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An improved wall shear stress measurement technique using sandwiched hot-film sensors 被引量:3
1
作者 Xuanhe Liu Zhuoyue Li Nan Gao 《Theoretical & Applied Mechanics Letters》 CAS CSCD 2018年第2期137-141,共5页
In this letter we present a novel wall shear stress measurement technique for a turbulent boundary layer using sandwiched hot-film sensors. Under certain conditions, satisfactory results can be obtained using only the... In this letter we present a novel wall shear stress measurement technique for a turbulent boundary layer using sandwiched hot-film sensors. Under certain conditions, satisfactory results can be obtained using only the heat generated by one of the hot-film and a calibration of the sensors is not required. Two thin Nickel films with the same size were used in this study, separated by an electrical insulating layer. The upper film served as a sensor and the bottom one served as a guard heater. The two Nickel films were operated at a same temperature, so that the Joule heat flux generated by the sensor film transferred to the air with a minimum loss or gain depending on the uncertainties in the film temperature measurements. Analytical solution of the shear stress based on the aforementioned heat flux was obtained. The preliminary results were promising and the estimated wall shear stresses agreed reasonablywell with the directly measured values (with errors less than 20%) in a fully developed turbulent pipe flow. The proposed technique can be improved to further increase precisions. 展开更多
关键词 Wall shear stress Skin friction hot-film mems Calibration-free
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正弦余弦算法支持向量回归在MEMS剪应力传感器温度补偿中的应用 被引量:1
2
作者 张佳 陈永禄 +1 位作者 张莉 宫小清 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2023年第3期263-269,共7页
为解决电容式微机电系统(Micro-electromechanical system,MEMS)剪应力传感器输出信号随工作环境温度变化产生漂移的问题,提出了基于正弦余弦算法的支持向量回归(Sine cosine algorithm-support vector regression,SCA-SVR)温度补偿算... 为解决电容式微机电系统(Micro-electromechanical system,MEMS)剪应力传感器输出信号随工作环境温度变化产生漂移的问题,提出了基于正弦余弦算法的支持向量回归(Sine cosine algorithm-support vector regression,SCA-SVR)温度补偿算法。首先,利用SVR对传感器温漂进行补偿;其次,基于SCA对SVR的超参数进行优化;最后,将所提出的SCA-SVR温度补偿算法与广泛应用的粒子群支持向量回归(Partical swarm optimization-support vector regression,PSO-SVR)算法进行实物实验对比。结果表明,基于SCA-SVR的温度补偿算法能够有效地对电容式MEMS剪应力传感器的输出温漂进行补偿,SCA-SVR算法补偿后的传感器输出信号与整定值间的相关系数提高至0.9996,均方根误差降低至0.0099 mV,比PSO-SVR算法补偿后的结果降低了一个数量级。 展开更多
关键词 微机电系统 剪应力传感器 温度补偿 正弦余弦算法 支持向量回归
