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2.94μm LiNbO_(3)声光调Q Er:YAG激光输出脉冲特性 被引量:1
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作者 王滔宁 姜玲玲 +2 位作者 程庭清 王礼 江海河 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期186-191,共6页
2.94μm纳秒铒激光是宽调谐中红外激光和临床医疗研究中重要的固体激光源.本文研制了新型LiNbO_(3)声光调Q Er:YAG激光器,研究了20 Hz重复频率下不同调Q延迟时间和耦合腔镜反射率对激光输出脉冲特性的影响规律.根据测量激光器的热透镜... 2.94μm纳秒铒激光是宽调谐中红外激光和临床医疗研究中重要的固体激光源.本文研制了新型LiNbO_(3)声光调Q Er:YAG激光器,研究了20 Hz重复频率下不同调Q延迟时间和耦合腔镜反射率对激光输出脉冲特性的影响规律.根据测量激光器的热透镜焦距设计了凹凸谐振腔补偿热透镜效应,获得了激光单脉冲能量为34.68 mJ、脉冲宽度为119.9 ns的调Q输出,相应的峰值功率为289.24 kW,与平平腔相比输出能量提高了2.09倍.据我们所知,这是目前声光调Q Er:YAG激光器中获得的最高能量,可为进一步研究宽调谐中红外激光技术提供新的手段. 展开更多
关键词 固体激光器 ER:YAG linbo_(3)声光调Q开关
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Multimode Interference Optical Power Splitter in Proton-Exchange LiNbO_3 Waveguides
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作者 马慧莲 王明华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期137-140,共4页
The self imaging effect in graded index waveguides using annealed proton exchange (APE) technique in lithium niobate (LiNbO 3) waveguides is analyzed and simulated using the three dimensional nonparaxial beam pro... The self imaging effect in graded index waveguides using annealed proton exchange (APE) technique in lithium niobate (LiNbO 3) waveguides is analyzed and simulated using the three dimensional nonparaxial beam propagation method (BPM).On this basis,a 1×8 multimode interference (MMI) optical power splitter by APE technique in X cut LiNibO 3 with Y propagation substrate is fabricated.Measurements show that the device has realized eight powers splittings. 展开更多
关键词 MMI optical power splitter nonparaxial BPM APE linbo 3 waveguides
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Optical Waveguide and Nonlinear Properties of Bi_3NdTi_3O_(12) Thin Films
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作者 王月花 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2010年第5期743-746,共4页
Neodymium-substituted bismuth titanate (Bi3NdTi3O12, BNT) thin films were prepared on quartz substrates by a metal-organic solution deposition process. The crystalline structure was evaluated by X-ray diffraction. W... Neodymium-substituted bismuth titanate (Bi3NdTi3O12, BNT) thin films were prepared on quartz substrates by a metal-organic solution deposition process. The crystalline structure was evaluated by X-ray diffraction. Waveguide property was investigated by using prism coupling technique and optical transmittance measurement. The optical nonlinearities of the film were measured by the top-hat Z-scan techniques and a large positive nonlinear refractive index, nonlinear refractive coefficient and two-photon absorption coefficient were determined to be 3.84×10^7 esu, 0.7523 cm^2/GW and 4.81×10^4 cm/GW, respectively. These results reveal that the BNT film may be a kind of new multifunctional materials. 展开更多
