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磁控溅射参数和锂添加对LiPON薄膜离子电导率的影响
1
作者
王凯丰
吴隽
+2 位作者
张邵奇
宋坤峰
祝柏林
《武汉科技大学学报》
CAS
北大核心
2023年第6期424-429,共6页
锂磷氧氮化合物(LiPON)是一种广泛应用于全固态薄膜电池体系的固态电解质。本文采用射频磁控溅射工艺制备LiPON薄膜,研究了溅射工艺参数和烧结锂片添锂对LiPON薄膜离子电导率的影响。结果表明,在溅射功率为120 W时,随着N_(2)/Ar流量比由...
锂磷氧氮化合物(LiPON)是一种广泛应用于全固态薄膜电池体系的固态电解质。本文采用射频磁控溅射工艺制备LiPON薄膜,研究了溅射工艺参数和烧结锂片添锂对LiPON薄膜离子电导率的影响。结果表明,在溅射功率为120 W时,随着N_(2)/Ar流量比由3∶7升高至7∶3,薄膜离子电导率由1.31×10^(-6)S/cm增至2.24×10^(-6)S/cm;当N_(2)/Ar流量比为7∶3时,随着溅射功率由160 W降至120 W,薄膜离子电导率由2.09×10^(-6)S/cm增至2.24×10^(-6)S/cm。分析认为,高氮气比例和低溅射功率有助于双配位和三配位氮结构含量的提升,从而提高LiPON薄膜的离子电导率。此外,烧结锂片添锂法能有效实现靶材添锂,相同溅射参数下,所制薄膜的离子电导率提升了21.4%。
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关键词
射频磁控溅射
固态电解质
lipon薄膜
锂添加
离子电导率
下载PDF
职称材料
全固态薄膜锂电池0.3Ag-V2O5|LiPON|Li的制备及电化学性能
被引量:
6
2
作者
赵胜利
文九巴
+1 位作者
祝要民
秦启宗
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期91-94,共4页
采用紫外脉冲激光沉积(PLD)法制备了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜,结合真空热蒸镀法原位组装0.3Ag-V2O5|LiPON|Li薄膜电池。由扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜形貌与结构,利用恒电流充放电、循环伏安等技...
采用紫外脉冲激光沉积(PLD)法制备了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜,结合真空热蒸镀法原位组装0.3Ag-V2O5|LiPON|Li薄膜电池。由扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜形貌与结构,利用恒电流充放电、循环伏安等技术考察了薄膜电池的电化学性能。结果表明,采用PLD方法在O2气氛和N2气氛中分别获得了表面均匀、无针孔、无裂缝、具有非晶态结构的0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜。在电压1.0-4.0V,充放电速率2C时,以厚度100nm的0.3Ag-V2O5薄膜为阴极组装的液态电解质电池循环1000次后稳定容量仍为260mAh/g,表现出良好的循环性能。PLD沉积的Li-PON电解质薄膜具有很好的锂离子导电能力,室温离子电导率为1.6×10^-6S/cm,电子电导率〈10^-14S/cm。在电流密度7μA/cm^2,电压1.0-3.5V条件下全固态薄膜锂电池0.3Ag-V2O5│LiPON│Li的循环性能良好,100次循环后的体积比容量达40μAh/(μm.cm^2)。
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关键词
全固态
薄膜
锂电池
0.3Ag-V2O5
薄膜
lipon薄膜
PLD
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职称材料
含氮磷酸锂薄膜在空气中的稳定性
被引量:
9
3
作者
刘文元
李驰麟
傅正文
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2006年第11期1413-1418,共6页
利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.结果表明,LiPON薄膜在湿度为40%的空气环境中放置24 h后,将发生...
利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.结果表明,LiPON薄膜在湿度为40%的空气环境中放置24 h后,将发生明显的水解反应,使LiPON薄膜表面形貌变得疏松、局部突起;PH3和NH3的产生,使薄膜中磷元素和氮元素含量减少,而Li2CO3的生成,则使薄膜中碳元素和氧元素含量有明显的增加.LiPON电解质薄膜形貌和组成的变化,造成了薄膜电化学性能的严重恶化.