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Analytical Higher-Order Model for Flexible and Stretchable Sensors
3
作者 ZHANG Yongfang ZHU Hongbin +3 位作者 LIU Cheng LIU Xu LIU Fuxi L Yanjun 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期379-386,共8页
The stretchable sensor wrapped around a foldable airfoil or embedded inside of it has great potential for use in the monitoring of the structural status of the foldable airfoil.The design methodology is important to t... The stretchable sensor wrapped around a foldable airfoil or embedded inside of it has great potential for use in the monitoring of the structural status of the foldable airfoil.The design methodology is important to the development of the stretchable sensor for status monitoring on the foldable airfoil.According to the requirement of mechanical flexibility of the sensor,the combined use of a layered flexible structural formation and a strain isolation layer is implemented.An analytical higher-order model is proposed to predict the stresses of the strain-isolation layer based on the shear-lag model for the safe design of the flexible and stretchable sensors.The normal stress and shear stress equations in the constructed structure of the sensors are obtained by the proposed model.The stress distribution in the structure is investigated when bending load is applied to the structures.The numerical results show that the proposed model can predict the variation of normal stress and shear stress along the thickness of the strain-isolation(polydimethylsiloxane)layer accurately.The results by the proposed model are in good agreement with the finite element method,in which the normal stress is variable while the shear stress is invariable along the thickness direction of strain-isolation layer.The high-order model is proposed to predict the stresses of the layered structure of the flexible and stretchable sensor for monitoring the status of the foldable airfoil. 展开更多
关键词 flexible and stretchable sensors higher-order shear-lag model normal stress shear stress
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MEMS壁面剪应力传感器阵列水下标定实验研究 被引量:6
4
作者 田于逵 谢华 +3 位作者 黄欢 孙海浪 张楠 沈雪 《实验流体力学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期8-12,25,共6页
壁面剪应力的精确测量对于研究水下物体边界层流动、寻求有效的减阻增效措施至关重要。MEMS壁面剪应力传感器的标定首先是最基本的静态标定,其决定了其测量的精度和数据的可信度。本文在分析已有标定方法的基础上研发1种新型水下壁面剪... 壁面剪应力的精确测量对于研究水下物体边界层流动、寻求有效的减阻增效措施至关重要。MEMS壁面剪应力传感器的标定首先是最基本的静态标定,其决定了其测量的精度和数据的可信度。本文在分析已有标定方法的基础上研发1种新型水下壁面剪应力给定装置,并采用数值方法计算分析不同流速下的壁面剪应力给定条件,进而设计壁面剪应力传感器静态标定方案,开展了一种MEMS热膜式壁面剪应力传感器阵列的水下静态标定实验,获得了各传感单元的标定系数。 展开更多
