期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台的研制
被引量:
1
1
作者
施阳和
张鸿海
汪学方
《中国陶瓷》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期34-35,13,共3页
MEMS模态测试的一个突出的特点在于非接触性,无论是振动激励还是响应测量,都只能是非接触的。为解决MEMS测试中非接触式的振动激励问题,对基础激励的原理进行了研究,并设计开发出基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台。这是一个能为M...
MEMS模态测试的一个突出的特点在于非接触性,无论是振动激励还是响应测量,都只能是非接触的。为解决MEMS测试中非接触式的振动激励问题,对基础激励的原理进行了研究,并设计开发出基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台。这是一个能为MEMS测试提供振动、温度和压力这三种载荷的加载装置。从而为进一步开展MEMS的动态测试工作奠定了基础。
展开更多
关键词
微机电系统
压电陶瓷测试
多载荷加载台
设计原理
下载PDF
职称材料
题名
基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台的研制
被引量:
1
1
作者
施阳和
张鸿海
汪学方
机构
华中科技大学
出处
《中国陶瓷》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期34-35,13,共3页
基金
国家863计划资助项目
编号:2004AA404043
文摘
MEMS模态测试的一个突出的特点在于非接触性,无论是振动激励还是响应测量,都只能是非接触的。为解决MEMS测试中非接触式的振动激励问题,对基础激励的原理进行了研究,并设计开发出基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台。这是一个能为MEMS测试提供振动、温度和压力这三种载荷的加载装置。从而为进一步开展MEMS的动态测试工作奠定了基础。
关键词
微机电系统
压电陶瓷测试
多载荷加载台
设计原理
Keywords
mems
,
pzt testing
,
multi-loading device
,
design principle
分类号
TP273.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台的研制
施阳和
张鸿海
汪学方
《中国陶瓷》
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部