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MILC超薄沟道多晶硅薄膜晶体管 被引量:13
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作者 金仲和 王跃林 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1068-1071,共4页
金属诱导横向结晶技术制备的多晶硅薄膜具有晶粒尺寸大且不随薄膜厚度而减小的特点 ,本文根据这一特点提出利用超薄沟道结构提高薄膜晶体管性能 .采用超薄结构后 ,成功地将金属诱导结晶薄膜晶体管的漏电降到10 -13 A/ μm以下 ;开关比... 金属诱导横向结晶技术制备的多晶硅薄膜具有晶粒尺寸大且不随薄膜厚度而减小的特点 ,本文根据这一特点提出利用超薄沟道结构提高薄膜晶体管性能 .采用超薄结构后 ,成功地将金属诱导结晶薄膜晶体管的漏电降到10 -13 A/ μm以下 ;开关比提高了近 10 0倍达到 3× 10 7以上 ;场效应迁移率从普通结构晶体管的 80cm2 /Vs(NMOS)与5 1cm2 /Vs(PMOS)分别提高到 110cm2 /Vs与 6 8cm2 /Vs;阈值及亚阈摆幅也有很大改善 .文中还将金属诱导结晶与传统固相结晶所得薄膜晶体管的性能进行了比较 。 展开更多
关键词 金属诱导结晶 多晶硅 薄膜晶体管 milc
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美国乳品收入损失补偿计划(MILC)及其启示 被引量:3
2
作者 孔祥智 董翀 Laureen Fuess 《世界农业》 北大核心 2010年第11期49-52,共4页
美国奶业高度发展,以联邦销售订单和乳品价格支持计划为核心的奶业补贴政策体系日趋完善,尤其是2002年乳品收入损失补偿计划(MILC),在扶持奶业发展、抵御产销风险方面发挥着重要作用。本文简要介绍了MILC计划的法律背景、申请条件、申... 美国奶业高度发展,以联邦销售订单和乳品价格支持计划为核心的奶业补贴政策体系日趋完善,尤其是2002年乳品收入损失补偿计划(MILC),在扶持奶业发展、抵御产销风险方面发挥着重要作用。本文简要介绍了MILC计划的法律背景、申请条件、申请程序及政策效果,以及该计划对中国奶业政策的启示。 展开更多
关键词 milc 奶业补贴 价格支持 销售订单
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p-Si TFT的电场增强MILC制备技术
3
作者 曾祥斌 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期85-87,共3页
采用电场增强金属诱导侧向晶化方法获得了结晶良好的多晶硅薄膜,并采用该工艺制备了p沟道薄膜晶体管器件,其迁移率为65cm2/(V·s),开关态电流比为5×106.采用拉曼光谱分析、X射线衍射、扫描电镜等微观分析手段对多晶硅薄膜进行... 采用电场增强金属诱导侧向晶化方法获得了结晶良好的多晶硅薄膜,并采用该工艺制备了p沟道薄膜晶体管器件,其迁移率为65cm2/(V·s),开关态电流比为5×106.采用拉曼光谱分析、X射线衍射、扫描电镜等微观分析手段对多晶硅薄膜进行了分析,结果表明加电场于两电极之间有促进多晶硅薄膜晶化的作用.采用EFE-MILC技术获得了大的晶粒尺寸,并用此技术制备了p沟多晶硅TFT.表明EFE-MILC技术是在低温下获得大晶粒尺寸p-Si薄膜和高性能p-SiTFT的好方法. 展开更多
关键词 金属诱导侧向晶化 电场增强晶化 多晶硅薄膜 薄膜晶体管
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直肠癌根治加股薄肌肛门成形术
4
作者 张本寿 吴允飞 +1 位作者 范宏 陈淑章 《苏州医学院学报》 1994年第2期143-144,共2页
本文报道采用Miles直肠癌根治术,同期以股薄肌转移重建肛门括约肌,原位重建肛门,7例皆成功。
关键词 milcs根治术 直肠肿瘤
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Ni金属诱导晶化非晶硅(a-Si∶H)薄膜 被引量:7
5
作者 黄金英 赵玉环 +2 位作者 张志伟 荆海 凌志华 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期397-400,共4页
对在氢化非晶硅薄膜(a-Si∶H)上溅射金属Ni的样品进行金属诱导晶化(MIC)/金属诱导横向晶化(MILC),制备多晶硅薄膜(p-Si)的工艺及薄膜特性进行了研究。XRD测量结果表明非晶硅在500℃退火1 h后就已经全部晶化。金属诱导晶化的优选晶向为(2... 对在氢化非晶硅薄膜(a-Si∶H)上溅射金属Ni的样品进行金属诱导晶化(MIC)/金属诱导横向晶化(MILC),制备多晶硅薄膜(p-Si)的工艺及薄膜特性进行了研究。XRD测量结果表明非晶硅在500℃退火1 h后就已经全部晶化。金属诱导晶化的优选晶向为(220),而且晶粒随退火时间的延长而长大。非晶硅薄膜样品500℃下退火6 h后的扫描电镜照片显示,原金属镍覆盖区非晶硅全部晶化,晶粒均匀,平均晶粒大小约为0.3μm,而且已经发生横向晶化。EDS测试Ni在晶化的非晶硅薄膜中的原子百分含量分析表明,金属Ni在MILC过程中的作用只是催化晶化,除了少量残留在MILC多晶硅中外,其余的Ni原子都迁移至晶化的前沿。500℃下退火20 h后样品的Raman测试结果也表明,金属离子向周边薄膜扩散,横向晶化了非晶硅薄膜。 展开更多