关键词 壁面剪应力 mems 传感器阵列 水下 标定
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水下MEMS壁面剪应力传感器标定方案仿真分析与实验验证 被引量:4
5
作者 黄欢 孙海浪 +3 位作者 田于逵 张楠 谢华 沈雪 《实验流体力学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期79-83,102,共6页
壁面剪应力的精确测量对于研究水下物体边界层流动、寻求有效的减阻增效措施至关重要。MEMS壁面剪应力传感器的标定,首先是最基本的静态标定,决定了其测量的精度和数据的可信度。为辅助实现水下MEMS壁面剪应力传感器的精确标定,本文对... 壁面剪应力的精确测量对于研究水下物体边界层流动、寻求有效的减阻增效措施至关重要。MEMS壁面剪应力传感器的标定,首先是最基本的静态标定,决定了其测量的精度和数据的可信度。为辅助实现水下MEMS壁面剪应力传感器的精确标定,本文对采用槽道流法的精密标定装置流动条件进行数值仿真及激光多普勒测速仪测速实验,确定了标定试验段中流场从槽道入口处充分发展至稳定所需长度、压力分布情况及所能给定标定使用的壁面剪应力范围,进而设计标定方案;壁面剪应力的实验结果与数值计算和理论分析对比吻合较好,验证了标定方案的合理性,为下一步开展MEMS剪应力传感器阵列水下标定试验提供技术基础。 展开更多
关键词 壁面剪应力 mems 传感器 水下 标定 CFD
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MEMS应变传感器测量误差分析 被引量:3
6
作者 吴入军 张晓峰 +3 位作者 陈田 马雪芬 于忠海 郑百林 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第7期17-22,37,共7页
由于MEMS传感器基片与基体并不接触,基体应变并不能准确地传递到MEMS传感器基片上,造成MEMS应变传感器的测量应变与基体的真实应变有一定的误差。为进一步提高MEMS测量应变的精度,利用考虑剪滞效应的弹性理论研究MEMS传感器应变传递机理... 由于MEMS传感器基片与基体并不接触,基体应变并不能准确地传递到MEMS传感器基片上,造成MEMS应变传感器的测量应变与基体的真实应变有一定的误差。为进一步提高MEMS测量应变的精度,利用考虑剪滞效应的弹性理论研究MEMS传感器应变传递机理,建立力学模型,得出测量应变与基体真实应变之间的关系;最后分析了传感器基片、粘结层和基体对灵敏度系数的影响。结果表明:灵敏度系数随着传感器基底厚度和弹性模量的增大而逐渐减小;随着粘结层厚度的减小、弹性模量的增大而逐渐增大;随着基体刚度的增大而逐渐增大。通过对MEMS应变传感器应变传递机理的分析,对MEMS传感器的设计和使用提供一定的参考。 展开更多
关键词 mems应变传感器 应变传递 切应力
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MEMS壁面剪切应力传感器研究进展 被引量:4
7
作者 雷强 高杨 王雄 《中国测试》 CAS 北大核心 2016年第7期1-8,共8页
壁面剪切应力的时间特性是用于反映单个动量运输过程中非稳态结构的一个测量参数,也是湍流中相干位点的一个表征方法,是一个重要的壁面湍流的物理量。目前,主要基于近壁或壁面处的平均速度梯度和换热率与壁面切应力成正比的基础上对MEM... 壁面剪切应力的时间特性是用于反映单个动量运输过程中非稳态结构的一个测量参数,也是湍流中相干位点的一个表征方法,是一个重要的壁面湍流的物理量。目前,主要基于近壁或壁面处的平均速度梯度和换热率与壁面切应力成正比的基础上对MEMS壁面剪切应力开展研究。因此,对MEMS壁面剪切应力传感器进行综述。根据不同的测量方式,MEMS剪切应力传感器主要分为直接测量和间接测量两种类型。对每种测量方法的原理、研究现状、优点和限制进行分析。MEMS技术使得剪切应力传感器取得显著的进步,提高空间和时间分辨率,以及测量结果的准确度。但MEMS剪切应力传感器还需要进一步发展,并且量化测量中的不确定度,才能成为一种可靠的剪切应力测量技术。最后,对未来MEMS剪切应力传感器的发展方向进行总结。 展开更多
关键词 mems 传感器 剪切应力 湍流测量
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MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测 被引量:2
8
作者 孙海浪 田于逵 +2 位作者 金磊 张璇 谢华 《实验流体力学》 CSCD 北大核心 2017年第2期39-43,共5页
MEMS热膜式壁面剪应力传感器的输出信号是带有基础电压的微弱电压信号,无法通过放大器直接放大的方法实现高精度测量。文章提出在输出信号放大前增加信号平衡环节,在保留有效信号的前提下减小基础电压,再通过放大的方法实现其高精度测量... MEMS热膜式壁面剪应力传感器的输出信号是带有基础电压的微弱电压信号,无法通过放大器直接放大的方法实现高精度测量。文章提出在输出信号放大前增加信号平衡环节,在保留有效信号的前提下减小基础电压,再通过放大的方法实现其高精度测量,有效解决了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的难题。文章介绍了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的技术方案、关键技术、测试检验及试验应用实例。 展开更多
关键词 微机电系统 热膜 壁面剪应力 传感器 微弱信号检测
