MEMS器件及其设备

MEMS(Microelectro mechanical system)器件是一种微型机电一体化的SOC。2008年MEMS器件市场为72.97亿美元,2011年将达到108亿美元,2006～2011年年复合平均增长率为13%。2011年MEMS系统级市场将达720亿美元。MEMS器件中发展最快的器件是传感器MEMS、光MEMS和RFMEMS。MEMS器件的应用已从汽车电子转向消费类电子领域。MEMS器件用于Wii无线游戏机与iphone是2007年MEMS器件应用的最大亮点。MEMS器件的制造类同IC制造,光刻、刻蚀、CVD和CMP设备都可兼用。

MEMS封装技术及设备

概述了进入后摩尔时代的MEMS技术,通过TSV技术整合MEMS与CMOS制程,使得半导体与MEMS产业的发展由于技术的整合而出现新的商机。主要介绍了MEMS器件封装所面临的挑战及相应的封装设备。

MEMS设备使用的微型核电池

该项目用来论证放射性同位素为微机电系统（MEMS）设备提供随机电源的可行性。MEMS是一个飞速发展的领域，并有希望生产大量不同的具有创新意义的设备。包括："芯片上的实验室"、微机加工隧道扫描显微镜、用于生物制剂的微观探测器、用于DNA识别的微系统等。目前，这些设备受到缺乏随机电源的限制，目前正在研究的解决方法包括燃料电池、矿物燃料以及化学电池。但这些方法都有其局限性。对于长寿、高能密度的设备，随机的放射性同位素电源是最佳选择。我们已经成功地使用不同的同位素，不同的合并方法，生产出不同形状的上述设备。文中的实验论证了用放射性同位素做电源的可行性，并且让MEMS设计者有多种可利用的选择方案。作为一台一体化自发电设备的一个范例，我们采用了振荡悬臂梁，它可在不添加燃料的情况下长时间的周期性振荡。正在进行的工作将证实振荡悬臂梁具有射频传输的能力，能够实现MEMS和其它设备的无线交流。因此，这将是第一代供MEMS使用的自供电无线传输器，将这些设备作为传感器埋入建筑物中，它们能不间断地监控。

基于ARM平台的MEMS输入设备的固件设计

本文研究了基于MEMS加速度计的电脑无线输入设备,给出了输入设备系统的整体构成和主要的硬件组成。本文重点讨论了输入系统的固件设计,即在ARM嵌入式平台基础上,引入嵌入式操作系统,对输入设备的两个子模块进行了软件设计,并给出了一些相应的程序行。

基于RPM快速成型技术在压力传感器壳体件注塑模具设计的应用

本论文首先以压力传感器电器壳体为例论述了STL模型分层的基本原理，基于RPM技术的塑料注射成型模具设计应用方法实践证明在产品设计和制造领域应用快速成型技术，能显著地缩短产品投放市场的周期，降低成本，提高质量，增强企业的竞争能力。