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关键词
lipon薄膜
薄膜
电解质
磁控溅射
全同态
薄膜
锂电池
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职称材料
题名
磁控溅射参数和锂添加对LiPON薄膜离子电导率的影响
1
作者
王凯丰
吴隽
张邵奇
宋坤峰
祝柏林
机构
武汉科技大学材料学部
出处
《武汉科技大学学报》
CAS
北大核心
2023年第6期424-429,共6页
基金
武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室资助项目(2018QNII)。
文摘
锂磷氧氮化合物(LiPON)是一种广泛应用于全固态薄膜电池体系的固态电解质。本文采用射频磁控溅射工艺制备LiPON薄膜,研究了溅射工艺参数和烧结锂片添锂对LiPON薄膜离子电导率的影响。结果表明,在溅射功率为120 W时,随着N_(2)/Ar流量比由3∶7升高至7∶3,薄膜离子电导率由1.31×10^(-6)S/cm增至2.24×10^(-6)S/cm;当N_(2)/Ar流量比为7∶3时,随着溅射功率由160 W降至120 W,薄膜离子电导率由2.09×10^(-6)S/cm增至2.24×10^(-6)S/cm。分析认为,高氮气比例和低溅射功率有助于双配位和三配位氮结构含量的提升,从而提高LiPON薄膜的离子电导率。此外,烧结锂片添锂法能有效实现靶材添锂,相同溅射参数下,所制薄膜的离子电导率提升了21.4%。
关键词
射频磁控溅射
固态电解质
lipon薄膜
锂添加
离子电导率
Keywords
RF magnetron sputtering
solid electrolyte
lipon
thin film
Li addition
ionic conductivity
分类号
TM912.9 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
全固态薄膜锂电池0.3Ag-V2O5|LiPON|Li的制备及电化学性能
被引量:
6
2
作者
赵胜利
文九巴
祝要民
秦启宗
机构
河南科技大学材料学院
复旦大学激光化学研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期91-94,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(20083001)
河南科技大学人才科研基金资助项目(04015)
河南科技大学青年科研基金资助项目(2004QN010)
文摘
采用紫外脉冲激光沉积(PLD)法制备了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜,结合真空热蒸镀法原位组装0.3Ag-V2O5|LiPON|Li薄膜电池。由扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜形貌与结构,利用恒电流充放电、循环伏安等技术考察了薄膜电池的电化学性能。结果表明,采用PLD方法在O2气氛和N2气氛中分别获得了表面均匀、无针孔、无裂缝、具有非晶态结构的0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜。在电压1.0-4.0V,充放电速率2C时,以厚度100nm的0.3Ag-V2O5薄膜为阴极组装的液态电解质电池循环1000次后稳定容量仍为260mAh/g,表现出良好的循环性能。PLD沉积的Li-PON电解质薄膜具有很好的锂离子导电能力,室温离子电导率为1.6×10^-6S/cm,电子电导率〈10^-14S/cm。在电流密度7μA/cm^2,电压1.0-3.5V条件下全固态薄膜锂电池0.3Ag-V2O5│LiPON│Li的循环性能良好,100次循环后的体积比容量达40μAh/(μm.cm^2)。
关键词
全固态
薄膜
锂电池
0.3Ag-V2O5
薄膜
lipon薄膜
PLD
Keywords
all solid state
thin film Li battery
0.3Ag-V2Os thin fiim
lipon
thin film
PLD
分类号
TM911 [电气工程—电力电子与电力传动]
下载PDF
职称材料
题名
含氮磷酸锂薄膜在空气中的稳定性
被引量:
9
3
作者
刘文元
李驰麟
傅正文
机构
复旦大学化学系激光化学研究所
出处
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2006年第11期1413-1418,共6页
基金
国家自然科学基金(20203006)资助项目
文摘
利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.结果表明,LiPON薄膜在湿度为40%的空气环境中放置24 h后,将发生明显的水解反应,使LiPON薄膜表面形貌变得疏松、局部突起;PH3和NH3的产生,使薄膜中磷元素和氮元素含量减少,而Li2CO3的生成,则使薄膜中碳元素和氧元素含量有明显的增加.LiPON电解质薄膜形貌和组成的变化,造成了薄膜电化学性能的严重恶化.
关键词
lipon薄膜
薄膜
电解质
磁控溅射
全同态
薄膜
锂电池
Keywords
lipon
thin films, Thin film electrolyte, Magnetron sputtering, All-solid-state thin film lithium battery
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁控溅射参数和锂添加对LiPON薄膜离子电导率的影响
王凯丰
吴隽
张邵奇
宋坤峰
祝柏林
《武汉科技大学学报》
CAS
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
2
全固态薄膜锂电池0.3Ag-V2O5|LiPON|Li的制备及电化学性能
赵胜利
文九巴
祝要民
秦启宗
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
6
下载PDF
职称材料
3
含氮磷酸锂薄膜在空气中的稳定性
刘文元
李驰麟
傅正文
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2006
9
下载PDF
职称材料
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