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扫描隧道显微镜对InAs/GaAs自组织生长量子点的准原位研究
被引量:
2
1
作者
赵谦
封松林
王志明
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第2期158-160,共3页
本文报道了用MBE-SPM联合系统对InAs/GaAs量子点进行准原位研究的初步结果.STM图像表明,在对n+-GaAs衬底进行脱氧处理后,通过生长GaAs缓冲层能有效的改善表面质量.在缓冲层上继续生长2单原子层In...
本文报道了用MBE-SPM联合系统对InAs/GaAs量子点进行准原位研究的初步结果.STM图像表明,在对n+-GaAs衬底进行脱氧处理后,通过生长GaAs缓冲层能有效的改善表面质量.在缓冲层上继续生长2单原子层InAs后形成了量子点.SPM与透射电子显微镜给出的量子点形貌的异同在文中也给出了合理的解释,该研究工作的进一步深入将对自组织生长量子点的生长机理的理解和样品质量的提高有重要意义.
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关键词
mbe-spm
砷化镓
砷化铟
量子点
STM
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职称材料
题名
扫描隧道显微镜对InAs/GaAs自组织生长量子点的准原位研究
被引量:
2
1
作者
赵谦
封松林
王志明
机构
中国科学院半导体研究所
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第2期158-160,共3页
基金
国家自然科学基金
国家攀登计划
文摘
本文报道了用MBE-SPM联合系统对InAs/GaAs量子点进行准原位研究的初步结果.STM图像表明,在对n+-GaAs衬底进行脱氧处理后,通过生长GaAs缓冲层能有效的改善表面质量.在缓冲层上继续生长2单原子层InAs后形成了量子点.SPM与透射电子显微镜给出的量子点形貌的异同在文中也给出了合理的解释,该研究工作的进一步深入将对自组织生长量子点的生长机理的理解和样品质量的提高有重要意义.
关键词
mbe-spm
砷化镓
砷化铟
量子点
STM
Keywords
Scanning tunneling microscopy
Semiconductor quantum dots
分类号
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
扫描隧道显微镜对InAs/GaAs自组织生长量子点的准原位研究
赵谦
封松林
王志明
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
2
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