关键词 Bi3NdTi3O12 waveguide property optical nonlinearity
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超短脉冲激光在掺Er^(3+)磷酸盐玻璃中制备光波导的实验研究
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作者 白晶 龙学文 《原子与分子物理学报》 北大核心 2024年第4期121-128,共8页
超短脉冲激光通过非线性吸收调制光学材料折射率提供了一种高效制备集成三维光子器件的途径.掺Er^(3+)磷酸盐玻璃由于其优异的特性以及在1.55μm通信波段附近的发射光谱,成为了集成光学主动增益材料中的研究热点.实验采用重复频率1 kHz... 超短脉冲激光通过非线性吸收调制光学材料折射率提供了一种高效制备集成三维光子器件的途径.掺Er^(3+)磷酸盐玻璃由于其优异的特性以及在1.55μm通信波段附近的发射光谱,成为了集成光学主动增益材料中的研究热点.实验采用重复频率1 kHz,中心波长800 nm,脉冲宽度120 fs的钛宝石飞秒激光放大系统作为制备波导的光源,系统研究了加工参数对激光写入形貌、波导形成及光学特性的影响.实验结果表明,在狭缝整形辅助短焦物镜横向刻写条件下,写入脉冲能量为1.8μJ时,光波导可以在写入速度为10μm/s-160μm的较宽范围内形成;写入速度为40μm/s时,光波导写入脉冲能量参数窗口为1.6μJ-2.0μJ;波导写入深度在125μm-200μm范围时,波导横截面对称性较好且折射率修改明显;近场强度测量结果显示所制备波导近场强度分布对称,导光特性良好.通过有限差分法反推波导区域折射率修改分布,结果显示最大折射率修改为Δn=6.6×10^(-4).截断传输损耗测量结果显示所制备波导的传输损耗低至0.91 dB/cm. 展开更多
关键词 超短脉冲激光 光波导 掺铒磷酸盐玻璃 集成光学
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质子交换LiNbO_(3)光波导 被引量:17
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作者 张德龙 丁桂兰 +1 位作者 崔宇明 陈才和 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2001年第1期45-65,共21页
本文全面系统地综述了质子交换LiNbO3光波导的机理、结构特征和光学性质。描述了掺杂LiNbO3质子交换波导的特征 。
关键词 质子交换 linbo_(3)光波导 结构特征 光学性质 机理 光电子器件
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(001)SiO_2衬底上LiNbO_3光波导薄膜的制备 被引量:4
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作者 徐国跃 郭新立 刘俊明 《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期223-226,共4页
采用脉冲激光淀积技术,在(001)取向的SiO2衬底上制备了LiNbO3薄膜。为了防止淀积过程缺氧,往淀积腔内充入10~15Pa的流动氧气,淀积速度0.3~1.0nm/min,淀积时间1h,淀积结束后,充入0.6Pa... 采用脉冲激光淀积技术,在(001)取向的SiO2衬底上制备了LiNbO3薄膜。为了防止淀积过程缺氧,往淀积腔内充入10~15Pa的流动氧气,淀积速度0.3~1.0nm/min,淀积时间1h,淀积结束后,充入0.6Pa的氧气,在650℃保温0.5h。采用x射线衍射和扫描电镜对LiNbO3薄膜的微观结构及表面形貌进行了检测。结果表明:LiNbO3薄膜具有(012),(024)典型的LiNbO3粉末晶体衍射峰,薄膜成分晶体结构比较纯净,而且薄膜表面光滑。利用棱镜耦合法将波长为0.638μm的激光束耦合到LiNbO3薄膜中,观察到LiNbO3薄膜具有较好的光波导性能。 展开更多
关键词 脉冲激光器 光波导 淀积 薄膜 铌酸锂
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LiNbO_3光波导F-P腔滤波器的分析设计 被引量:2
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作者 符运良 袁一方 +1 位作者 吴英才 陈抱雪 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期40-42,65,共4页
采用转移矩阵法推导出内置LiNbO3 光波导的F P腔滤波器的功率传输系数,运用计算机进行模拟计算,分析了光波导的传输损耗和腔薄膜反射率对滤波器透射光谱的强度、带宽和精细度的影响。结果表明,传输损耗越大,透射光谱的强度变小,带宽越大... 采用转移矩阵法推导出内置LiNbO3 光波导的F P腔滤波器的功率传输系数,运用计算机进行模拟计算,分析了光波导的传输损耗和腔薄膜反射率对滤波器透射光谱的强度、带宽和精细度的影响。结果表明,传输损耗越大,透射光谱的强度变小,带宽越大;反射率越大,透射光谱的强度变小,但带宽变小,精细度增大。考虑了滤波器的透射光谱强度和精细度等因素,提出一个合理的腔薄膜反射率,优化了滤波器的设计参数。 展开更多
