基于简正模式的MEMS超声分离器对分离腔的侧壁垂直度、深度均匀性以及表面平整度等要求较高,结合IC工艺重点探讨、研究了超声分离器腔体制作方法。提出将SOI(silicon on insulator)片作为刻蚀基底,采用等离子体干法刻蚀、硅/玻璃键合以...基于简正模式的MEMS超声分离器对分离腔的侧壁垂直度、深度均匀性以及表面平整度等要求较高,结合IC工艺重点探讨、研究了超声分离器腔体制作方法。提出将SOI(silicon on insulator)片作为刻蚀基底,采用等离子体干法刻蚀、硅/玻璃键合以及激光热加工等技术制备分离器,成功制备出腔体深度分别为137μm和200μm的分离器,腔体深度误差均在±2μm以内,腔体表面粗糙度Ra<10 nm,腔体侧壁垂直度达83°。为MEMS超声分离器的制备提供了一种简便、高效的工艺方法。展开更多
以黑豆、黑花生、黑芝麻、鲜牛乳、棕榈油、白砂糖等为原料进行冰淇淋浆料的配方设计,并通过离心喷雾干燥工艺制备黑冰淇淋粉。利用单因素、正交试验和响应面分析法对冰淇淋浆料的配方和喷雾干燥条件分别进行优化。结果表明,浆料最佳配...以黑豆、黑花生、黑芝麻、鲜牛乳、棕榈油、白砂糖等为原料进行冰淇淋浆料的配方设计,并通过离心喷雾干燥工艺制备黑冰淇淋粉。利用单因素、正交试验和响应面分析法对冰淇淋浆料的配方和喷雾干燥条件分别进行优化。结果表明,浆料最佳配方为:黑豆、黑花生、黑芝麻混合汁35%,鲜牛乳50%,白砂糖16%,棕榈油3%,复配乳化稳定剂0.6%。喷雾干燥的最佳条件为:进风温度210℃、进料流量160 m L/min、出风温度90℃。此时出粉率达52.91%。制成的黑冰淇淋粉呈浅褐色,流散性好,滋气味协调,是具有较高开发价值的新品冰淇淋粉。展开更多
文摘基于简正模式的MEMS超声分离器对分离腔的侧壁垂直度、深度均匀性以及表面平整度等要求较高,结合IC工艺重点探讨、研究了超声分离器腔体制作方法。提出将SOI(silicon on insulator)片作为刻蚀基底,采用等离子体干法刻蚀、硅/玻璃键合以及激光热加工等技术制备分离器,成功制备出腔体深度分别为137μm和200μm的分离器,腔体深度误差均在±2μm以内,腔体表面粗糙度Ra<10 nm,腔体侧壁垂直度达83°。为MEMS超声分离器的制备提供了一种简便、高效的工艺方法。
文摘以黑豆、黑花生、黑芝麻、鲜牛乳、棕榈油、白砂糖等为原料进行冰淇淋浆料的配方设计,并通过离心喷雾干燥工艺制备黑冰淇淋粉。利用单因素、正交试验和响应面分析法对冰淇淋浆料的配方和喷雾干燥条件分别进行优化。结果表明,浆料最佳配方为:黑豆、黑花生、黑芝麻混合汁35%,鲜牛乳50%,白砂糖16%,棕榈油3%,复配乳化稳定剂0.6%。喷雾干燥的最佳条件为:进风温度210℃、进料流量160 m L/min、出风温度90℃。此时出粉率达52.91%。制成的黑冰淇淋粉呈浅褐色,流散性好,滋气味协调,是具有较高开发价值的新品冰淇淋粉。