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气敏传感器的发展
被引量:
12
1
作者
陈长庆
胡明
吴霞宛
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2003年第1期33-35,共3页
综合介绍了气敏传感器的种类及其近期的发展以及MEMS技术对气敏传感器的推动,并着重对声表面波(SAW)气敏传感器及石英微天平(QCM)气敏传感器的结构、工作原理和涂层材料作了详细的介绍。
关键词
mems
声表面波
石英微天平
气敏传感器
废气监测
原理
结构
涂层材料
下载PDF
职称材料
题名
气敏传感器的发展
被引量:
12
1
作者
陈长庆
胡明
吴霞宛
机构
天津大学电信学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2003年第1期33-35,共3页
文摘
综合介绍了气敏传感器的种类及其近期的发展以及MEMS技术对气敏传感器的推动,并着重对声表面波(SAW)气敏传感器及石英微天平(QCM)气敏传感器的结构、工作原理和涂层材料作了详细的介绍。
关键词
mems
声表面波
石英微天平
气敏传感器
废气监测
原理
结构
涂层材料
Keywords
mems
,
saw
,
qcm
,
gas sensor
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
X831 [环境科学与工程—环境工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
气敏传感器的发展
陈长庆
胡明
吴霞宛
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2003
12
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职称材料
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