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高强无磁不锈钢Cr21Ni13Mn5Mo2N的热加工特性
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作者 嵇爽 韩彦光 +3 位作者 陈文 赵英利 马瑞楠 周文慧 《河北冶金》 2024年第5期56-61,共6页
利用Gleeble 3800热模拟机对奥氏体不锈钢Cr21Ni13Mn5Mo2N进行热压缩实验,研究该钢种的高温变形与应变速率以及温度的关系,建立了双曲正弦本构方程,最终得到其热激活能为679.58 kJ/mol,应变速率因子Z=εexp(679580/R T)。实验结果表明,... 利用Gleeble 3800热模拟机对奥氏体不锈钢Cr21Ni13Mn5Mo2N进行热压缩实验,研究该钢种的高温变形与应变速率以及温度的关系,建立了双曲正弦本构方程,最终得到其热激活能为679.58 kJ/mol,应变速率因子Z=εexp(679580/R T)。实验结果表明,在950~1200℃,0.01~10 s^(-1)条件内,材料变形过程均发生动态再结晶,在950℃,应变速率为0.1 s^(-1)条件下,再结晶开始的变形量为10%。流变应力随温度升高及应变速率降低呈现明显下降趋势,由950℃、10 s^(-1)时的326 MPa降低至1200℃、0.01 s^(-1)时的75 MPa。结合微观组织分析及锻造试验,对压缩试样开裂问题进行深入探究,结果表明晶界处碳、氧化物的聚集恶化晶界塑性,导致热变形过程中在该处形成裂纹源并逐步扩展。通过热处理和热变形试验,确定Cr21Ni13Mn5Mo2N电渣锭在1170℃固溶6 h后晶界碳、氧化物消除,电渣锭晶界处结合力明显提升,成功消除锻造开裂问题,实现锻造成材率大幅提升。 展开更多
关键词 不锈钢Cr21Ni13Mn5mo2n 压缩热模拟 本构方程 热加工塑性
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冷轧变形量对00Cr17Ni13Mo2N不锈钢组织和硬度的影响
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作者 刘波 赵会娟 靳峰峰 《热加工工艺》 北大核心 2023年第5期108-110,共3页
对固溶态00Cr17Ni13Mo2N不锈钢进行了不同变形量的冷轧试验,采用OM、XRD、硬度测试等研究了不同冷轧变形量对不锈钢组织与硬度的影响。结果表明:固溶态00Cr17Ni13Mo2N钢组织为单一奥氏体组织。经不同变形量冷轧后钢发生了形变诱导马氏... 对固溶态00Cr17Ni13Mo2N不锈钢进行了不同变形量的冷轧试验,采用OM、XRD、硬度测试等研究了不同冷轧变形量对不锈钢组织与硬度的影响。结果表明:固溶态00Cr17Ni13Mo2N钢组织为单一奥氏体组织。经不同变形量冷轧后钢发生了形变诱导马氏体相变,随着冷轧变形量的增加,钢中α’-马氏体体积分数逐渐增加,钢的硬度逐渐提高。轧制变形量80%的钢中α’-马氏体体积分数达到了70.6%,硬度达到421 HV,比固溶态试验钢硬度提高了152.1%。 展开更多
关键词 00Cr17Ni13mo2n不锈钢 冷轧变形量 显微组织 硬度
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热处理对0Cr17Mn14Mo2N双相不锈钢性能的影响 被引量:2
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作者 毛萍莉 苏国跃 杨柯 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期88-92,共5页
研究了热处理对0Cr17Mn14Mo2N双相不锈钢铸态组织中δ-铁素体的含量、形态以及双相不锈钢性能的影响.结果表明,在1050~1200℃之间加热时,组织为奥氏体基体上分布着的球化的及长条形的δ-铁素体,且加热温度... 研究了热处理对0Cr17Mn14Mo2N双相不锈钢铸态组织中δ-铁素体的含量、形态以及双相不锈钢性能的影响.结果表明,在1050~1200℃之间加热时,组织为奥氏体基体上分布着的球化的及长条形的δ-铁素体,且加热温度越高保温时间越长铁素体的球化率越高.在1250℃加热时,组织为粗大的铁素体等轴晶,其中铁素体以球状均匀分布的0Cr17Mn14Mo2N双相不锈钢的拉伸性能最好. 展开更多
关键词 热处理 0Cr17Mn14mo2n双相不锈钢 Δ-铁素体 形态 拉伸性能
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03Cr16Mn14Mo2N奥氏体不锈钢的热疲劳行为 被引量:1
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作者 徐桂芳 严羽 +2 位作者 徐文慧 程晓农 李冬升 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期99-102,共4页