关键词 滤波 linbo3光波导 F-P腔 传输损耗 精细度
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Optimization of Plasma Etching Parameters and Mask for Silica Optical Waveguides 被引量:1
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作者 周立兵 刘文 吴国阳 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1104-1110,共7页
Optical waveguides in silica-on-silicon are one of the key elements in optical communications.The processes of deep etching silica waveguides using resist and metal masks in RIE plasma are investigated.The etching res... Optical waveguides in silica-on-silicon are one of the key elements in optical communications.The processes of deep etching silica waveguides using resist and metal masks in RIE plasma are investigated.The etching responses,including etching rate and selectivity as functions of variation of parameters,are modeled with a 3D neural network.A novel resist/metal combined mask that can overcome the single-layer masks’ limitations is developed for enhancing the waveguides deep etching and low-loss optical waveguides are fabricated at last. 展开更多
关键词 reactive ion etching silica-on-silicon optical waveguides 3D neural network
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质子交换X切LiNbO_3光波导的光学特性及其电光调制研究
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作者 符运良 邹旭 羊大立 《广西大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2018年第2期724-731,共8页
为了研究质子交换条件对光波导特性的影响,利用棱镜耦合m线法和IWKB(Inverse Wentzel-KramersBrillouin)法,研究了质子交换温度、交换时间和退火累积时间对光波导光学特性的影响。实验结果表明,在相同交换温度条件下,交换时间越长,波导... 为了研究质子交换条件对光波导特性的影响,利用棱镜耦合m线法和IWKB(Inverse Wentzel-KramersBrillouin)法,研究了质子交换温度、交换时间和退火累积时间对光波导光学特性的影响。实验结果表明,在相同交换温度条件下,交换时间越长,波导表面折射率增量越大,波导深度越深;在相同交换时间条件下,温度越高,波导表面折射率增量越大,波导深度越深,温度对光波导的光学特性起重要作用。退火前波导折射率分布为阶跃型分布,退火后波导折射率为渐变型分布。在苯甲酸中掺入1%的苯甲酸锂、交换温度为230℃以及交换时间为45 min条件下可获得单模平面光波导。制作了X切Y传LiNbO_3单模条形光波导,并对单模条形光波导的电光调制进行了研究。结果表明,在半波电压范围内,随着调制电压的增加,光波导透射光相位增加,光波导透射光强随调制电压增加而减少。 展开更多
关键词 光波导 linbo3晶体 苯甲酸 质子交换 电光调制
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基于LiNbO_3波导的共线集成声光器件
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作者 李晓惠 杨亚培 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期355-358,共4页
回顾了基于LiNbO3 波导的共线声光器件的研究进展。介绍了该类器件在光束偏转和调制、信号处理、光计算等领域的应用现状 。
关键词 共线声光 linbo3波导 集成光学 器件
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Structure and Waveguide Properties of Sol-Gel Derived Gd_2O_3 Films 被引量:1
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作者 郭海 肖腾 +4 位作者 杨旭东 张慰萍 楼立人 尹民 Jacques Mugnier 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第1期27-30,共4页
