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Endoscopic Optical Doppler Tomography Based on Two-Axis Scanning MEMS Mirror
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作者 王东琳 郝蕴琦 +4 位作者 翟凤潇 杨坤 刘洪琼 陈巧 谢会开 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2018年第12期5-9,共5页
We study the feasibility of endoscopic optical Doppler tomography with a micro-electro-mechanical system(MEMS) mirror based probe. The additional phase shifts introduced by the probe are tracked and formulated.The sup... We study the feasibility of endoscopic optical Doppler tomography with a micro-electro-mechanical system(MEMS) mirror based probe. The additional phase shifts introduced by the probe are tracked and formulated.The suppression method of the probe phase shifts is proposed and validated by fluid flow detection experiments.In vivo blood flow detection is also implemented on a hairless mouse. The velocities of the blood flow in two directions are obtained to be-8.1 mm/s and 6.6 mm/s, respectively. 展开更多
关键词 Endoscopic Optical Doppler Tomography Based on Two-Axis scanning mems Mirror
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A Compact MEMS-Based Optical Scanning System with Large Field of View for Lidars
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作者 Yongjie Wang Ligong Chen 《Optics and Photonics Journal》 2021年第8期265-272,共8页
<div style="text-align:justify;"> In this work, a design of a compact optical MEMS-based lidar scanning system with a large field of view (FOV) and small distortion is presented. The scanning system ap... <div style="text-align:justify;"> In this work, a design of a compact optical MEMS-based lidar scanning system with a large field of view (FOV) and small distortion is presented. The scanning system applies an off-axis structure and the length of the system can be reduced to about 10 cm in an optimized way. Simulation results show that a large FOV is achieved under a uniform scanning scheme. In addition, the spot size less than 20 cm at distance of 100 m is also realized. The optical scanning system can be used for the vehicle-mounted Lidar. </div> 展开更多
关键词 mems Mirror Lidar scanning System Beam Steering Optical Design
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基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的扫描测量平台 被引量:9