关键词 氢化非晶硅 多晶硅 金属诱导晶化 金属诱导横向晶化
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低温多晶硅薄膜的制备评述 被引量:3
6
作者 杨定宇 蒋孟衡 杨军 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期298-301,共4页
低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS-TFT)驱动技术是实现大尺寸全彩平板显示的必由之路。然而,传统的低温多晶硅薄膜制作工艺存在着工序复杂、薄膜均匀性差、可能有金属污染且造价昂贵等问题。因此,有必要研发新一代的低温多晶硅薄膜制备工艺以... 低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS-TFT)驱动技术是实现大尺寸全彩平板显示的必由之路。然而,传统的低温多晶硅薄膜制作工艺存在着工序复杂、薄膜均匀性差、可能有金属污染且造价昂贵等问题。因此,有必要研发新一代的低温多晶硅薄膜制备工艺以期进一步提高薄膜质量,降低驱动成本。本文首先介绍了金属诱导横向晶化法(MILC)和准分子激光晶化法(ELA)制备低温多晶硅薄膜的原理,分析了两者各自的优缺点。接着,重点阐述了电感耦合等离子体化学气相沉积法(ICP-CVD)的工作原理和特点,并介绍了目前ICP-CVD在低温多晶硅薄膜制备上所取得的进展。 展开更多
关键词 低温多晶硅薄膜 金属诱导横向晶化 准分子激光晶化 电感耦合等离子体化学气相沉积
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电场增强Ni诱导非晶硅横向结晶及其电迁移效应 被引量:1
7
作者 王光伟 张建民 +1 位作者 张平 许书云 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期588-592,共5页
在外加直流电场作用下,Ni诱导非晶硅(a-Si)薄膜发生横向结晶。影响Ni诱导a-Si薄膜横向结晶的因素有很多,如场强、反应以及退火条件等。适当强度的电场能显著加快Ni横向诱导a-Si结晶速率,当场强超过某一临界值,则该速率降低。基于电迁移... 在外加直流电场作用下,Ni诱导非晶硅(a-Si)薄膜发生横向结晶。影响Ni诱导a-Si薄膜横向结晶的因素有很多,如场强、反应以及退火条件等。适当强度的电场能显著加快Ni横向诱导a-Si结晶速率,当场强超过某一临界值,则该速率降低。基于电迁移效应,给出较为合理的解释。 展开更多
关键词 金属诱导横向结晶 电场增强横向诱导结晶 扩散 固相反应 电迁移 晶粒生长
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低温多晶硅薄膜制备技术应用进展 被引量:1
8
作者 杨定宇 蒋孟衡 涂小强 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第8期8-11,共4页
系统介绍了金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法、触媒化学气相沉积法(Cat-CVD)以及电感耦合等离子体化学气相沉积法(ICP-CVD)制备低温多晶硅薄膜的原理及进展。对不同制备工艺的优势和不足进行了比较,重点讨论了Cat-CVD和ICP-CVD在... 系统介绍了金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法、触媒化学气相沉积法(Cat-CVD)以及电感耦合等离子体化学气相沉积法(ICP-CVD)制备低温多晶硅薄膜的原理及进展。对不同制备工艺的优势和不足进行了比较,重点讨论了Cat-CVD和ICP-CVD在实用化中需克服的技术问题。对上述制备方法的应用前景作了评述和展望。 展开更多
关键词 半导体技术 低温多晶硅薄膜 综述 金属诱导横向晶化 准分子激光晶化 触媒化学气相沉积 电感耦合等离子体化学气相沉积
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外加电场对金属诱导非晶硅横向结晶的影响 被引量:1
9
作者 王光伟 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期107-112,共6页
综述了Al和Ni在外加直流电场以及Cu在交流电场作用下诱导非晶硅(a-Si)薄膜横向结晶的特点和机理。研究了外加电场对金属诱导a-Si薄膜横向结晶的诸多影响因素,如场强及分布等。结果表明,相对于无电场时,适当强度的电场可显著加快金属诱... 综述了Al和Ni在外加直流电场以及Cu在交流电场作用下诱导非晶硅(a-Si)薄膜横向结晶的特点和机理。研究了外加电场对金属诱导a-Si薄膜横向结晶的诸多影响因素,如场强及分布等。结果表明,相对于无电场时,适当强度的电场可显著加快金属诱导横向结晶的速率,场强超过某一临界值则降低该速率,并基于电迁移效应作了较好的解释。对Cu诱导a-Si薄膜横向结晶,在同样条件下,直交流混合电场比单纯的直流电场能引发更高的结晶速率。 展开更多
关键词 金属诱导横向结晶 电场增强金属诱导横向结晶 扩散 固相反应 晶粒生长 交流电场
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低温多晶硅薄膜的制备工艺研究
