MEMS(Micro Electron Mechanic Systems)技术是从专用集成电路(ASIC)技术发展过来的,已经在电子产品、汽车工业、机械、化工及医药等各领域得到广泛的应用。近年来,MEMS器件在航空领域的应用越来越受到各国重视。本文首先介绍了MEMS加...MEMS(Micro Electron Mechanic Systems)技术是从专用集成电路(ASIC)技术发展过来的,已经在电子产品、汽车工业、机械、化工及医药等各领域得到广泛的应用。近年来,MEMS器件在航空领域的应用越来越受到各国重视。本文首先介绍了MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS-IMU惯性导航组合系统等目前在航空领域有一定应用前景的MEMS传感器,对这些传感器在国外的应用研究进行了汇总,最后,介绍国内已有初步进展的MEMS传感器设计应用,并指出我国的航空微时代的研究方向。展开更多
文摘MEMS(Micro Electron Mechanic Systems)技术是从专用集成电路(ASIC)技术发展过来的,已经在电子产品、汽车工业、机械、化工及医药等各领域得到广泛的应用。近年来,MEMS器件在航空领域的应用越来越受到各国重视。本文首先介绍了MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS-IMU惯性导航组合系统等目前在航空领域有一定应用前景的MEMS传感器,对这些传感器在国外的应用研究进行了汇总,最后,介绍国内已有初步进展的MEMS传感器设计应用,并指出我国的航空微时代的研究方向。