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题名ITO 膜发展现状及工艺技术分析
被引量:6
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作者
郑光文
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机构
深圳亨达莱真空技术工程有限公司
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出处
《真空与低温》
1998年第1期38-40,共3页
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文摘
重点阐述氧化铟锡(ITO)导电玻璃的发展状况,分析介绍了研制的自动连续镀膜生产线的各种工艺、技术、设备,并总结整套设备所达到的水平。
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关键词
液晶
ito导电玻璃
真空系统
薄膜制备
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Keywords
liquid crytal,ito conductive glass,vacuum system.
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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题名ITO镀膜设备气室门阀阀板的改进设计
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作者
刘月豹
汪奇
王成雷
王共志
张红
朱旺根
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机构
安徽方兴科技股份有限公司
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出处
《玻璃》
2012年第2期43-46,共4页
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文摘
通过对ITO镀膜设备气室门阀阀板的结构进行改进,解决了实际生产中真空室密封性能差、阀板使用寿命短、产品质量不稳定等一系列问题。改进要点是在主动、从动阀板上增加设计了冷却水循环水道。
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关键词
ito导电玻璃
真空室
阀板
气密性
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Keywords
ito conductive glass, vacuum chamber, valve plate, tighteness
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分类号
TQ171
[化学工程—玻璃工业]
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题名中空玻璃微球用于低温液体储罐绝热研究进展
被引量:3
- 3
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作者
王玉洋
陈叔平
史庆智
金树峰
谭风光
吴宗礼
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机构
兰州理工大学石油化工学院
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出处
《真空与低温》
2023年第3期282-293,共12页
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基金
国家自然科学基金(52163033)
甘肃省青年科技基金计划(21JR7RA269)。
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文摘
中空玻璃微球作为一种新型绝热材料,因其绝热性能好、不沉降、维护成本低等优点被认为可以替代珠光砂应用于低温液体储罐。从生产工艺、产品性能、导热机理、应用优势、工程实例、未来发展方向等方面,综述了这一新材料用于低温液体储罐绝热的研究进展,论述了规模化生产应用的可行性。
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关键词
低温液体
绝热材料
中空玻璃微球
表观导热系数
真空实现及维持
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Keywords
cryogenic liquids
thermal insulation materials
hollow glass microspheres
effective thermal conductivity
vacuum realization and maintenance
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分类号
TB657
[一般工业技术—制冷工程]
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