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MISiC氢敏传感器物理模型及特性模拟 被引量:4
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作者 徐静平 韩弼 +2 位作者 黎沛涛 钟德刚 吴海平 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第1期31-35,共5页
分析了金属 绝缘体 SiC(MISiC)肖特基势垒二极管 (SBD)气体传感器的响应机理 ,将SBD热电子发射理论和氢吸附 解吸理论相结合 ,通过考虑势垒高度调制效应以及理想因子随外界条件的变化 ,建立了MISiCSBD气体传感器物理模型 ,模拟结果与实... 分析了金属 绝缘体 SiC(MISiC)肖特基势垒二极管 (SBD)气体传感器的响应机理 ,将SBD热电子发射理论和氢吸附 解吸理论相结合 ,通过考虑势垒高度调制效应以及理想因子随外界条件的变化 ,建立了MISiCSBD气体传感器物理模型 ,模拟结果与实验十分吻合。采用此模型 ,分析了器件特性与绝缘层厚度的关系 ,并在灵敏度、可靠性和工作电流 /电流分辨率诸因素之间其进行了优化设计 ,对于 30 0℃左右的高温应用 ,确定出最佳绝缘层厚度为2~ 2 .3nm。 展开更多
关键词 misic 肖特基势垒二极管 气体传感器 SBD
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MISiC肖特基二极管式气体传感器响应特性分析 被引量:2
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作者 钟德刚 徐静平 +1 位作者 黎沛涛 于军 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期89-91,共3页
分析了金属 绝缘体 SiC (MISiC)结构肖特基二极管 (SBD)气体传感器敏感机理 ,通过将热电子发射理论与隧道理论结合 ,建立了器件物理模型 .模拟结果表明 ,响应特性与金属电极类型、绝缘层厚度、气体吸收效率和温度有关 .模拟结果与实... 分析了金属 绝缘体 SiC (MISiC)结构肖特基二极管 (SBD)气体传感器敏感机理 ,通过将热电子发射理论与隧道理论结合 ,建立了器件物理模型 .模拟结果表明 ,响应特性与金属电极类型、绝缘层厚度、气体吸收效率和温度有关 .模拟结果与实验符合较好 .通过模拟 ,得到MISiC结构最佳绝缘层 (SiO2 )厚度应为 1nm左右 . 展开更多
关键词 misic 肖特基二极管式气体传感器 响应特性 敏感机理 金属-绝缘体-碳化硅结构 I-V特性
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N_2O氧化制备MISiC氢传感器的响应特性分析 被引量:2
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作者 韩弼 徐静平 +1 位作者 黎沛涛 李艳萍 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第2期285-288,共4页
采用N2 O氮化氧化技术制备氮化氧化物作为绝缘层制备金属 -绝缘体 -SiC(MISiC)肖特基势垒二极管(SBD)气体传感器的技术 ,对传感器的响应特性进行了研究。实验结果表明 ,N2 O工艺能明显改善栅绝缘层和衬底之间的界面特性从而提高传感器... 采用N2 O氮化氧化技术制备氮化氧化物作为绝缘层制备金属 -绝缘体 -SiC(MISiC)肖特基势垒二极管(SBD)气体传感器的技术 ,对传感器的响应特性进行了研究。实验结果表明 ,N2 O工艺能明显改善栅绝缘层和衬底之间的界面特性从而提高传感器的性能 ,可在高温 (如 30 0℃ )等恶劣环境下长期可靠的工作 ,且适当增加绝缘层厚度有助于传感器灵敏度和可靠性的改进。 展开更多
关键词 氮化氧化物 金属-绝缘体-SiC(misic) 肖特基势垒二极管 气体传感器
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新颖的氧化生长绝缘层的MISiC传感器特性研究 被引量:1
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作者 韩弼 徐静平 +3 位作者 李艳萍 陈卫兵 邹晓 李春霞 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期176-178,共3页