对新型高氮低镍03Cr16Mn14Mo2N奥氏体不锈钢进行了不同上限温度下的热疲劳试验,通过光学显微镜观察了热疲劳裂纹的萌生及扩展,研究了其热疲劳行为。结果表明:热疲劳裂纹的孕育期随上限温度的升高而缩短,其扩展速率随着循环次数的增加呈... 对新型高氮低镍03Cr16Mn14Mo2N奥氏体不锈钢进行了不同上限温度下的热疲劳试验,通过光学显微镜观察了热疲劳裂纹的萌生及扩展,研究了其热疲劳行为。结果表明:热疲劳裂纹的孕育期随上限温度的升高而缩短,其扩展速率随着循环次数的增加呈先增大后减小的变化趋势;随着上限温度的升高,试验钢V型缺口处的裂纹扩展至0.5mm时所需的热疲劳循环次数显著降低;热疲劳裂纹在V型缺口处优先萌生,随着热循环次数的增加,晶界和孪晶界也成为裂纹源,裂纹主要沿晶界扩展。 展开更多
关键词 03Cr16Mn14mo2n 热疲劳裂纹 萌生 扩展
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时效处理对超级双相不锈钢00Cr29Ni6Mo2N组织和耐点蚀性的影响 被引量:2
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作者 苗华军 《特殊钢》 2021年第5期81-84,共4页
采用扫描电镜和X射线能谱仪研究了00Cr29Ni6Mo2N超级双相不锈钢1080℃30 min固溶+650~1000℃ 60 min时效后的显微组织。试验结果表明,在奥氏体和铁素体相界面上析出了Cr_(2)N和σ相两种析出相,同时发现少量的Cr_(2)N在铁素体相内。Cr_(... 采用扫描电镜和X射线能谱仪研究了00Cr29Ni6Mo2N超级双相不锈钢1080℃30 min固溶+650~1000℃ 60 min时效后的显微组织。试验结果表明,在奥氏体和铁素体相界面上析出了Cr_(2)N和σ相两种析出相,同时发现少量的Cr_(2)N在铁素体相内。Cr_(2)N析出优先于σ相,增加时效温度和时间对Cr_(2)N的析出量没有显著影响,但σ相含量随着时效温度的升高先增加后减少,850 ℃时效σ-相面积百分含量最大,达5.8%,同时在给定时效温度下随时效时间增加σ-相含量增加。Cr_(2)N和σ相的析出均降低了00Cr29Ni6Mo2N超级双相不锈钢的耐点蚀性能。 展开更多
关键词 双相不锈钢00Cr29Ni6mo2n 时效 析出相
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增氮降镍对06Cr17Ni8Mo2N奥氏体不锈钢冲击性能的影响
6
作者 张文怀 杨吉春 +2 位作者 吕蒙 何耀宇 李堃 《内蒙古科技大学学报》 CAS 2016年第2期110-112,共3页
本实验对06Cr17Ni8Mo2N奥氏体不锈钢经过温度为1 000℃,保温1 h的固溶处理后,利用摆锤式冲击试验机对不同成分的试验钢进行冲击试验,通过分析其冲击功变化值和冲击断口形貌,得到增氮降镍对试验钢冲击性能的影响.结果表明,试验钢的冲击功... 本实验对06Cr17Ni8Mo2N奥氏体不锈钢经过温度为1 000℃,保温1 h的固溶处理后,利用摆锤式冲击试验机对不同成分的试验钢进行冲击试验,通过分析其冲击功变化值和冲击断口形貌,得到增氮降镍对试验钢冲击性能的影响.结果表明,试验钢的冲击功由190.6 J提高到247.3 J,冲击性能得到了显著的提高. 展开更多
关键词 06Cr17Ni8mo2n奥氏体不锈钢 增氮降镍 冲击性能
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Mo2N和分子筛负载的Mo氮化物的EXAFS研究
7
作者 刘振林 胡天斗 《北京同步辐射装置年报》 2000年第1期114-117,共4页
采用程序升温氮化的方法制备了钼氮化物催化剂,并用EXAFS方法研究了氮化前后Mo原子的局域配位情况。负载MoO3样品的径向结构函数中有三个峰其中前两个峰对应着最近的Mo-O配位壳层,但是第一个峰与第二个峰的比例比晶体MoO3中的比例大... 采用程序升温氮化的方法制备了钼氮化物催化剂,并用EXAFS方法研究了氮化前后Mo原子的局域配位情况。负载MoO3样品的径向结构函数中有三个峰其中前两个峰对应着最近的Mo-O配位壳层,但是第一个峰与第二个峰的比例比晶体MoO3中的比例大很多,表明分子筛负载的MoO3具有更紧密的结构。氮化以后,Mo2N样品的径向结构函数中有三个峰,对应于一个Mo-N和两个Mo-Mo配位壳层,与面心立方模型符合的很好。根据X射线衍射和EXAFS谱的计算表明,Mo2N中的N原子使Mo-Mo键拉长并削弱。分子筛负载的Mo2N样品具有与非负载Mo2N样品相似的径向结构函数,只是对应于Mo-N壳层的峰较弱,表明负载的MoO3更难氮化。 展开更多
关键词 mo2n 分子筛负载 钼氮化物催化剂 EXAFS 结构 程序升温氮化
