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高精度4英寸硅片腐蚀装置
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作者 刘沁 匡石 +1 位作者 张纯棣 李民 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2004年第5期6-7,共2页
高精度4英寸硅片腐蚀装置是采用微机械制造技术(MEMT)和微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一。它采用计算机智能控制,一次可自动完成多片4英寸硅片的各向异性腐蚀,无需人工控制,腐蚀一致性好、效率高。结合攻关项目的研究... 高精度4英寸硅片腐蚀装置是采用微机械制造技术(MEMT)和微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一。它采用计算机智能控制,一次可自动完成多片4英寸硅片的各向异性腐蚀,无需人工控制,腐蚀一致性好、效率高。结合攻关项目的研究成果重点介绍了高精度4英寸硅片腐蚀装置的主要技术指标、腐蚀机理、工艺、结构特点及设备的主要关键技术,并给出了设备的性能测试指标。 展开更多
关键词 MEMS 传感器 各向异性腐蚀 腐蚀装置 memt
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杞黄颗粒对年龄相关性黄斑变性患者血清补体的调控作用 被引量:12
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作者 王燕 王璐 +5 位作者 袁远 王莉 黎红梅 孟梁 张欣桐 梁凤鸣 《广东医学》 CAS 2018年第7期1099-1102,1105,共5页
目的探讨杞黄颗粒对年龄相关性黄斑变性(AMD)患者血清补体因子H(CFH)及C5b-9的调控作用。方法采用临床随机对照试验研究设计方法,将AMD患者随机分为观察组(62例)和对照组(58例)。观察组口服杞黄颗粒,4.5 g/次,3次/d,对照组口服维生素C,0... 目的探讨杞黄颗粒对年龄相关性黄斑变性(AMD)患者血清补体因子H(CFH)及C5b-9的调控作用。方法采用临床随机对照试验研究设计方法,将AMD患者随机分为观察组(62例)和对照组(58例)。观察组口服杞黄颗粒,4.5 g/次,3次/d,对照组口服维生素C,0.2 g/次,3次/d,连续用药14周。采集AMD患者空腹静脉血并分离血清,采用ELISA法测定血清CFH及C5b-9蛋白质量浓度。结果观察组血清sCFH治疗前后比较差异均有统计学意义(P<0.01),但sC5b-9治疗前后比较差异无统计学意义(P>0.05)。对照组血清sCFH、sC5b-9治疗前后差异均无统计学意义(P>0.05)。两组之间治疗后sCFH浓度比较差异有统计学意义(P<0.05)。干性AMD患者观察组血清sCFH治疗前后差异均有统计学意义(P<0.05),但sC5b-9治疗前后差异均无统计学意义(P>0.05)。湿性AMD患者观察组血清CFH、C5b-9质量浓度治疗前后差异均无统计学意义(P>0.05)。结论杞黄颗粒对干性AMD患者的血清补体CFH有一定的调节作用,可能是中药杞黄颗粒可改善AMD患者视功能的作用机制之一。 展开更多
关键词 年龄相关性黄斑病变 中药 杞黄颗粒 补体 CFH C5B-9
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N-甲基-N-(2-甲基丙烯酰氧乙基)-对-甲苯胺对甲基丙烯酸甲酯聚合的影响 被引量:5
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作者 丘坤元 张璋华 冯新德 《高分子学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1992年第4期504-508,共5页
我们曾报道可聚合的芳叔胺N-甲基-N-(2-甲基丙烯酰氧乙基)苯胺(MEMA)与有机过氧化物如过氧化二苯甲酰(BPO)、过氧化二月桂酰(LPO)组成氧化还原引发体系用于甲基丙烯酸甲酯的聚合。虽然文献报道了N-甲基-N-(2-甲基丙烯酰氧乙基)-对-甲苯... 我们曾报道可聚合的芳叔胺N-甲基-N-(2-甲基丙烯酰氧乙基)苯胺(MEMA)与有机过氧化物如过氧化二苯甲酰(BPO)、过氧化二月桂酰(LPO)组成氧化还原引发体系用于甲基丙烯酸甲酯的聚合。虽然文献报道了N-甲基-N-(2-甲基丙烯酰氧乙基)-对-甲苯胺(MEMT)的合成,但没有研究它对甲基丙烯酸甲酯自由基聚合的影响。本文研究了MEMT对BPO或LPO引发MMA聚合的影响,从聚合动力学研究表明BPO/MEMT组成氧化还原引发体系。其引发机理与BPO/MEMA很相似。 展开更多
关键词 端基分析 PMMA MEM/BPO引发
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硅微结构惯性传感器的研制现状及应用前景 被引量:7
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作者 许国祯 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1998年第1期60-68,共9页
本文从介绍硅微结构惯性传感器的研制背景入手,分析了微米/纳米技术近年来的进展对发展硅微传感器的推动作用,重点介绍了美国主要公司有关硅微结构惯性仪表的研制现状,最后结合市场预测,提出笔者对我国发展硅微惯性传感器的几点浅见。
关键词 惯性仪表 微米/纳米技术 微电子机械加工技术