10
作者 杨定宇 蒋孟衡 杨军 《真空》 CAS 北大核心 2008年第1期41-44,共4页
低温多晶硅薄膜是制备高性能薄膜晶体管的首选材料,由其制成的薄膜晶体管由于在平板显示器件驱动中所展现的优越性能而受到广泛关注。本文系统介绍了低温多晶硅薄膜的三种制备方法—金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法和电感耦合等... 低温多晶硅薄膜是制备高性能薄膜晶体管的首选材料,由其制成的薄膜晶体管由于在平板显示器件驱动中所展现的优越性能而受到广泛关注。本文系统介绍了低温多晶硅薄膜的三种制备方法—金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法和电感耦合等离子体化学气相沉积法的原理和研究进展,比较了它们之间各自的优缺点,最后对该领域的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 低温多晶硅薄膜 金属诱导横向晶化 准分子激光晶化 电感耦合等离子体化学气相沉积
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非晶硅薄膜金属诱导晶化的实时监测系统与晶化效果测量
11
作者 曾祥斌 曾令驰 王慧娟 《物理实验》 2008年第7期8-11,共4页
设计了用于测量非晶硅薄膜诱导晶化的电阻值的实验装置,通过实时电阻测量方法实现了金属诱导晶化制备多晶硅薄膜的实时监控.结果表明薄膜的电阻值在高温下随晶化时间呈指数衰减,且具有很强的温度依赖关系.采用晶粒边界势垒模型解释了阻... 设计了用于测量非晶硅薄膜诱导晶化的电阻值的实验装置,通过实时电阻测量方法实现了金属诱导晶化制备多晶硅薄膜的实时监控.结果表明薄膜的电阻值在高温下随晶化时间呈指数衰减,且具有很强的温度依赖关系.采用晶粒边界势垒模型解释了阻值衰减行为,分析计算了样品的阻值衰减规律.应用拉曼光谱分析检测实时电阻测量的可靠性,结果表明实时电阻测量方法可以用于金属诱导晶化动力学的研究. 展开更多
关键词 多晶硅薄膜 金属诱导晶化 实时电阻测量
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Miles手术与改良Dixon手术在超低位直肠癌保肛手术的临床疗效观察 被引量:1
12
作者 刘维兵 《中国农村卫生》 2018年第8期25-25,共1页
目的:探讨Miles手术及改良Dixon手术运用于超低位直肠癌保肛手术中的临床疗效。方法:选取2015年6月至2017年6月在我院行保肛手术治疗的76例超低位直肠癌患者临床资料,按不同手术方式分为Miles组与Dixon组,每组各38例。Miles组行Miles手... 目的:探讨Miles手术及改良Dixon手术运用于超低位直肠癌保肛手术中的临床疗效。方法:选取2015年6月至2017年6月在我院行保肛手术治疗的76例超低位直肠癌患者临床资料,按不同手术方式分为Miles组与Dixon组,每组各38例。Miles组行Miles手术治疗,Dixon组行Dixon手术治疗,比较两组的治疗效果。结果:Dixon组手术时间(136.94±9.1 5)min,术中出血量(92.61±5.34)mL,肛门排气时间(2.21±0.50)d,导尿管留置时间(2.16±0.53)d;术后并发症总发生率5.26%,均显著优于Milcs组(P<0.05)。结论:改良Dixon手术运用于超低位直肠癌保肛手术中具有手术时间短、出血量少、恢复快等优点,临床疗效确切。 展开更多
关键词 超低位直肠癌 保肛手术 milcs手术 DIXON手术
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Fabrication of Poly-Si TFT by Al-induced Lateral Crystallization at Low Temperature
13
作者 RAORui SUNGuo-cai 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2001年第1期17-19,23,共4页
Using a new low-temperature process (<600 ℃), the poly-Si TFT was fabricated by metal-induced lateral crystallization (MILC). An ultrathin aluminum layer was deposited on a-Si film and selectively formed by photol... Using a new low-temperature process (<600 ℃), the poly-Si TFT was fabricated by metal-induced lateral crystallization (MILC). An ultrathin aluminum layer was deposited on a-Si film and selectively formed by photolithography. The films were then annealed at 560 ℃ to obtain laterally crystallized poly-Si film, which is used as the channel area of a TFT. The poly-Si TFT showed an on/off current ratio of higher than 1×10 6 at a drain voltage of 5 V. The electrical properties are much better than TFT fabricated by conventional crystallization at 600 ℃. 展开更多