Pure and rare earth doped gadolinium oxide (Gd 2O 3) waveguide films were prepared by a simple sol-gel process and dip-coating method. Structure of Gd 2O 3 films annealed at different temperature was investigated ... Pure and rare earth doped gadolinium oxide (Gd 2O 3) waveguide films were prepared by a simple sol-gel process and dip-coating method. Structure of Gd 2O 3 films annealed at different temperature was investigated by X-ray diffraction and transmission electron microscopy. Oriented growth of (400) face of Gd 2O 3 has been observed when the films were deposited on amorphous substrate. The refractive index and thickness of films were determined by m-lines spectroscopy. The laser beam (λ=632.8 nm) was coupled into the film by a prism coupler and the propagation length is about 3.5 cm. Luminescence properties of europium ions doped films were measured by waveguide fluorescence spectroscopy, which shows disordered environment for Eu 3+ at 400 ℃. 展开更多
关键词 OPTICS waveguide film SOL-GEL gadolinium oxide (Gd2O3) rare earths
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BaTiO_(3)薄膜的制备及其在电光调制器的应用
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作者 任怡静 马新国 +3 位作者 张锋 陆晶晶 张力 王晗 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第4期688-700,共13页
BaTiO_(3)凭借其较高的电光系数、优良的压电性质和非线性光学性质,成为制备高性能电光调制器的关键材料。其制备方法、实验条件和衬底的选择等决定了薄膜的质量、生长取向和电光系数等,进而影响电光调制器的传播损耗、半波电压、消光... BaTiO_(3)凭借其较高的电光系数、优良的压电性质和非线性光学性质,成为制备高性能电光调制器的关键材料。其制备方法、实验条件和衬底的选择等决定了薄膜的质量、生长取向和电光系数等,进而影响电光调制器的传播损耗、半波电压、消光比等性能。本文从电光调制器的工作原理出发,围绕BaTiO_(3)薄膜的制备方法、实验条件和薄膜衬底等,探讨了成膜的取向和质量的影响因素,分析了各个BaTiO_(3)薄膜制备方法的优缺点,论述了波导的结构及参数,并展望了未来优化BaTiO_(3)薄膜制备和波导制作工艺的方向。 展开更多
关键词 BaTiO_(3)薄膜 电光调制器 波导 电光系数 化学气相沉积法 分子束外延法
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A saccharides sensor developed by symmetrical optical waveguide-based surface plasmon resonance
13
作者 Ang Li Zhouyi Guo +6 位作者 Qing Peng Chan Du Xida Han Le Liu Jun Guo Yonghong He Yanhong Ji 《Journal of Innovative Optical Health Sciences》 SCIE EI CAS 2015年第2期19-25,共7页
We proposed a new saccharides sensor developed by symmetrical optical waveguide(SOW)-based surface plasmon resonance(SPR).This unique MgF_(2)/Au/MgF_(2)/Analyte film structure results in longer suface plasmon wave(SPW... We proposed a new saccharides sensor developed by symmetrical optical waveguide(SOW)-based surface plasmon resonance(SPR).This unique MgF_(2)/Au/MgF_(2)/Analyte film structure results in longer suface plasmon wave(SPW)propagation lengths and depths,leading to an increment of resolution.In this paper,we managed to decorate the dielectric interface(MgF_(2) layer)by depositing a thin polydopamine film as surface adherent that provides a platform for secondary reactions with the probe molecule.3-Aminophenylboronic acid(3-PBA)is chosen to be the saccharides sense probe molecule in the present work.The aqueous huumnor of Diabetes and Cataract patient whose blood glucose level is normal are analyzed and the results dermonstrated that this sensor shows great potential in monitoring the blood siugar and can be adapted in the field of biological monitoring in the future. 展开更多
