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Au-Si-Be液态金属离子源发展综述
被引量:
1
1
作者
康文运
应根裕
汪健如
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1998年第1期26-32,共7页
对Au-Si-Be液态金属离子源的发展进行了较详细的介绍,包括源的结构、发射特性,以及不同的合金配比、源工作温度、环境气体、系统真空度对源发射稳定性的影响。
关键词
液态金属
离子源
半导体
离子流
金-硅-铍
下载PDF
职称材料
内热式液态合金离子源
被引量:
1
2
作者
康文运
董桂芳
+1 位作者
应根裕
汪键如
《真空电子技术》
1997年第2期25-28,共4页
本文介绍了一种实用的液态合金离子源结构,我们利用本结构研制成功了Au-Si和Au-Si-Be液态合金离子源,测出了它们的发射特性。
关键词
液态合金离子源
真空系统
发射特性
下载PDF
职称材料
题名
Au-Si-Be液态金属离子源发展综述
被引量:
1
1
作者
康文运
应根裕
汪健如
机构
清华大学电子工程系
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1998年第1期26-32,共7页
文摘
对Au-Si-Be液态金属离子源的发展进行了较详细的介绍,包括源的结构、发射特性,以及不同的合金配比、源工作温度、环境气体、系统真空度对源发射稳定性的影响。
关键词
液态金属
离子源
半导体
离子流
金-硅-铍
Keywords
liquid
metal
ion
source
(LMIS),
emission characteristics
,
ion
s current
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
内热式液态合金离子源
被引量:
1
2
作者
康文运
董桂芳
应根裕
汪键如
机构
清华大学电子工程系
出处
《真空电子技术》
1997年第2期25-28,共4页
文摘
本文介绍了一种实用的液态合金离子源结构,我们利用本结构研制成功了Au-Si和Au-Si-Be液态合金离子源,测出了它们的发射特性。
关键词
液态合金离子源
真空系统
发射特性
Keywords
liquid alloy ion source
,
vacuum system
,
emission characteristics
分类号
TN101 [电子电信—物理电子学]
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1
Au-Si-Be液态金属离子源发展综述
康文运
应根裕
汪健如
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1998
1
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职称材料
2
内热式液态合金离子源
康文运
董桂芳
应根裕
汪键如
《真空电子技术》
1997
1
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