纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用

在MEMS力学检测中,纳米硬度计的应用具有重要意义,本文首先对MEMS力学检测与纳米硬度计的发展现状、测试原理作出阐述,然后利用纳米硬度计对多种材料的硬度进行检测,分别探讨纳米压痕法和纳米划痕法的具体应用,希望对业内可以起到一定参考作用。