采用新颖的NO和O2+CHCCl3(TCE)氧化技术制备金属-绝缘-体SiC(MISiC)肖特基势垒二极管(SBD)气体传感器的栅绝缘层,研究了传感器的响应特性。结果表明,传感器可快速的检测低浓度的氢气,NO氮化氧化改善了绝缘层的界面,TCE工艺降低了界面态... 采用新颖的NO和O2+CHCCl3(TCE)氧化技术制备金属-绝缘-体SiC(MISiC)肖特基势垒二极管(SBD)气体传感器的栅绝缘层,研究了传感器的响应特性。结果表明,传感器可快速的检测低浓度的氢气,NO氮化氧化改善了绝缘层的界面,TCE工艺降低了界面态密度和氧化层的有效电荷密度,并同时提取重金属以提高传感器的性能,使其可在高温(如300℃)等恶劣环境下长期可靠的工作,研究还发现:适当增加绝缘层厚度有助于传感器灵敏度和可靠性的改进。 展开更多
关键词 金属-绝缘体-SiC(misic) 肖特基势垒二极管 气体传感器
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杂质不完全离化对MISiC气体传感器的影响
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作者 王巍 代作海 +3 位作者 王晓磊 唐政维 徐洋 王平 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第9期67-69,73,共4页
研究了杂质不完全离化对金属—绝缘体—碳化硅(MISiC)传感器性能的影响。考虑到Pool-Frenkel效应和外加电场的作用,建立了MISiC器件空间电荷区泊松方程。运用准中性近似,对所建立的泊松方程进行数值计算,得到了空间电荷区的电势分布,进... 研究了杂质不完全离化对金属—绝缘体—碳化硅(MISiC)传感器性能的影响。考虑到Pool-Frenkel效应和外加电场的作用,建立了MISiC器件空间电荷区泊松方程。运用准中性近似,对所建立的泊松方程进行数值计算,得到了空间电荷区的电势分布,进而得到MISiC传感器的I-V与C-V特性。实验结果表明:室温下SiC器件中杂质不完全离化,随着温度的升高,杂质离化率增大。在外加电场的作用下,杂质的离化率增加,并最终导致MISiC器件I-V与C-V曲线的移动。 展开更多
关键词 金属-绝缘体-碳化硅 杂质离化 泊松方程 Pool-Frenkel效应 气体传感器
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东周时期的道德虚伪与周礼的名实分离
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作者 晁天义 《云南社会科学》 CSSCI 北大核心 2005年第4期102-106,共5页
东周时期,随着传统道德价值观的衰落,社会上逐渐兴起一股道德虚伪的风气。作为一种普遍的文化现象,道德虚伪主要表现为人们关于传统道德,如仁义、孝道、诚信的外在表现与实际行为之间出现了严重的分离和反差。该现象的产生与中国古代礼... 东周时期,随着传统道德价值观的衰落,社会上逐渐兴起一股道德虚伪的风气。作为一种普遍的文化现象,道德虚伪主要表现为人们关于传统道德,如仁义、孝道、诚信的外在表现与实际行为之间出现了严重的分离和反差。该现象的产生与中国古代礼乐文化所固有的结构特征有直接关系,它是周礼名实分离影响下传统道德衰落的必然结果。 展开更多
关键词 东周 道德虚伪 名实 周礼
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《彩云追月》及其改编曲 被引量:1
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作者 张玉红 《鞍山师范学院学报》 2005年第3期81-83,共3页
《彩云追月》是我国音乐家任光先生创作的一首民族器乐合奏曲。乐曲因抒情优美的旋律、淡雅清幽的风格而深受人们喜爱。在创作后的几十年里,曾被改编成歌曲、各种器乐独奏、合奏曲。王建中据其改编的同名钢琴曲在用外来乐器演奏民族传... 《彩云追月》是我国音乐家任光先生创作的一首民族器乐合奏曲。乐曲因抒情优美的旋律、淡雅清幽的风格而深受人们喜爱。在创作后的几十年里,曾被改编成歌曲、各种器乐独奏、合奏曲。王建中据其改编的同名钢琴曲在用外来乐器演奏民族传统乐曲中体现出高度的融合性,既保持了原曲的民族风格,又充分发挥了钢琴富于表现的优势,体现了中国音乐在新时期的新发展。 展开更多
关键词 任光 民族器乐曲 王建中 钢琴改编曲
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