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作者 李源 孙薇斌 +3 位作者 邵力 傅星 栗大超 胡小唐 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期580-585,共6页
将自主开发的基于MEMS工艺的微触觉测头与纳米坐标测量平台相结合,构建高性能的扫描测量平台,提高了微结构和器件扫描测量的精度和分辨力。基于微触觉测头的测量原理,研究了微触觉测头应用于纳米坐标测量平台的反馈控制方法以及控制转... 将自主开发的基于MEMS工艺的微触觉测头与纳米坐标测量平台相结合,构建高性能的扫描测量平台,提高了微结构和器件扫描测量的精度和分辨力。基于微触觉测头的测量原理,研究了微触觉测头应用于纳米坐标测量平台的反馈控制方法以及控制转换参数的标定方法,讨论了扫描平台不同扫描方式对测量的影响。实验进行了相对平整表面和非平整表面形貌的扫描测量,结果表明,相对平整和非平整表面进程回程重复扫描差值的标准偏差分别为15.519 nm和23.088 nm,系统具有较高的测量重复性。 展开更多
关键词 微机电系统 微触觉测头 纳米测量机 扫描测量平台
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基于MEMS微镜的长波近红外光谱仪的设计与实现 被引量:3
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作者 叶坤涛 董太源 +5 位作者 贺文熙 李玉晓 程显明 李广勇 李昊宇 徐晓轩 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2858-2862,共5页
为适应光谱仪微型化、集成化的发展趋势,详细分析了MEMS微镜应用于微型长波近红外光谱仪的方法和涉及的主要问题,例如分光系统的设计、MEMS微镜的选择、探测器与前置放大电路的设计等。并将50Hz谐振频率、峰峰驱动电压为10V的MEMS微镜... 为适应光谱仪微型化、集成化的发展趋势,详细分析了MEMS微镜应用于微型长波近红外光谱仪的方法和涉及的主要问题,例如分光系统的设计、MEMS微镜的选择、探测器与前置放大电路的设计等。并将50Hz谐振频率、峰峰驱动电压为10V的MEMS微镜、高灵敏度的InGaAs单元探测器,结合立特罗式分光光路,设计和实现了900~2 055nm波段的微型长波近红外光谱仪样机,其中1 000~1 965nm谱段的光谱分辨率介于9.4~16nm之间。采用MEMS扫描微镜技术后,一方面简化了光谱仪中的复杂机械结构,使尺寸可以更小;另一方面实现了单探测器的长波近红外光谱仪,与阵列长波近红外探测器光谱仪相比,成本有所降低。作为应用实例,此样机成功对纯水以及乙醇-水溶液的长波近红外光谱进行了测量,实现了乙醇-水溶液的浓度预测分析,其中本样机测量的纯水长波近红外光谱与文献相符。 展开更多
关键词 mems 微镜 光谱仪 近红外 INGAAS
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MEMS二维静电驱动扫描镜设计和分析 被引量:6
5
作者 马文英 姚军 +1 位作者 任豪 王大甲 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第5期296-300,共5页
给出了一种静电驱动二维微扫描镜的设计和制造方案,所设计的扫描镜具有绕X轴和Y轴转动的两个自由度,并具有体积小、功耗低、频率高等优点。推导了镜面旋转角表达式并分析了吸合效应。利用POL YMUMPS工艺完成了对扫描镜的加工,并着重分... 给出了一种静电驱动二维微扫描镜的设计和制造方案,所设计的扫描镜具有绕X轴和Y轴转动的两个自由度,并具有体积小、功耗低、频率高等优点。推导了镜面旋转角表达式并分析了吸合效应。利用POL YMUMPS工艺完成了对扫描镜的加工,并着重分析了关键工艺步骤。结合有限元分析软件,对微扫描镜的频率特性以及静态旋转特性进行了分析和研究。分析结果表明,在120V和160V的电压下,扫描镜可分别产生沿X轴方向的±5.0°和沿Y轴方向±4.4°的偏转角。优化后的扫描镜能够工作在单频率状态下,具有较高的响应速度。 展开更多
关键词 mems 二维扫描镜 模态 动态响应 偏转角
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MEMS扫描镜温度可靠性测试 被引量:3
6
作者 乔大勇 史龙飞 +1 位作者 曹兰玉 练彬 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第12期146-148,共3页
温度是MEMS扫描镜的一个重要失效因素。研究温度对MEMS扫描镜振幅的影响,再通过温度冲击试验和高低温存储试验测试温度对MEMS扫描镜可靠性的影响,分析扫描镜在试验中是否失效和失效的原因。试验结果表明:高温对MEMS扫描镜外框架和镜面... 温度是MEMS扫描镜的一个重要失效因素。研究温度对MEMS扫描镜振幅的影响,再通过温度冲击试验和高低温存储试验测试温度对MEMS扫描镜可靠性的影响,分析扫描镜在试验中是否失效和失效的原因。试验结果表明:高温对MEMS扫描镜外框架和镜面振幅无影响,低温对MEMS扫描镜外框架振幅影响较大,增幅达12.3%,对镜面振幅无影响;低温存储由于水汽凝结会导致MEMS扫描镜失效,高温存储对MEMS扫描镜可靠性无影响。 展开更多