关键词 Saccharides sensor surface plasmon resonance symmetrical optical waveguide 3-Aminophenylboronic acid DOPAMINE
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用于光放大的掺铒Ga_(2)O_(3)波导研究
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作者 刘瑞雪 张政 +4 位作者 邬健 杨振 王威 魏腾秀 王荣平 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期130-137,共8页
利用射频磁控溅射法制备了掺铒Ga_(2)O_(3)薄膜,研究了不同氧化铒靶溅射功率和不同退火温度下薄膜的发光特性,发现在氧化铒靶溅射功率为40 W以及退火温度达到600℃时薄膜显示出良好的光致发光强度。为了有效避免直接蚀刻掺铒薄膜层导致... 利用射频磁控溅射法制备了掺铒Ga_(2)O_(3)薄膜,研究了不同氧化铒靶溅射功率和不同退火温度下薄膜的发光特性,发现在氧化铒靶溅射功率为40 W以及退火温度达到600℃时薄膜显示出良好的光致发光强度。为了有效避免直接蚀刻掺铒薄膜层导致的表面粗糙等问题,设计了沟道型以及脊型掺铒Ga_(2)O_(3)薄膜波导结构,并使用紫外光刻和等离子蚀刻技术制备相应的平面波导,使用截断法测得4μm宽的掺铒Ga_(2)O_(3)波导在1310 nm处的光学损耗最小为1.26 dB/cm。实验结果表明掺铒Ga_(2)O_(3)波导作为片上光学放大器件具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 光学特性 掺铒波导 射频磁控溅射 Ga_(2)O_(3) 干法刻蚀
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Er^(3+)-Yb^(3+)共掺磷酸盐玻璃平面波导 被引量:6
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作者 陈海燕 刘永智 +2 位作者 戴基智 官周国 甘小勇 《应用光学》 CAS CSCD 2003年第5期39-41,共3页
 研制一种新型的Er3+ Yb3+共掺磷酸盐激光玻璃材料,在其上用离子交换方法进行平面光波导制作研究。实验表明,该玻璃在AgNO3+KNO3+NaNO3混合熔盐中具有良好的化学稳定性,为平面光波导放大器的制作提供了实验依据。
关键词 Er^3+-Yb^3+共掺磷酸盐玻璃 平面波导 光波导 离子交换 平面光波导放大器
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镱铒共掺Al_2O_3薄膜光致发光特性优化 被引量:5
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作者 李建勇 王丽阁 +2 位作者 李成仁 刘中凡 宋昌烈 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1746-1751,共6页
用中频磁控溅射方法在SiO2/Si基底上制备了五组固定掺铒浓度不同镱铒浓度比率的镱铒共掺Al2O3薄膜样品.室温下测量了薄膜在1.430μm^1.630μm波段范围内光致发光光谱.研究发现,镱的掺入有效地提高了三价铒离子的光致发光强度,最优的镱... 用中频磁控溅射方法在SiO2/Si基底上制备了五组固定掺铒浓度不同镱铒浓度比率的镱铒共掺Al2O3薄膜样品.室温下测量了薄膜在1.430μm^1.630μm波段范围内光致发光光谱.研究发现,镱的掺入有效地提高了三价铒离子的光致发光强度,最优的镱铒掺杂为:掺铒0.33 mol%,Yb3+∶Er3+=10∶1,比相同掺铒浓度单掺铒样品光致发光峰值强度增强40倍;确定的掺铒浓度,有着固定的最佳镱铒浓度比率,主要是镱铒离子间的正向和反向能量传递相互作用的结果,但最佳镱铒浓度比率随着掺铒浓度的增加呈现下降趋势;单掺铒薄膜的光致发光峰值强度随掺铒浓度呈现近Gauss形状变化,而最佳镱铒共掺样品的光致发光峰值强度随掺铒浓度呈现了倒Gauss形状变化. 展开更多
关键词 光波导放大器 Yb^3+/Er^3+共掺Al2O3薄膜 中频磁控溅射 光致发光光谱
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不同激发条件下SiO_2∶Tb^(3+)溶胶-凝胶光波导薄膜玻璃的荧光特性 被引量:2
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作者 侯嫣嫣 林海 +1 位作者 杨殿来 马铁成 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第S2期38-41,共4页
