold of activation temperature is about 500℃ and optimal pumping speed and pumping capacity can be achieved with activation temperature around 600℃ for 30 min. Besides, different configurations can be available in accordance with requirements. 展开更多
关键词 真空技术 真空材料 蒸发性
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钛基非蒸散型吸气剂的性能研究 被引量:7
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作者 张艳 尉秀英 +1 位作者 秦光荣 熊玉华 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期52-55,共4页
研究了不同成分经相同工艺制成的钛基烧结体非蒸散型吸气剂的性能。测试了钛基吸气剂在3种激活工艺下的室温吸氢性能,并将它们与传统同类型高温激活Zr-C吸气剂的室温吸氢性能作了对比。同时对钛基吸气剂进行了形貌观察、孔隙度测试和强... 研究了不同成分经相同工艺制成的钛基烧结体非蒸散型吸气剂的性能。测试了钛基吸气剂在3种激活工艺下的室温吸氢性能,并将它们与传统同类型高温激活Zr-C吸气剂的室温吸氢性能作了对比。同时对钛基吸气剂进行了形貌观察、孔隙度测试和强度测试。结果表明,这种新型的钛基吸气剂在低温激活时的室温吸氢性能优于高温激活的传统Zr-C吸气剂,随着激活温度的升高,新型吸气剂的性能更好。此外,新型吸气剂抗振动性能很好,解决了传统吸气剂的掉粉问题。 展开更多
关键词 钛基吸气剂 激活温度 吸气性能 机械强度
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半导体器件硅基片的激光去杂探讨
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作者 程国义 程念政 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期36-39,共4页
介绍硅基片材料激光去杂的实验探讨方法,分析报导了激光去杂的实验结果。
关键词 激光去杂 半导体器件 基片 PN结 热特性
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一种变温变压恒容吸气性能测试装置的原理及应用
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作者 欧振德 刘志坚 +1 位作者 王茂安 黄海锋 《理化检验(物理分册)》 CAS 2014年第4期287-291,共5页
针对制导武器专用热电池在运行时内部温度、气压剧变的问题,开发了一种变温、变压、恒容条件下材料吸气性能测试装置。运用理想气体模型,对装置过渡温区进行设计和修正,使其达到精度要求,并利用该装置有效表征了Li-B基吸气材料在变温、... 针对制导武器专用热电池在运行时内部温度、气压剧变的问题,开发了一种变温、变压、恒容条件下材料吸气性能测试装置。运用理想气体模型,对装置过渡温区进行设计和修正,使其达到精度要求,并利用该装置有效表征了Li-B基吸气材料在变温、变压、恒容条件下的吸气性能。 展开更多
关键词 变温变压恒容 吸气性能测试装置 li-b基吸气材料
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Ti基吸气剂制备及其在MEMS晶圆级真空封装中的应用 被引量:2
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作者 刘磊 王帆 +2 位作者 喻磊 周魁 许磊 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第5期439-445,共7页
采用倾斜溅射工艺制备了一种Cr/Ti/Ni三层金属吸气剂薄膜,其中Ti薄膜作为主吸气层,Cr薄膜为沉积在Ti下方的阻挡层,Ni薄膜为覆盖在Ti上方的保护层。在350℃高温激活后,吸气剂初始吸气速率大于100 cm^(3)·s^(-1)·cm^(-2),30 mi... 采用倾斜溅射工艺制备了一种Cr/Ti/Ni三层金属吸气剂薄膜,其中Ti薄膜作为主吸气层,Cr薄膜为沉积在Ti下方的阻挡层,Ni薄膜为覆盖在Ti上方的保护层。在350℃高温激活后,吸气剂初始吸气速率大于100 cm^(3)·s^(-1)·cm^(-2),30 min内吸气容量大于40 Pa·cm^(3)·cm^(-2),接近国外先进吸气剂的吸气性能指标。利用一种特殊的立体掩膜在微电子机械系统(MEMS)盖帽深腔内制备吸气剂,并将盖帽用于陀螺仪的晶圆级真空封装。对封装好的陀螺仪芯片进行微腔室残余气体分析,陀螺仪内部封装真空度达到1 Pa量级,气体成分均为惰性气体,表明吸气剂在真空封装中发挥了重要作用。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 晶圆级封装 陀螺仪 Ti基吸气剂 立体掩膜
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锂硼基吸气剂对不同气体的常温自激活吸气特性
