MOCVD气源输运技术研究

利用GaN MOCVD设备的气源输运系统结构,分析了单稀释MO源管路和双稀释MO源管路的工作原理及特点,提出了MO源摩尔流量的计算公式和一种零死区管路设计方案;并且把管路压差控制和气体自动补偿技术应用到了MOCVD设备中。