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Au/CdZnTe电极接触的热处理优化工艺(英文) 被引量:2
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作者 梁小燕 闵嘉华 +4 位作者 王长君 桑文斌 顾莹 赵岳 周晨莹 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期2085-2088,共4页
系统研究在空气气氛下热处理温度对真空蒸发法制备Au/CdZnTe电极接触特性的影响。结果表明,在353-373K温度范围内进行热处理可以获得更优化的电极接触性能,测试得到电极与CdznTe接触势垒较低,接触电阻较小,欧姆系数最佳,并且不会... 系统研究在空气气氛下热处理温度对真空蒸发法制备Au/CdZnTe电极接触特性的影响。结果表明,在353-373K温度范围内进行热处理可以获得更优化的电极接触性能,测试得到电极与CdznTe接触势垒较低,接触电阻较小,欧姆系数最佳,并且不会破坏CdZnTe体材料本身的性能。而当热处理温度高于400K时,Au电极沉积表面形貌明显变差,CdZnTe样品的漏电流大幅增加。这可能是由于随着热处理温度的增加,CdZnTe体材料表面的Cd升华加剧,产生大量的Cd空位引起的。 展开更多
关键词 CDZNTE m—s接触 热处理 真空蒸发 电学性能
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