关键词 milc Low temperature Poly-Si TFT
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金属诱导横向结晶多晶硅薄膜晶体管热载流子应力退化特性及模型研究
14
作者 朱臻 《苏州大学学报(工科版)》 CAS 2007年第1期7-11,共5页
低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)广泛应用于平板显示。从开态和关态两个方面,研究了热载流子(HC)应力下,N型金属诱导横向结晶(MILC)LTPS TFT器件退化特性及模型。
关键词 多晶硅薄膜晶体管 金属诱导横向结晶 热载流子退化 可靠性 开态特性 关态特性
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新型半导体器件及工艺基础研究 被引量:1
15
作者 张兴 《中国基础科学》 2003年第5期16-19,共4页
为了提高系统芯片的可靠性和性能价格比,增强其市场竞争力,缩小器件特征尺寸并提高集成度仍是一个主要的途径。当器件特征尺寸进入亚50nm以后,大量来自于传统工作模式、传统材料、传统工艺乃至传统器件物理基础等方面的问题将成为器件... 为了提高系统芯片的可靠性和性能价格比,增强其市场竞争力,缩小器件特征尺寸并提高集成度仍是一个主要的途径。当器件特征尺寸进入亚50nm以后,大量来自于传统工作模式、传统材料、传统工艺乃至传统器件物理基础等方面的问题将成为器件特征尺寸进一步缩小的限制性因素。因此我们的973项目从新型材料、半导体器件分析、新型器件结构、关键制备工艺等方面开展了深入的研究。本文主要介绍我们在新型半导体器件结构以及制备工艺方面取得的主要成果,具体包括平面双栅器件、金属栅器件、垂直沟道双栅器件、DSOI器件、SON器件、SOI肖特基晶体管、高K介质器件等。 展开更多
关键词 半导体器件 工艺基础 微电子技术 milc平面双栅器件 难熔金属栅CMOS器件 改进型垂直沟道双栅器件 n沟SoI肖特基势垒晶体管 高K介质半导体器件 亚lOOnm半导体器件
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Preliminary Lattice Study of I=0 KK Scattering
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作者 傅子文 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2014年第1期75-80,共6页
We deliver the realistic ab initio lattice investigations of KK^- scattering. In the Asqtad-improved staggered dynamical fermion formulation, we carefully measure KK^- four-point function in the I=0 channel by moving ... We deliver the realistic ab initio lattice investigations of KK^- scattering. In the Asqtad-improved staggered dynamical fermion formulation, we carefully measure KK^- four-point function in the I=0 channel by moving wall sources without gauge fixing, and clearly find an attractive interaction in this channel, which is in agreement with the theoretical predictions. An essential ingredient in our lattice calculation is to properly treat the disconnected diagram. Moreover, we explain the difficulties of these lattice calculations, and discuss the way to improve the statistics. Our lattice investigations are carried out with the MILC 2 + 1 gauge configuration at lattice spacing a ≈ 0.15 fro. 展开更多
关键词 lattice QCD energy shift four point function
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