一种应用于便携式陀螺仪的ZOOM结构ADC

设计了一种用于微机电系统(MEMS)陀螺传感器中的高精度ZOOM型模数转换器(ADC)。该结构由逐次逼近型(SAR)ADC和Sigma Delta调制器构成,通过SAR ADC的粗略转换缩小了Sigma Delta调制器的参考范围,提高了整体的转换精度。基于0.35 um BCD工艺对该结构进行电路设计,并进行指标仿真。仿真结果表明,该ZOOM ADC对中心频率10 KHz、带宽100 Hz的信号转换动态范围达到120 dB,满足MEMS陀螺接口电路中ADC的性能要求。