关键词 mems扫描镜 可靠性 高低温存储 温度冲击
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基于白光干涉的MEMS三维表面形貌测量 被引量:13
7
作者 常素萍 谢铁邦 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期8-11,共4页
利用白光干涉垂直扫描原理,设计了测量微机电系统(MEMS)表面形貌特征的垂直扫描白光干涉系统.该系统由垂直扫描位移工作台驱动被测件,通过检测被测件表面的干涉条纹变化得到表面形貌.垂直扫描位移工作台利用压电陶瓷驱动柔性铰链结构进... 利用白光干涉垂直扫描原理,设计了测量微机电系统(MEMS)表面形貌特征的垂直扫描白光干涉系统.该系统由垂直扫描位移工作台驱动被测件,通过检测被测件表面的干涉条纹变化得到表面形貌.垂直扫描位移工作台利用压电陶瓷驱动柔性铰链结构进行纳米驱动,光栅传感器监控整个垂直扫描过程,对压电陶瓷的非线性误差进行实时补偿.垂直扫描位移工作台的性能分析表明:分辨率达到1 nm,定位精度小于10 nm.同时采用图像分析技术对光学仪器测量台阶出现的噪声进行了消噪处理,试验结果表明垂直扫描白光干涉系统能够实现MEMS三维表面形貌的高精度测量. 展开更多
关键词 微机电系统 白光干涉技术 衍射光栅 垂直扫描
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高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究 被引量:4
8
作者 穆参军 赵本刚 吴亚明 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期640-643,共4页
扭转镜面的动态形变是影响显示成像用MEMS扫描微镜光学分辨率的主导因素,研究了高速转动的MEMS扫描微镜的动态形变特性,得到了相关有用的结论。结果表明当MEMS扫描微镜镜面几何尺寸一定时,如果要获得系统衍射极限光学分辨率,需要对转动... 扭转镜面的动态形变是影响显示成像用MEMS扫描微镜光学分辨率的主导因素,研究了高速转动的MEMS扫描微镜的动态形变特性,得到了相关有用的结论。结果表明当MEMS扫描微镜镜面几何尺寸一定时,如果要获得系统衍射极限光学分辨率,需要对转动频率,扭转角度和镜面厚度进行优化设计和选择,简单通过增加镜面厚度保证光学分辨率的方法不利于MEMS扫描微镜综合性能的改善和提高。 展开更多
关键词 mems扫描微镜 高速转动 动态形变 光学分辨率
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射频MEMS技术在雷达中的应用现状与优势 被引量:3
9
作者 张蕾 沙舟 林晶 《中国电子科学研究院学报》 2012年第6期565-570,共6页
射频MEMS技术为实现微型化、集成化及智能化,以及探索具有新原理和新功能的器件与系统提供了重要途径。概述了射频MEMS的主要优势和在雷达领域的主要应用方向,在此基础上重点介绍了国外基于射频MEMS技术的T/R组件设计、X波段相控阵天线... 射频MEMS技术为实现微型化、集成化及智能化,以及探索具有新原理和新功能的器件与系统提供了重要途径。概述了射频MEMS的主要优势和在雷达领域的主要应用方向,在此基础上重点介绍了国外基于射频MEMS技术的T/R组件设计、X波段相控阵天线演示验证系统及针对Ka波段低成本无源相控阵的探索情况,并给出了新一代MEMS高集成度电子扫描阵列研究项目的最新进展。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RF mems) 电子扫描阵列(ESA)雷达 基于mems的射频前端 mems实时延迟线
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SEM扫描云纹法相移技术在MEMS中的应用 被引量:1
10
作者 戴福隆 尚海霞 谢惠民 《实验力学》 CSCD 北大核心 2002年第3期254-259,共6页
本文提出一种扫描电镜 ( SEM)扫描云纹法的相移新技术 ,通过 SEM系统控制电镜电子束扫描线移动 ,对获取的云纹图像实现 0~ 2π范围内的四步相移 ,从而获得了更高的位移测量灵敏度 .同时对 SEM相移实验技术的原理进行了详细的阐述 .并... 本文提出一种扫描电镜 ( SEM)扫描云纹法的相移新技术 ,通过 SEM系统控制电镜电子束扫描线移动 ,对获取的云纹图像实现 0~ 2π范围内的四步相移 ,从而获得了更高的位移测量灵敏度 .同时对 SEM相移实验技术的原理进行了详细的阐述 .并将该技术应用到微电子机械系统构件的虚应变分析中 .实验结果证明了该方法的可行性 。 展开更多
关键词 SEM扫描云纹法 相移技术 mems 云纹图像 四步相移 虚应变 微电子机械系统
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MEMS扫描镜光学性能的圆片级自动检测系统设计
11