采用溶胶-凝胶法,制备了Tb3+掺杂的二氧化硅光波导薄膜和玻璃,采用扫描电子显微镜(SEM)对光波导薄膜层进行了表征。SEM观察结果表明,经三层涂覆的薄膜厚度达到1.5μm,多层涂覆对薄膜厚度的调节作用明显,有利于满足模式传输的要求。测试... 采用溶胶-凝胶法,制备了Tb3+掺杂的二氧化硅光波导薄膜和玻璃,采用扫描电子显微镜(SEM)对光波导薄膜层进行了表征。SEM观察结果表明,经三层涂覆的薄膜厚度达到1.5μm,多层涂覆对薄膜厚度的调节作用明显,有利于满足模式传输的要求。测试并研究了溶胶-凝胶玻璃的激发和发射光谱。光谱分析表明,365 nm长波紫外光可有效激发SiO2基质,获得SiO2基质的宽谱带本征发射,同时观察到微弱的Tb3+特征发射峰;250 nm短波紫外光可高效激发Tb3+,获得Tb3+在SiO2基质中的特征发射峰。均匀透明并具有高效可见发光性质的稀土掺杂溶胶-凝胶SiO2薄膜和玻璃在光波导器件研制方面具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 Tb3+离子 溶胶-凝胶 光波导薄膜 荧光光谱 稀土
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1,3-二苯基-2-吡唑啉纳米带的制备及其光波导性质 被引量:1
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作者 陈伟 付红兵 姚建年 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期583-587,共5页
以1,3-二苯基-2-吡唑啉(DP)为目标化合物,利用再沉淀方法,以混合溶剂作为不良溶剂,制备了形貌均一、宽度约2μm、厚度200 nm和长度数十微米的一维纳米带状结构.选区电子衍射结果证实,DP分子在纳米带中因为强的分子间π-π相互作用而沿... 以1,3-二苯基-2-吡唑啉(DP)为目标化合物,利用再沉淀方法,以混合溶剂作为不良溶剂,制备了形貌均一、宽度约2μm、厚度200 nm和长度数十微米的一维纳米带状结构.选区电子衍射结果证实,DP分子在纳米带中因为强的分子间π-π相互作用而沿着晶体[100]方向优势生长.稳态光谱结果表明,DP纳米带具有不同于分子和体相材料的介观特性.由于J-聚体在DP纳米带中优势形成,其480 nm的发射峰与分子和体相材料相比分别红移了30和20 nm.利用扫描近场光学显微镜进一步发现,一维DP纳米带类似于天然的亚波长尺度谐振腔,紫外激发DP分子发射的荧光被限域在DP纳米带中,沿一维方向传导并在两端耦合输出. 展开更多
关键词 1 3-二苯基-2-吡唑啉 纳米带 J-聚体 光波导 纳米光子学
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CsPbBr_(3)光波导中激子局域场和复合速率的增强
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作者 刘春旭 张继森 +6 位作者 陈泳屹 宋悦 赵海峰 骆永石 张立功 张振中 王立军 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期195-200,共6页
将银膜和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)及高增益的钙钛矿CsPbBr_(3)集成一个平面光波导,通过对体系的物理机理和光学特性研究,探索等离子体结构新应用的可能。实验结果表明,随着体系结构的改变,特别是对PMMA厚度的调制,发现局域在银膜和钙钛矿... 将银膜和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)及高增益的钙钛矿CsPbBr_(3)集成一个平面光波导,通过对体系的物理机理和光学特性研究,探索等离子体结构新应用的可能。实验结果表明,随着体系结构的改变,特别是对PMMA厚度的调制,发现局域在银膜和钙钛矿CsPbBr_(3)界面电磁场增强,使得CsPbBr_(3)激子的发光和辐射速率(Γ=τ-1)增强。我们用双指数衰减和描述系综衰减的延展模型分别进行了讨论,发现二者有较大的差别。采用双指数衰减拟合求寿命没考虑系综的限域效应和银/CsPbBr_(3)界面上传播表面等离极化激元(SPPs)引起的局域场增强,所以在自由空间拟合得到的平均荧光寿命τavg在30~25 ns范围,与先前报道结果接近。而用系综衰减的延展模型得到τavg在12~9 ns范围,荧光寿命显著变小即辐射速率增强。上述研究对开发表面等离激元发光显示器件和光物理基础研究提供了依据。 展开更多
关键词 钙钛矿CsPbBr_(3) 表面等离子体 光波导 局域场增强
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Er^(3+)/Yb^(3+)掺杂的ZnO薄膜光波导的特性研究
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作者 宋红莲 王凤翔 +1 位作者 陈志华 孙舒宁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1164-1167,共4页
以Er3+/Yb3+掺杂的ZnO烧结陶瓷为靶材,利用射频磁控溅射技术在石英玻璃上制备了高度c轴取向的纳米Er3+/Yb3+掺杂的ZnO薄膜,利用X射线衍射、棱镜耦合、卢瑟福背散射等技术研究了所沉积薄膜的结构和光波导特性,结果表明:薄膜中均出现(002... 以Er3+/Yb3+掺杂的ZnO烧结陶瓷为靶材,利用射频磁控溅射技术在石英玻璃上制备了高度c轴取向的纳米Er3+/Yb3+掺杂的ZnO薄膜,利用X射线衍射、棱镜耦合、卢瑟福背散射等技术研究了所沉积薄膜的结构和光波导特性,结果表明:薄膜中均出现(002)衍射峰,且随着温度的增加,衍射峰半高宽减小,强度增大,(100)晶面逐渐消失。600℃时出现(004)晶面,薄膜的模有效折射率接近ZnO晶体的折射率。 展开更多
关键词 Er3+/Yb3+掺杂ZnO 磁控溅射 光波导 纳米
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