一种基于PLC的LoadPort系统设计

在Fab中,作为晶圆在不同制成环节的转换载体的承载器,晶圆装载端口(LoadPort)得到了非常广泛的应用。但是大部分高性能的产品仍然处于进口依赖的状态,LoadPort关键技术的自主研发显得尤为重要。本文设计了一种基于可编程逻辑控制器(PLC)的能够满足半导体生产线需求的产品,并介绍了其核心功能、硬件组成、软件架构等内容。

Loadport控制系统设计

在半导体生产过程中,晶圆需要经常在洁净与超洁净环境间转换,转换过程中为保证晶圆不受微粒子附着,需要使用Loadport(晶圆装载端口)做为环境转换的输入输出端口。目前在Fab厂中Loadport已得到非常广泛的应用,但其仍需依赖进口。拥有Loadport相关技术的国家仍对我国进行技术限制,所以Loadport关键技术的研发就显得尤为重要。本文设计并实现了一种Loadport控制系统可以满足实际半导体产线应用需求。