RF/微波无线系统中的MEMS技术

着重论述了RF/微波MEMS元件及其制造技术、封装要求和设计,并在此基础上阐述RF/微波MEMS元件的应用电路和系统。

MEMS低功耗催化甲烷传感器脉冲供电研究

针对传统催化甲烷传感器功耗高的问题,在分析微型机电系统(MEMS)低功耗催化甲烷元件性能的基础上,提出脉冲供电工作方式。通过输出稳定性测试和灵敏度测试确定脉冲供电具体占空比,并对恒压供电和脉冲供电下元件的线性特性、零点温度特性、灵敏度特性、零点漂移及灵敏度漂移进行了测试。结果表明,脉冲供电工作方式不仅可极大地降低MEMS催化甲烷传感器的功耗,而且在零点漂移和灵敏度方面拥有更加优异的性能。

基于MEMS器件的飞行器导航控制系统研究与设计

微机电器件(MEMS)技术的发展为飞行器导航控制系统的设计提供了新的实现方法。基于新型微机电测量元件和大规模可编程逻辑阵列技术,设计了一种飞行器导航控制系统。详细介绍了系统硬件和接口设计,并实现了一种微机电陀螺仪的误差补偿算法,有效的修正了陀螺仪的零漂特性,提高了系统测量精度。

基于MEMS技术的碰撞传感器在汽车安全系统中的应用

汽车故障类型多种多样,即使是一个很小的传感器,一旦发生故障,往往就能够导致汽车发动机熄火或者无法正常启动,而碰撞传感器在汽车发生碰撞时能对车内驾乘人员起到安全保护作用,是关系驾乘车人员生命财产安全的重要器件。基于此,该文以大众AJR发动机为依托,对基于MEMS技术的碰撞传感器在汽车主动安全系统中的应用进行分析,探讨微电子机械碰撞传感器的硬件配置及其与AJR发动机ECU之间的通信方式和连接方式,以扩大基于MEMS技术的碰撞传感器的应用范围。

基于脉冲供电的便携式甲烷检测仪

设计了一款低功耗全量程便携式甲烷检测仪,该便携仪选用低功耗MEMS催化元件作为主要敏感元件,采用脉冲供电的方式进一步降低整机功耗。详细叙述了便携仪的总体设计方案、主要硬件电路以及核心数据处理算法。试验结果表明:设计的便携仪测量精度高,平均功耗低,连续工作时间长,完全满足煤矿井下工作人员对所处环境甲烷浓度监测的需求。