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气敏传感器的发展 被引量:12
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作者 陈长庆 胡明 吴霞宛 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第1期33-35,共3页
综合介绍了气敏传感器的种类及其近期的发展以及MEMS技术对气敏传感器的推动,并着重对声表面波(SAW)气敏传感器及石英微天平(QCM)气敏传感器的结构、工作原理和涂层材料作了详细的介绍。
关键词 mems 声表面波 石英微天平 气敏传感器 废气监测 原理 结构 涂层材料
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