作者 乔大勇 王利湘 +1 位作者 夏长锋 苏小操 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第9期78-81,共4页
为快速准确地检测出一张硅片上数百个MEMS扫描镜的良品与次品,设计了一种自动测量系统。选用高精度二维位置敏感探测器(PSD)设备,设计其后置硬件电路并编写数据采集的程序。结合经典三角法测量角度的原理搭建自动检测系统,在室温和正常... 为快速准确地检测出一张硅片上数百个MEMS扫描镜的良品与次品,设计了一种自动测量系统。选用高精度二维位置敏感探测器(PSD)设备,设计其后置硬件电路并编写数据采集的程序。结合经典三角法测量角度的原理搭建自动检测系统,在室温和正常光照条件下,完成了MEMS扫描镜光学性能圆片级自动检测的实验。结果表明:该系统能够快速准确地同时对扫描镜的两个轴进行检测并给出结果。 展开更多
关键词 mems扫描镜 自动检测 三角法 位置敏感探测器
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MEMS摆镜在小型化激光成像雷达中的应用 被引量:1
12
作者 张驰 岳娟 +1 位作者 徐正平 葛军 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2017年第9期1149-1153,共5页
研究了MEMS摆镜在未来小型化激光成像雷达的系统中的应用。首先介绍了MEMS摆镜自身的器件特性,结合脉冲成像激光雷达的应用背景,分析了系统设计时要注意的问题。进一步设计了MEMS摆镜的驱动模块,通过仿真和成像验证了李萨如扫描图形的... 研究了MEMS摆镜在未来小型化激光成像雷达的系统中的应用。首先介绍了MEMS摆镜自身的器件特性,结合脉冲成像激光雷达的应用背景,分析了系统设计时要注意的问题。进一步设计了MEMS摆镜的驱动模块,通过仿真和成像验证了李萨如扫描图形的应用。 展开更多
关键词 mems摆镜 激光成像雷达 光学镀膜 李萨如扫描
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MEMS捷联惯导减振系统设计方法研究 被引量:1
13
作者 段振雨 储海荣 +1 位作者 贾宏光 王玉婷 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期797-803,共7页
为设计出具有良好减振效果的MEMS捷联惯导减振系统,提出一种根据传递函数性质及性能指标要求设计减振系统的方法。首先,根据实际应用环境,完成了对MEMS捷联惯导支架及减振器布置的设计,实现了减振系统解耦设计。接着,进行单方向正弦扫... 为设计出具有良好减振效果的MEMS捷联惯导减振系统,提出一种根据传递函数性质及性能指标要求设计减振系统的方法。首先,根据实际应用环境,完成了对MEMS捷联惯导支架及减振器布置的设计,实现了减振系统解耦设计。接着,进行单方向正弦扫频振动,得到某惯导各惯性器件输出的幅频特性曲线;分析各幅频特性曲线,得到了惯导中各MEMS器件减振目标。最后,拟合了对数坐标下共向加速度计输出的幅频特性曲线,并根据拟合得到的曲线及性能指标要求,完成了减振系统设计。Matlab仿真分析得,减振后惯导输出很好满足了性能指标要求,减小了MEMS陀螺仪输出误差,取得了良好减振效果。仿真结果表明,针对MEMS捷联惯导减振,该方法能在满足性能指标要求的前提下,快速设计出具有良好减振效果的减振系统。 展开更多
关键词 mems捷联惯导 减振 扫频振动实验 幅频特性曲线
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压电驱动MEMS光学扫描镜的研制
14
作者 王敏锐 李文翔 徐征 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第5期469-473,共5页
为实现高速大角度光学扫描,研制了一种新型压电陶瓷驱动MEMS光学扫描镜.将两块压电陶瓷分别放置在扫描镜背面两侧作为驱动,通过简单的扭转梁结构把两块压电陶瓷沿相反方向上下振动转换成镜片的扭转振动.采用MEMS体硅工艺及微装配技术,... 为实现高速大角度光学扫描,研制了一种新型压电陶瓷驱动MEMS光学扫描镜.将两块压电陶瓷分别放置在扫描镜背面两侧作为驱动,通过简单的扭转梁结构把两块压电陶瓷沿相反方向上下振动转换成镜片的扭转振动.采用MEMS体硅工艺及微装配技术,制备出器件样品.经测试,大气压下,研制出的扫描镜扫描谐振频率可达21.9 kHz,施加200 V交流电,谐振态的光学扫描角度为21.8°.测试数据表明该器件适用于激光打印、条形码扫描及微型激光投影显示等领域. 展开更多
关键词 mems 光学扫描 微镜 体硅工艺 压电陶瓷 微装配
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静电MEMS微镜谐振扭转角轨迹正弦估计的偏差研究
15
作者 李晋刚 何叶 +3 位作者 袁仕俊 乔大勇 于得水 李智源 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期338-343,共6页
