一种用于MEMS检测的无耦合六维力传感器的研制

提出了一种用于MEMS检测试验平台中力学量测量的无耦合六维力 /力矩传感器的设计。对传感器的结构形式、测量原理作了介绍 ,进行了试验验证并给出了从 8路输出电压到六维力 /力矩的传递矩阵。该传感器通过采用巧妙的结构形式和特定的电阻应变片布片方案实现了六维力解耦 ,大大简化了后置信号处理电路的设计且在各轴都具有较好的测量分辨率。实验证明 ,该传感器具有无耦合、测量分辨率高、线性度好、标定简单、贴片方便、制造成本低的优点 。

MEMS技术的研究现状和新进展

介绍MEMS技术几个主要方面的研究现状和最新进展:MEMS的加工技术、封装技术、检测技术。阐述MEMS技术仍面临的问题。

MEMS中几何量的测试方法

MEMS测试技术及方法是MEMS设计、制造、仿真及质量控制和评价的关键环节之一,讨论了应用于MEMS几何量测量的微视觉、扫描探针、光切、干涉、共焦、光栅投影等方法及基于材料和微结构特性的特殊测量方法,并详细论述了在MEMS微几何量测量中的微视觉检测原理及方法。结合干涉测量技术的微视觉测试方法能够涵盖从纳米级到毫米级的几乎全部的微几何量分布范围。

纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用

在MEMS力学检测中,纳米硬度计的应用具有重要意义,本文首先对MEMS力学检测与纳米硬度计的发展现状、测试原理作出阐述,然后利用纳米硬度计对多种材料的硬度进行检测,分别探讨纳米压痕法和纳米划痕法的具体应用,希望对业内可以起到一定参考作用。

轮胎气压检测信号调理电路的设计

轮胎气压检测作为汽车安全技术检测项目之一。基于芯片MAX1450设计的轮胎气压检测调理电路,是应用于汽车MEMS压力传感器后端的微弱信号输入通道,具有减小传感器误差,提高测量精度等特点,为实时轮胎气压监测系统提供新技术支持。

微机电系统测试技术及方法

微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一 ,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用 ,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨。

公司与新品介绍

Multitest携手Semi台湾MEMS委员会,支持亚洲MEMS行业 MEMS检测与校准设备的领先厂商Multitest公司日前宣布,其中国台湾区域经理AlexChen最近加入Semi台湾MEMS委员会，致力为亚洲MEMS行业的腾飞发挥积极作用。