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ZG06Cr25Ni7Mo2N铸件的热处理工艺研究 被引量:1
8
作者 刘艳斌 刘黎南 周星云 《大型铸锻件》 2010年第4期28-29,共2页
通过对核电站产品用ZG06Cr25Ni7Mo2N铸件的热处理工艺研究,确定了上叶轮、预埋件的热处理工艺。采用1080℃固溶处理的工艺方法满足了该零件所要求的力学性能。
关键词 ZG06Cr25Ni7mo2n 固溶处理 力学性能
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Mo2N量子点@N-掺杂石墨烯复合材料的制备及储锂性能 被引量:1
9
作者 王利霞 张振华 +4 位作者 李雷 张林森 方华 宋延华 李晓峰 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期5854-5862,共9页
为改善钼氮化物的电化学储锂性能,以钼酸铵、六次甲基四胺及氧化石墨烯(GO)为原料,通过水热、冷冻干燥及在H2/N2混合气中热处理,制备了Mo2N量子点@氮掺杂石墨烯复合材料(Mo2N-QDs@Ngs),并探究了GO复合量对电化学储锂性能的影响。透射电... 为改善钼氮化物的电化学储锂性能,以钼酸铵、六次甲基四胺及氧化石墨烯(GO)为原料,通过水热、冷冻干燥及在H2/N2混合气中热处理,制备了Mo2N量子点@氮掺杂石墨烯复合材料(Mo2N-QDs@Ngs),并探究了GO复合量对电化学储锂性能的影响。透射电子显微镜(TEM)测试结果表明:制备的Mo2N量子点尺寸约为2~5 nm,Mo2N量子点均匀地分布在氮掺杂石墨烯的表面。电化学测试结果表明:当GO复合量为30%时(Mo2NQDs@Ngs-30),制备的复合材料具有最佳的电化学储锂性能,其在0.1 A·g−1的电流密度下具有699 mA·h·g−1的比容量,在2 A·g−1下仍具有286 mA·h·g−1的比容量。 展开更多
关键词 mo2n量子点 氮掺杂石墨烯 纳米材料 纳米结构 电化学 锂离子电池
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不锈钢022Cr25Ni22Mo2N电渣锭锻造裂纹原因分析和工艺改进 被引量:1
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作者 张军 李造宇 +2 位作者 杨娥 张永强 贾余超 《特殊钢》 北大核心 2018年第6期40-42,共3页
20 t EAF-VOD-LF-VD-铸棒-2. 5 t电渣重熔锭锻成Φ200 mm圆棒上发现大量表面横向裂纹,采用扫描电镜对裂纹的微观形貌进行观察,分析结果表明,裂纹是由于锻造前加热温度过高,导致了晶界熔融而造成的。通过试验和生产实践得出,022Cr25Ni22M... 20 t EAF-VOD-LF-VD-铸棒-2. 5 t电渣重熔锭锻成Φ200 mm圆棒上发现大量表面横向裂纹,采用扫描电镜对裂纹的微观形貌进行观察,分析结果表明,裂纹是由于锻造前加热温度过高,导致了晶界熔融而造成的。通过试验和生产实践得出,022Cr25Ni22Mo2N钢电渣锭加热温度由原1 180℃降至1 110℃时,消除了锻材裂纹。 展开更多
关键词 不锈钢022Cr25Ni22mo2n 电渣锭 锻造 裂纹 过热
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合成温度对Mo2N晶型及储锂性能的影响
11
作者 王利霞 李雷 +1 位作者 张林森 郭笑颖 《电池》 CAS CSCD 北大核心 2020年第4期338-342,共5页
以钼酸铵及六次甲基四胺为原料,在N 2和H 2(体积分数为5%)混合气氛中通过控制温度合成氮化二钼(Mo 2N),分析合成温度对Mo 2N晶型及储锂性能的影响。XRD分析表明,在600℃和700℃下合成的Mo 2N为面心立方晶型;而在800℃下合成的Mo 2N为简... 以钼酸铵及六次甲基四胺为原料,在N 2和H 2(体积分数为5%)混合气氛中通过控制温度合成氮化二钼(Mo 2N),分析合成温度对Mo 2N晶型及储锂性能的影响。XRD分析表明,在600℃和700℃下合成的Mo 2N为面心立方晶型;而在800℃下合成的Mo 2N为简单四方晶型。电化学性能测试表明,在700℃下合成的Mo 2N的电化学性能相对较好,以0.1 A/g的电流在0.01~3.00 V充放电,具有536 mAh/g的可逆比容量,且电荷转移电阻最小。 展开更多
关键词 晶体结构 温度 氮化二钼(mo2n) 储锂性能
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Mo2N薄膜电极的制备与电化学性能
12
作者 王诗文 高红鸽 +1 位作者 谢江伟 王利霞 《电池》 CAS CSCD 北大核心 2020年第5期450-453,共4页