静电MEMS微镜扭转角实时获取通常是通过测量出微镜的谐振幅值和相位,按照正弦关系去估计任意时刻的扭转角数值,但关于这种正弦轨迹的假设存在多大的偏差的相关报道很少。使用显微激光多普勒方法,对C1100型MEMS微镜在不同驱动频率和驱动... 静电MEMS微镜扭转角实时获取通常是通过测量出微镜的谐振幅值和相位,按照正弦关系去估计任意时刻的扭转角数值,但关于这种正弦轨迹的假设存在多大的偏差的相关报道很少。使用显微激光多普勒方法,对C1100型MEMS微镜在不同驱动频率和驱动电压下的真实谐振扭转角轨迹进行了测量,并对比了真实轨迹和用正弦曲线拟合轨迹的偏差。结果证明,方波驱动下的MEMS微镜,其真实轨迹和正弦拟合轨迹并不完全符合,存在随扭转角振幅增大而增大的偏差。通过对真实轨迹时域信号进行快速傅里叶变换和频域分析,可以证明偏差存在的主要原因是实测轨迹除了有频率为驱动方波频率1/2倍的正弦信号以外,还叠加了频率为驱动方波频率1倍和3/2倍等高频正弦信号。研究结果表明,按照正弦曲线来估计光学角的方法仅适用于光学扫描角精度要求低于0.1°的场景。 展开更多
关键词 mems微镜 激光多普勒 扭转轨迹
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基于MEMS微镜的混合式扫描同步设计
16
作者 周珏 吴东岷 《电子技术应用》 2021年第7期92-96,共5页
为了解决MEMS微镜扫描角度较小的缺点,设计了一种MEMS微镜与无刷电机同步扫描系统。该系统由STM32微控制器、DDS驱动电路、相位检测电路组成。通过设计光栅码盘实现对无刷电机速度的测量,由PID算法控制电机转速使电机反馈信号与MEMS微... 为了解决MEMS微镜扫描角度较小的缺点,设计了一种MEMS微镜与无刷电机同步扫描系统。该系统由STM32微控制器、DDS驱动电路、相位检测电路组成。通过设计光栅码盘实现对无刷电机速度的测量,由PID算法控制电机转速使电机反馈信号与MEMS微镜反馈信号频率相同,并检测两路反馈信号的相位差,调节DDS驱动信号的相位实现相位同步。实验表明,系统工作稳定,相位误差不超过1.5%。 展开更多
关键词 mems STM32微控制器 DDS 激光扫描 相位同步
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用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜 被引量:1
17
作者 杜林云 许高斌 +3 位作者 花翔 陈兴 马渊明 于永强 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2021年第5期8-15,共8页
提出了一种新型双层梳齿驱动的大尺寸、大偏转角度、低驱动电压微机电系统(MEMS)扫描镜的设计方法。该扫描镜设计嵌套式内外双层垂直梳齿结构,梳齿间采用静电排斥力驱动,改进后的S型扭转梁有效地降低敏感轴刚度。基于垂直梳齿驱动理论分... 提出了一种新型双层梳齿驱动的大尺寸、大偏转角度、低驱动电压微机电系统(MEMS)扫描镜的设计方法。该扫描镜设计嵌套式内外双层垂直梳齿结构,梳齿间采用静电排斥力驱动,改进后的S型扭转梁有效地降低敏感轴刚度。基于垂直梳齿驱动理论分析,建立了该扫描镜的理论模型,并利用MAXWELL和ANSYS仿真软件进行了其静态、动态分析与验证,研究了该扫描镜的体硅制备工艺。仿真实验结果表明,在110 V的驱动电压扫描下,该双层梳齿驱动下的MEMS扫描镜可以实现最大偏转角±13.46°;此外,结构的谐振频率为1.79 kHz,远低于其他高阶模态,有效地抑制了其他非工作模态的交叉干扰运动,获得良好的工作带宽。 展开更多
关键词 微机电系统 扫描镜 双层垂直梳齿 静电排斥力 S型扭转梁
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Design of three-dimensional imaging lidar optical system for large field of view scanning
18
作者 Qing-Yan Li Yu Zhang +2 位作者 Shi-Yu Yan Bin Zhang Chun-Hui Wang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第7期284-289,共6页
Three-dimensional(3D)lidar has been widely used in various fields.The MEMS scanning system is one of its most important components,while the limitation of scanning angle is the main obstacle to improve the demerit for... Three-dimensional(3D)lidar has been widely used in various fields.The MEMS scanning system is one of its most important components,while the limitation of scanning angle is the main obstacle to improve the demerit for its