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强流金属离子注入 被引量：3
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作者 张涛 宋教花 +5 位作者 张荟星 张孝吉 汤宝寅 朱剑豪 Monteiro O R Brown I G 《微细加工技术》 2001年第1期22-25,共4页
金属等离子体浸没注入 (MEPIII)技术与金属蒸气真空弧 (MEVVA)源注入技术有相同之处 ,也有各自不同的特点。采用两种方法进行钛离子注入硅 ,RBS方法分析注入层 ,并对两种注入技术予以比较。
关键词 金属离子注入 MEVVA mepiii 金属蒸气真空弧
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