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面向MEMS微装配的夹持器的设计和实验研究
被引量:
4
1
作者
荣伟彬
谢晖
+1 位作者
孙立宁
庄攀峰
《机械设计与研究》
CSCD
北大核心
2005年第4期30-32,36,共4页
介绍了一种由PZT(压电陶瓷)驱动的用于MEMS微装配的微夹持器的设计,计算了夹持器本体的放大倍数和刚度.并用ANSYS仿真验证了数学计算的准确性.采用了基于视觉的标定方法,标定了微夹持器刚度、张合量、夹持力以及夹持力和张合量的关系。...
介绍了一种由PZT(压电陶瓷)驱动的用于MEMS微装配的微夹持器的设计,计算了夹持器本体的放大倍数和刚度.并用ANSYS仿真验证了数学计算的准确性.采用了基于视觉的标定方法,标定了微夹持器刚度、张合量、夹持力以及夹持力和张合量的关系。实验表明:夹持器张合量达280μm,夹持力达0.1N,可精确操作200- 2000μm的微齿轮,实现了微行星齿轮减速器的装配。
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关键词
压电陶瓷
mems微装配
微
夹持器
标定
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职称材料
题名
面向MEMS微装配的夹持器的设计和实验研究
被引量:
4
1
作者
荣伟彬
谢晖
孙立宁
庄攀峰
机构
哈尔滨工业大学机器人研究所
出处
《机械设计与研究》
CSCD
北大核心
2005年第4期30-32,36,共4页
基金
国防基础科研基金资助项目(K1401060130)
文摘
介绍了一种由PZT(压电陶瓷)驱动的用于MEMS微装配的微夹持器的设计,计算了夹持器本体的放大倍数和刚度.并用ANSYS仿真验证了数学计算的准确性.采用了基于视觉的标定方法,标定了微夹持器刚度、张合量、夹持力以及夹持力和张合量的关系。实验表明:夹持器张合量达280μm,夹持力达0.1N,可精确操作200- 2000μm的微齿轮,实现了微行星齿轮减速器的装配。
关键词
压电陶瓷
mems微装配
微
夹持器
标定
Keywords
PTZ
mems
microassembly
micro-gripper
calibration
分类号
TP223 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
面向MEMS微装配的夹持器的设计和实验研究
荣伟彬
谢晖
孙立宁
庄攀峰
《机械设计与研究》
CSCD
北大核心
2005
4
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