application in various fields.In this paper,a folded large field of view scanning optical system is proposed.The structure and parameters of the system are determined by theoretical derivation of ray tracing.The optical design software Zemax is used to design the system.After optimization,the final structure performs well in collimation and beam expansion.The results show that the scan angle can be expanded from±5°to±26.5°,and finally the parallel light scanning is realized.The spot diagram at a distance of 100 mm from the exit surface shows that the maximum radius of the spot is 0.506 mm with a uniformly distributed spot.The maximum radius of the spot at 100 m is 19 cm,and the diffusion angle is less than 2 mrad.The energy concentration in the spot range is greater than 90%with a high system energy concentration,and the parallelism is good.This design overcomes the shortcoming of the small mechanical scanning angle of the MEMS lidar,and has good performance in collimation and beam expansion.It provides a design method for large-scale application of MEMS lidar. 展开更多
关键词 3D lidar mems scanning system large field of view scanning ZEMAX
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基于MEMS扫描微镜的可调光滤波器的研制
19
作者 颜廷皓 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2013年第9期22-23,共2页
提出了基于MEMS微镜和透射式衍射光栅的可调光滤波器(TOF)方案,并对TOF进行了详细的设计。其中MEMS微镜采用体硅微加工工艺制作,镜面尺寸达到1.8mm×2.7mm,扭转角度达到±2.1°。测试结果显示,TOF系统的偏振相关损耗为0.34... 提出了基于MEMS微镜和透射式衍射光栅的可调光滤波器(TOF)方案,并对TOF进行了详细的设计。其中MEMS微镜采用体硅微加工工艺制作,镜面尺寸达到1.8mm×2.7mm,扭转角度达到±2.1°。测试结果显示,TOF系统的偏振相关损耗为0.34dB,插入损耗为2.6dB。该系统成功地实现了波长调谐的功能,得到相邻通道之间的调谐时间为1.507ms。 展开更多
关键词 可调光滤波器 mems扫描微镜 衍射光栅
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基于径向磁场分布的MEMS双轴电磁驱动微镜研究
20
作者 徐士浩 李晨 《陕西科技大学学报》 北大核心 2022年第2期138-143,共6页
介绍了一种适用于激光雷达应用场景的电磁驱动式双轴MEMS微镜,并设计一种新颖的径向磁场致动系统.利用图案化单匝电镀铜线圈和同心永磁体组件形成的径向磁场作用,驱动直径2.6 mm的大孔径双轴微镜偏转.在此工作原理基础上,理论分析和有... 介绍了一种适用于激光雷达应用场景的电磁驱动式双轴MEMS微镜,并设计一种新颖的径向磁场致动系统.利用图案化单匝电镀铜线圈和同心永磁体组件形成的径向磁场作用,驱动直径2.6 mm的大孔径双轴微镜偏转.在此工作原理基础上,理论分析和有限元仿真了不同弹性扭转梁结构的驱动位移响应输出等力学特性,提出选用大位移响应量的蛇形折叠梁作为微镜器件的外扭转轴的结构模型,并对永磁体组件耦合的磁场进行研究分析、仿真,实现驱动线圈处获得最大磁场强度.所设计的微镜水平谐振频率和竖直谐振频率可达3376.2 Hz和419.46 Hz,共振态下的水平光学偏转角度和竖直偏转角度分别约为±25.2°和±17.4°,满足MEMS激光雷达对光束扫描器件的大尺寸镜面和广扫描视场范围的需求. 展开更多
关键词 mems双轴微镜 径向磁场分布 蛇形折叠梁 扫描视场
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