采用直流磁控溅射法在铜箔上制备具有面心立方晶型(fcc)的γ-氮化钼(γ-Mo2N)薄膜电极。通过XRD、SEM、透射电子显微镜及恒流充放电等测试,分析氩气(Ar)与氮气(N2)体积比对Mo2N薄膜电极形貌及电化学储锂性能的影响。当Ar∶N2的体积比为4... 采用直流磁控溅射法在铜箔上制备具有面心立方晶型(fcc)的γ-氮化钼(γ-Mo2N)薄膜电极。通过XRD、SEM、透射电子显微镜及恒流充放电等测试,分析氩气(Ar)与氮气(N2)体积比对Mo2N薄膜电极形貌及电化学储锂性能的影响。当Ar∶N2的体积比为4∶1时,制备的Mo2N薄膜电极(记为Mo2N-4)具有最佳的电化学储锂性能,在1000μA/cm^2下仍有87μAh/cm^2的可逆容量密度。这归因于Mo2N-4薄膜电极的多孔的纳米柱阵列形貌有利于电解液的扩散及离子的迁移。 展开更多
关键词 氮化钼(mo2n) 薄膜电极 直流(DC)磁控溅射 锂离子电池 电化学性能
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EXAFS study of Mo2N and Mo nitrides supported on zeolites
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作者 Zhen-linLiu Tian-douHu 《Beijing Synchrotron Radiation Facility》 2001年第1期41-44,共4页
关键词 钼原子 渗氮 mo2n 沸石 EXAFS研究
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OOCr25Ni6Mo2N无缝钢管管坯生产工艺
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作者 高亦斌 金卫强 +1 位作者 陈根保 邵羽 《冶金标准化与质量》 2005年第5期44-47,共4页
研究并实践了00Cr25Ni6Mo2N双相不锈钢的冶炼、锻造/轧制与穿管等加工过程,总结了 00Cr25Ni6Mo2N无缝钢管管坯制造过程中的相比例控制、冶炼工艺、热加工工艺等难点问题,对类似双相不锈 钢的冶炼、加工具有指导意义。
关键词 00Cr25Ni6mo2n 双相不锈钢 相比例 控氮 热加工 管坯
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00Cr22Ni13Mn5Mo2N奥氏体不锈钢的精轧工艺
15
作者 李兵兵 庄飚 +4 位作者 陈海涛 郎宇平 屈华鹏 冯翰秋 陈清明 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期12-16,共5页
为了研究00Cr22Ni13Mn5Mo2N奥氏体不锈钢的精轧工艺,使用Gleeble-3800热模拟试验机模拟00Cr22Ni13Mn5Mo2N奥氏体不锈钢在变形温度为800、850、900、950℃,变形量为40%、50%、60%,应变速率为50 s^-1条件下的热压缩变形行为,并对其进行108... 为了研究00Cr22Ni13Mn5Mo2N奥氏体不锈钢的精轧工艺,使用Gleeble-3800热模拟试验机模拟00Cr22Ni13Mn5Mo2N奥氏体不锈钢在变形温度为800、850、900、950℃,变形量为40%、50%、60%,应变速率为50 s^-1条件下的热压缩变形行为,并对其进行1080、1120、1160℃的固溶热处理,观察固溶热处理前后的组织形貌。结果表明:在800~950℃热压缩温度下,随变形量增大,再结晶越完全,再结晶平均晶粒尺寸越细小;经固溶处理1 h后,静态再结晶就越充分。在40%~60%变形量下,随热压缩温度升高,再结晶越完全,再结晶平均晶粒尺寸越大。热压缩变形试验钢随固溶处理温度升高,再结晶平均晶粒尺寸越大。00Cr22Ni13Mn5Mo2N奥氏体不锈钢的精轧最佳轧制温度为800℃,压缩变形量为60%,固溶温度为1080℃。 展开更多
关键词 00Cr22Ni13Mn5mo2n奥氏体不锈钢 热压缩变形 再结晶 固溶处理
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00Cr25Ni22Mo2N奥氏体不锈钢的高温氧化行为 被引量:12
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作者 李磊 陈伟 +1 位作者 陈德敏 杨柯 《钢铁》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期94-97,共4页