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作者 周前远 刘志坚 黄海锋 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期8183-8188,共6页
考察了锂硼基吸气剂在室温下对H_2、N_2、O_2、湿空气和干空气的长期吸气特性,采用XRD和SEM研究了锂硼基吸气剂在吸气后的物相及表面形貌的变化,分析了吸气机制。结果表明,室温下锂硼基吸气剂在H_2、O_2、N_2环境中吸气960h后,吸气量分... 考察了锂硼基吸气剂在室温下对H_2、N_2、O_2、湿空气和干空气的长期吸气特性,采用XRD和SEM研究了锂硼基吸气剂在吸气后的物相及表面形貌的变化,分析了吸气机制。结果表明,室温下锂硼基吸气剂在H_2、O_2、N_2环境中吸气960h后,吸气量分别为QH=13._20Pa·m3/g、QO=4.35Pa·m^3/g、QN=_2.73Pa·m^3/g。锂硼基吸气剂关于纯气体的吸气模型主要分为3个阶段:Ⅰ阶段为表面锂反应控制阶段;Ⅱ阶段为Li和气体原子互扩散控制阶段;Ⅲ阶段为LiB中Li释出扩散或气体原子经产物层向内扩散控制阶段。锂硼基吸气剂在干空气和湿空气下的吸气过程不存在明显的3个阶段。封闭环境中一定量的水蒸气与吸气剂相互作用后,生成物有阻碍作用,使吸气量大大降低。 展开更多
关键词 锂硼基吸气剂 不同气体 常温吸气 吸气模型
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基于商用车业务的产品配置管理系统研究
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作者 谢福俊 《电脑知识与技术》 2013年第6X期4350-4352,共3页
为解决商用车市场动态多变、车型配置种类繁多且复杂,人工维护数据量大难度高易出错的问题。对企业内部车型配置管理提出了较高的要求,结合产品配置管理和产品数据结构管理,开发出一套产品配置数据管理系统UC GETTER,系统主要以基于客... 为解决商用车市场动态多变、车型配置种类繁多且复杂,人工维护数据量大难度高易出错的问题。对企业内部车型配置管理提出了较高的要求,结合产品配置管理和产品数据结构管理,开发出一套产品配置数据管理系统UC GETTER,系统主要以基于客户需求的配置过程为主线,组织创建整车企业产品配置知识库,使产品配置管理与产品数据结构管理有效结合。通过对系统的构架与实施,降低了复杂产品配置任务间的耦合程度,减少了配置过程的迭代次数,优化了产品配置设计过程,确保了产品配置源头数据的完整性和准确性。 展开更多
关键词 商用车市场 整车产品配置管理 UCgetter系统 基于客户需求
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Ti_(40)Zr_(22)V_(24)Cr_(8)Mn_(6)非蒸散型吸气剂低温激活性能研究
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作者 于梦婕 熊玉华 +1 位作者 吴华亭 刘晓鹏 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期753-760,共8页
使用电弧熔炼法制备了Ti_(40)Zr_(22)V_(24)Cr_(8)Mn_(6)合金,并通过机械破碎和模压成型法获得了多孔块状吸气剂。X射线衍射(XRD)结果表明Ti_(40)Zr_(22)V_(24)Cr_(8)Mn_(6)合金是由体心立方(bcc)相和C15 Laves相组成的双相结构,扫描电... 使用电弧熔炼法制备了Ti_(40)Zr_(22)V_(24)Cr_(8)Mn_(6)合金,并通过机械破碎和模压成型法获得了多孔块状吸气剂。X射线衍射(XRD)结果表明Ti_(40)Zr_(22)V_(24)Cr_(8)Mn_(6)合金是由体心立方(bcc)相和C15 Laves相组成的双相结构,扫描电镜(SEM)图像显示其中的C15 Laves相呈簇晶状弥散分布于具有bcc相的Ti基固溶体中。使用原位X射线光电子能谱(XPS)分析了吸气剂表面活性元素在150~450℃的价态变化,结果发现Ti_(40)Zr_(22)V_(24)Cr_(8)Mn_(6)吸气剂表面钝化层中的Ti,V,Cr,Mn元素可在350℃时被完全还原为金属态;当激活温度升至450℃后,样品表面氧化物含量低至1.16%,具有较高的低温激活效率。在相同条件下,使用定压法对Ti_(40)Zr_(22)V_(24)Cr_(8)Mn_(6)和Zr_(56)V_(37)Fe_(7)吸气剂的室温吸氢性能进行测试,结果显示在250℃烘烤3 h条件下,前者的吸气速率是后者的约1.4倍;接着在400℃保温30 min的条件下对吸气剂进行再激活,此时前者的吸气速率是后者的约1.2倍。可见Ti_(40)Zr_(22)V_(24)Cr_(8)Mn_(6)吸气剂具有优良的室温吸氢性能,这种Ti基吸气材料体系的突破为发展新一代低温激活材料提供了有效参考。 展开更多
关键词 Ti基吸气剂 低温激活 原位X射线光电子能谱(XPS) 体心立方(bcc)相 C15 Laves相
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