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Experimental Research on Boundary Shear Stress in Typical Meandering Channel 被引量:1
9
作者 CHEN Kai-hua XIA Yun-feng +2 位作者 ZHANG Shi-zhao WEN Yun-cheng XU Hua 《China Ocean Engineering》 SCIE EI CSCD 2018年第3期365-373,共9页
A novel instrument named Micro-Electro-Mechanical System(MEMS) flexible hot-film shear stress sensor was used to study the boundary shear stress distribution in the generalized natural meandering open channel, and the... A novel instrument named Micro-Electro-Mechanical System(MEMS) flexible hot-film shear stress sensor was used to study the boundary shear stress distribution in the generalized natural meandering open channel, and the mean sidewall shear stress distribution along the meandering channel, and the lateral boundary shear stress distribution in the typical cross-section of the meandering channel was analysed. Based on the measurement of the boundary shear stress, a semi-empirical semi-theoretical computing approach of the boundary shear stress was derived including the effects of the secondary flow, sidewall roughness factor, eddy viscosity and the additional Reynolds stress, and more importantly, for the first time, it combined the effects of the cross-section central angle and the Reynolds number into the expressions. Afterwards, a comparison between the previous research and this study was developed. Following the result, we found that the semi-empirical semi-theoretical boundary shear stress distribution algorithm can predict the boundary shear stress distribution precisely. Finally, a single factor analysis was conducted on the relationship between the average sidewall shear stress on the convex and concave bank and the flow rate, water depth, slope ratio,or the cross-section central angle of the open channel bend. The functional relationship with each of the above factors was established, and then the distance from the location of the extreme sidewall shear stress to the bottom of the open channel was deduced based on the statistical theory. 展开更多
关键词 boundary shear stress flume physical model river bend mems flexible hot-film shear stress sensor
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基于结构组件库的MEMS概念设计方法 被引量:1
10
作者 马炳和 王辉 苑伟政 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期46-50,共5页
提出了一种基于结构组件库的MEMS概念设计方法。给出了结构组件的表征形式,探讨了基于功能分解的结构组件模型获取方法,借以形成支持概念设计的结构组件模型库。阐明了MEMS概念设计时如何通过行为匹配自动检索出相关组件及其行为链组合... 提出了一种基于结构组件库的MEMS概念设计方法。给出了结构组件的表征形式,探讨了基于功能分解的结构组件模型获取方法,借以形成支持概念设计的结构组件模型库。阐明了MEMS概念设计时如何通过行为匹配自动检索出相关组件及其行为链组合、通过对行为链组合进行功能结构细化获得备选的器件方案。结合航空及空气动力学领域急需的MEMS微型剪应力传感器实例对该概念设计方法进行了阐述。研究表明,该方法对于提高MEMS概念设计效率及方案创新能力、促进MEMS概念设计工具化有积极作用。 展开更多