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混凝法处理高浓度印染废水的研究 被引量:13
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作者 谢绍东 李爱国 《四川师范学院学报(自然科学版)》 1994年第4期335-340,共6页
选用MgSO_4作为混凝剂处理高浓度印染废水,并与PAC作为混凝剂对比试验.用正交试验确定其处理的最佳条件,再在此条件下处理混合印染废水,研究表明:用MgSO_4处理废水的最佳pH值在12左右,COD_cr去除率达8... 选用MgSO_4作为混凝剂处理高浓度印染废水,并与PAC作为混凝剂对比试验.用正交试验确定其处理的最佳条件,再在此条件下处理混合印染废水,研究表明:用MgSO_4处理废水的最佳pH值在12左右,COD_cr去除率达80%以上,脱色率达90%以上,较PAC脱色率和COD去除率高,可望成为处理印染废水的新型混凝剂. 展开更多
关键词 混凝法 絮凝 镁盐 印染废水 废水处理.
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微电子机械技术的现状与发展 被引量:1
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作者 赵志诚 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1997年第6期1-2,5,共3页
】微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿,它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展,并对今后的研究动态进行了论述。
关键词 微电子机械技术 传感器 微电子机械系统
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对钻井废物污染的全过程控制 被引量:7
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作者 黄晓东 张晚兰 《油气田环境保护》 1994年第4期24-27,共4页
在钻井作业过程中控制废物的排放量和毒性,变末端处理为全过程控制,采取各种措施预防钻井废物的污染是近年来国外油气田环保工作的一项重要内容。本文就采用小井眼钻井工艺;减少井眼冲蚀;强化环境管理;提高钻井液固控系统的处理效... 在钻井作业过程中控制废物的排放量和毒性,变末端处理为全过程控制,采取各种措施预防钻井废物的污染是近年来国外油气田环保工作的一项重要内容。本文就采用小井眼钻井工艺;减少井眼冲蚀;强化环境管理;提高钻井液固控系统的处理效率;开发各种合成基钻井液; 展开更多
关键词 合成基钻井液 小井眼钻井 钻井作业 油气田 固控系统 冲蚀 降低 废物 污染 环保工作
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微电子机械技术的现状与发展
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作者 赵志诚 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1997年第7期1-2,20,共3页
微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿,它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展。
关键词 微电子机械技术 传感器 动态 微电子机械系统
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单片偏航角速度陀螺仪的原理与应用 被引量:8
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作者 沙占友 王彦朋 张永昌 《传感器世界》 2004年第9期31-34,共4页
介绍了一种单片集成化偏航角速度陀螺仪的工作原理与典型应用,阐述了角速度测量仪的设计要点。该仪器可精确测量转动物体的偏航角速度,适用于各种惯性测量系统(例如检测汽车底盘)。
关键词 陀螺仪 微电子机械加工技术 偏航角速度 自检 角速度测量仪
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一种利用像素邻域信息的模糊聚类图像分割算法 被引量:8
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作者 周绍光 贾凯华 殷楠 《测绘科学》 CSCD 北大核心 2013年第1期153-155,共3页
本文提出一种结合空间信息的模糊C均值聚类图像分割算法。该方法是利用每个像素的邻域像素的隶属度来修正FCM算法的隶属度函数,从而引入图像的空间信息,对隶属函数做了改进;依据平方误差和最小准则,从而确定模糊分类矩阵及聚类中心;并... 本文提出一种结合空间信息的模糊C均值聚类图像分割算法。该方法是利用每个像素的邻域像素的隶属度来修正FCM算法的隶属度函数,从而引入图像的空间信息,对隶属函数做了改进;依据平方误差和最小准则,从而确定模糊分类矩阵及聚类中心;并依据最大隶属度原则,划分图像像素的类别归属。实验结果表明,该方法能快速有效地分割图像,并且具有较强的抗噪能力。 展开更多
关键词 图像分割 模糊C均值聚类 隶属函数
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