采用静态增重法研究了00Cr25Ni22Mo2N奥氏体不锈钢在不同温度下的循环氧化动力学曲线。结果表明,00Cr25Ni22Mo2N不锈钢在700℃时的氧化动力学曲线是一条平行于时间轴的直线,这说明其在该温度下氧化反应非常微弱;在800和900℃时的氧化动... 采用静态增重法研究了00Cr25Ni22Mo2N奥氏体不锈钢在不同温度下的循环氧化动力学曲线。结果表明,00Cr25Ni22Mo2N不锈钢在700℃时的氧化动力学曲线是一条平行于时间轴的直线,这说明其在该温度下氧化反应非常微弱;在800和900℃时的氧化动力学曲线遵循抛物线氧化规律,具有良好的抗氧化性能。利用扫描电镜、能谱分析和X射线衍射对氧化膜的表面形貌、截面形貌和相组成进行研究,发现该钢在3个温度下都生成了致密和黏附性好的保护性氧化膜,700℃生成的氧化膜主要由Cr_2O_3和Fe_2O_3组成,氧化膜很薄;800℃生成的氧化膜由Cr_2O_3、Fe_2O_3和少量的Ni Cr_2O_4、FeCr_2O_4组成,氧化膜厚度增加;900℃生成的氧化膜由Cr_2O_3、Fe_2O_3和NiCr_2O_4组成,氧化膜厚度进一步增加。认为氧化膜组成和结构是00Cr25Ni22Mo2N不锈钢具有良好抗高温氧化性能的重要原因。 展开更多
关键词 00Cr25Ni22mo2n 奥氏体不锈钢 高温氧化 氧化膜
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时效时间对Cr19Mn19Mo2N0.7奥氏体不锈钢耐磨性能的影响
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作者 周睿 刘澄 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2019年第8期122-126,共5页
通过光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)及能谱分析(EDS),对热轧态Cr19Mn19Mo2N0. 7奥氏体不锈钢经1160℃固溶6 h后,在900℃下分别时效3、12和24 h后的组织形态及分布进行观察分析。采用显微硬度仪、摩擦磨损仪和三维光学轮廓仪,研究... 通过光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)及能谱分析(EDS),对热轧态Cr19Mn19Mo2N0. 7奥氏体不锈钢经1160℃固溶6 h后,在900℃下分别时效3、12和24 h后的组织形态及分布进行观察分析。采用显微硬度仪、摩擦磨损仪和三维光学轮廓仪,研究其显微硬度及磨损性能。结果表明,在时效过程中,氮化物先在铁素体内部析出,随后在奥氏体晶界形核并逐步向奥氏体晶粒内部生长。在900℃时效3 h时,铁素体内部均匀析出了片层间距较大的指纹状氮化物,使其耐磨性能得到显著提高。 展开更多
关键词 Cr19Mn19mo2n0. 7奥氏体不锈钢 时效时间 氮化物 耐磨性 显微硬度
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Facile Synthesis of Stable MO2N Nanobelts with High Catalytic Activity for Ammonia Decomposition 被引量:1
18
作者 Jun Xu Han Yan +1 位作者 Zhao Jin Chun-Jiang Jia 《Chinese Journal of Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2019年第4期364-372,共9页
In the present work,high quality γ-Mo2N catalysts for ammonia decomposition were successfully synthesized via temperature programmed nitridation of α-MoO3 nanobelts.The optimal conditions for the synthesis of MoO3 p... In the present work,high quality γ-Mo2N catalysts for ammonia decomposition were successfully synthesized via temperature programmed nitridation of α-MoO3 nanobelts.The optimal conditions for the synthesis of MoO3 precursors were obtained by using the orthogonal experimental method.The MoO3 precursors and the corresponding fresh and used Mo2N catalysts were characterized by various characterization techniques,including transmission electron microscopy,X-ray diffraction and N2 adsorption-desorption.Furthermore,temperature-programmed desorption by N2 or NH3 and X-ray