关键词 mems概念设计 结构组件 功能分解 行为匹配 剪应力传感器
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MEMS壁剪应力传感器热效应的数值模拟 被引量:1
11
作者 许正 李万平 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第12期32-34,38,共4页
借助计算流体动力学(CFD)商业软件FLUENT,采用数值模拟的方法,对基于MEMS的壁剪应力传感器热交换效应进行了分析。计算结果表明:在壁剪应力传感器的热膜下方加入真空腔或者空气腔是十分必要的。针对水流中测量的计算结果显示,真空腔和... 借助计算流体动力学(CFD)商业软件FLUENT,采用数值模拟的方法,对基于MEMS的壁剪应力传感器热交换效应进行了分析。计算结果表明:在壁剪应力传感器的热膜下方加入真空腔或者空气腔是十分必要的。针对水流中测量的计算结果显示,真空腔和空气腔在整个计算区域的温度场分布以及对流体的传热效率的差别不大,而空腔可以明显地减小底层的热损失,这对提高剪应力传感器的灵敏度是十分有利的。此外,MEMS壁剪应力传感器的尺寸效应对传热效率也存在影响。 展开更多
关键词 微机电系统 壁剪应力 传感器 热效应 数值模拟
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应用于流动控制的MEMS传感器和执行器 被引量:2
12
作者 欧毅 白宏磊 +8 位作者 石莎莉 焦斌斌 李超波 黄钦文 董立军 景玉鹏 陈大鹏 叶甜春 申功 《电子工业专用设备》 2006年第1期25-27,62,共4页
出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技... 出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器。实验证明,采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的,同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 剪切应力传感器 射流执行器 流体
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高温MEMS剪应力传感器残余应力分析
13
作者 纪科星 宋宏伟 范学军 《力学与实践》 CSCD 北大核心 2010年第1期60-63,共4页
采用理论分析与数值模拟相结合的方法,研究了残余应力对静电反馈式MEMS高温剪应力传感器的结构设计的影响.研究表明:在电极宽度和间距不变的情况下,增加电极数和减小电极长度可有效地减小由静电力引起的应力和变形;残余应力对结构应力... 采用理论分析与数值模拟相结合的方法,研究了残余应力对静电反馈式MEMS高温剪应力传感器的结构设计的影响.研究表明:在电极宽度和间距不变的情况下,增加电极数和减小电极长度可有效地减小由静电力引起的应力和变形;残余应力对结构应力和变形的影响远大于静电力. 展开更多
关键词 mems 剪应力传感器 残余应力 有限元
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MEMS技术在流体控制中的应用
14
作者 易亮 欧毅 +1 位作者 陈大鹏 叶甜春 《电子工业专用设备》 2007年第1期21-30,共10页
微机电系统(MEMS:Micro Electro-Mechanical System)技术或微传感器与微执行器(MicromachinedTranducers)技术,它是在微电子技术的基础上发展起来的,融合了硅微加工和精密机械加工等多种微加工技术,并利用IC技术把控制和信号处理电路与... 微机电系统(MEMS:Micro Electro-Mechanical System)技术或微传感器与微执行器(MicromachinedTranducers)技术,它是在微电子技术的基础上发展起来的,融合了硅微加工和精密机械加工等多种微加工技术,并利用IC技术把控制和信号处理电路与机械部件集成的微型系统。这种技术所涉及的器件的特征尺寸一般小于1mm而大于1μm,它为流体控制研究开辟了一个崭新的领域。简述了流体控制技术的基本原理以及应用MEMS技术实现流体控制的机理和途径,分别介绍了国外研究机构近年来在微传感、微执行技术的研究工作。 展开更多
关键词 流体控制 微剪切应力传感器 微执行器 mems
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微型柔性剪切应力传感器的制作研究 被引量:6
15
作者 陈四海 汪殿民 +2 位作者 朱福龙 徐涌 易新建 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第8期80-82,85,共4页
利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,... 利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断。 展开更多
关键词 微机电系统 剪切应力传感器 硅岛阵列 柔性结构
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基于微型剪应力传感器阵列的边界层分离点测定方法研究 被引量:4
16
作者 刘奎 苑伟政 +2 位作者 邓进军 马炳和 姜澄宇 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期142-146,共5页