photoelectron spectroscopy analysis were performed to better understand the chemical properties of Mo2N catalysts.The results revealed that Mo2N catalyst has good NH3 adsorption ability and facilitates the dissociation adsorption of N2.Moreover,the morphology and structure of Mo2N catalysts well maintained after the reaction.Therefore,among the three transition metal nitrides(Mo2N,W2N and VN)and some Mo-based catalysts previously reported,Mo2N catalysts showed very high activity and stability.Nearly 94% con version of NH3 could be reached at 550 ℃ with the gas hourly space velocity of 22 000 cm^3-gcat^-1·h^-1 and no obvious deactivation was observed during a 72 h test. 展开更多
关键词 Stable mo2n NANOBELTS HIGH CATALYTIC Activity AMMONIA DECOMPOSITION
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钼及其化合物的最新用途 被引量:9
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作者 冯鹏发 党晓明 +4 位作者 胡林 赵虎 王娜 张常乐 陈二雷 《中国钼业》 2015年第1期46-49,共4页
给出了钼及其化合物的4种新用途。钼的同位素99Mo及其衰变后的"孪生"元素99mTc在癌症的诊断等医疗诊断流程中显示出极其重要的作用。Mo S2作为新一代半导体材料使半导体芯片厚度降低2/3,储用功率可降低10万倍,极大地促进集成... 给出了钼及其化合物的4种新用途。钼的同位素99Mo及其衰变后的"孪生"元素99mTc在癌症的诊断等医疗诊断流程中显示出极其重要的作用。Mo S2作为新一代半导体材料使半导体芯片厚度降低2/3,储用功率可降低10万倍,极大地促进集成电路的微型化和异型化。Mo2C和Mo2N作为催化物的基底材料,可有效提高催化物的比表面积,Mo2C和Mo2N基催化剂在制氢和制烃的反应中具有强烈的催化作用。Mo-Mo2C等离子喷涂技术在活塞环表面形成具有一定韧性的致密涂层,远优于钼金属火焰喷涂效果,涂层使用寿命可达到150 000 km。 展开更多
关键词 钼同位素 MOS2 Mo2C mo2n 用途
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不同调制周期TiAlSiN/Mo_2N多层膜的微观结构、力学和摩擦性能研究 被引量:6
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作者 鞠洪博 喻利花 许俊华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期620-624,共5页
采用射频磁控溅射制备不同调制周期的TiAlSiN/Mo2N多层膜。利用X射线衍射,扫描电镜,能量弥散X射线谱,纳米压痕仪及摩擦试验机对薄膜的成分,相结构,力学及室温摩擦性能进行分析。结果表明,不同调制周期的TiAlSiN/Mo2N多层膜为fcc与hcp混... 采用射频磁控溅射制备不同调制周期的TiAlSiN/Mo2N多层膜。利用X射线衍射,扫描电镜,能量弥散X射线谱,纳米压痕仪及摩擦试验机对薄膜的成分,相结构,力学及室温摩擦性能进行分析。结果表明,不同调制周期的TiAlSiN/Mo2N多层膜为fcc与hcp混合结构,不同调制周期的TiAlSiN/Mo2N多层膜硬度均大于单层TiAlSiN和Mo2N薄膜,且TiAlSiN/Mo2N多层膜的硬度与弹性模量随调制周期的影响不大,硬度稳定在29 GPa左右,室温条件下,以Al2O3为摩擦副的TiAlSiN/Mo2N多层膜平均摩擦系数平均摩擦系数均低于单层TiAlSiN、Mo2N薄膜,且随调制周期的增大逐渐降低,其最低平均摩擦系数为0.42,对应调制周期为12 nm。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 TiAlSiN/mo2n多层膜 相结构 力学性能 平均摩擦系数
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