结合边界层分离点附近的剪应力变化规律,提出了针对在飞行器外表面贴附微型传感器的分离点检测方法,并给出了相应微型剪应力传感器阵列的设计方案。研究了2种针对一维剪应力传感器阵列输出电压信号的处理方法,即均值差极大值方法和均方... 结合边界层分离点附近的剪应力变化规律,提出了针对在飞行器外表面贴附微型传感器的分离点检测方法,并给出了相应微型剪应力传感器阵列的设计方案。研究了2种针对一维剪应力传感器阵列输出电压信号的处理方法,即均值差极大值方法和均方根差分极大值方法,并结合实验数据对上述2种判别算法进行了仿真计算和抗干扰性分析,结果验证了其有效性和准确性。 展开更多
关键词 分离点 剪应力 传感器阵列 微机电系统 信号处理
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柔性热膜剪应力传感器水下测量温度修正 被引量:5
17
作者 马炳和 王毅 +2 位作者 姜澄宇 李雁冰 王雷涛 《实验流体力学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期39-44,共6页
柔性热膜微传感器应用于流体壁面剪应力测量时,流体温度对传感器输出有很大影响,因此有必要对工作在非标定温度下的传感器输出信号进行修正补偿。重点研究了水下测量时传感器输出与水温的关系以及温度修正方法。通过分析传感器过热比和... 柔性热膜微传感器应用于流体壁面剪应力测量时,流体温度对传感器输出有很大影响,因此有必要对工作在非标定温度下的传感器输出信号进行修正补偿。重点研究了水下测量时传感器输出与水温的关系以及温度修正方法。通过分析传感器过热比和流体物理性质与温度的相关性,建立了流体温度与传感器过热比和标定系数的函数关系。在此基础上,提出了一种用于水下剪应力测量的温度修正方法,可以有效减小水温对传感器输出的影响。经实验验证,该方法可以使工作在25℃、28℃水温环境下的传感器输出值与其20℃标定值的相对误差从23.7%和37.1%回落到0.82%和0.83%。 展开更多
关键词 剪应力 柔性 热膜传感器 水下测量 温度修正
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微型热式剪应力传感器的热特性建模 被引量:2
18
作者 王竹萍 仲顺安 +1 位作者 聂丹丹 刘汝卿 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1112-1116,共5页
为了提高微机电系统(MEMS)微型热式剪应力传感器的灵敏度,分析了MEMS微型热式剪应力传感器的热平衡机理,建立其相应的数学物理模型.从理论上分析了传感器的热膜、绝缘层及硅基底上的空腔尺寸等结构参数对其灵敏度的影响,并将研究结果与... 为了提高微机电系统(MEMS)微型热式剪应力传感器的灵敏度,分析了MEMS微型热式剪应力传感器的热平衡机理,建立其相应的数学物理模型.从理论上分析了传感器的热膜、绝缘层及硅基底上的空腔尺寸等结构参数对其灵敏度的影响,并将研究结果与基于Fluent软件的数值模拟结果进行对比.结果表明,所建立的数学模型是合理的. 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 微型热式剪应力传感器 数学建模 灵敏度
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微型剪应力传感器的热特性分析 被引量:2
19
作者 丁英涛 逯海波 +1 位作者 仲顺安 谢君堂 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期427-430,共4页
研究不同结构、不同热敏元件温度和不同工作介质等情况下剪应力传感器的性能差异.通过实验和数值模拟相结合的方法对剪应力传感器进行了热特性分析.数值模拟结果发现:采用热敏元件下部埋置真空空腔的结构,隔热效果最佳;选择相对较高的... 研究不同结构、不同热敏元件温度和不同工作介质等情况下剪应力传感器的性能差异.通过实验和数值模拟相结合的方法对剪应力传感器进行了热特性分析.数值模拟结果发现:采用热敏元件下部埋置真空空腔的结构,隔热效果最佳;选择相对较高的热敏元件温度和较高热物性系数的工作气体有助于获得较高的灵敏度.该结果对优化设计微型剪应力传感器具有通用的指导意义. 展开更多
关键词 微电子机械系统 剪应力传感器 灵敏度 热敏元件
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微管道内剪应力传感器的研制与优化 被引量:3
20
作者 丁英涛 仲顺安 谢君堂 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期251-254,共4页
基于微机电系统(MEMS)微加工工艺,开发了一种能够测量微管道内壁面剪应力的热式传感器,以多晶硅为热敏元件,在低阻硅衬底上形成多孔硅膜隔离硅衬底损耗.利用水浴加热方法测量得到电阻温度系数为0.21%/℃.采用数值模拟的方法对剪应力传... 基于微机电系统(MEMS)微加工工艺,开发了一种能够测量微管道内壁面剪应力的热式传感器,以多晶硅为热敏元件,在低阻硅衬底上形成多孔硅膜隔离硅衬底损耗.利用水浴加热方法测量得到电阻温度系数为0.21%/℃.采用数值模拟的方法对剪应力传感器进行了热分析,探讨了提高剪应力传感器灵敏度和线性度的方法,为优化其设计和使用提供了理论基础.数值模拟结果表明:随着微管道深度的增加,传感器灵敏度提高,但线性度下降. 展开更多
关键词 微电子机械系统 剪应力传感器 多晶硅 多孔硅
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