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MOCVD计算机控制系统的设计与实现
1
作者
耿静
王遵立
鲁礼松
《微计算机信息》
2001年第11期14-15,共2页
MOCVD是金属有机化学气相沉积技术的简称,即通过MOCVD设备,在衬底上生长材料晶体的一种方法。用这种方法生长出来的晶体可用于各种芯片的制造。这是当前研制新型光电材料的重要方法之一。针对手工操作的种种不便,我们在MOCVD系统中引入...
MOCVD是金属有机化学气相沉积技术的简称,即通过MOCVD设备,在衬底上生长材料晶体的一种方法。用这种方法生长出来的晶体可用于各种芯片的制造。这是当前研制新型光电材料的重要方法之一。针对手工操作的种种不便,我们在MOCVD系统中引入了计算机控制,实现了用微机控制MOCVD生长的全过程。本文详细介绍了该MOCVD计算机控制系统的设计及实现方法,重点论述了其中的软件设计与实现方法。
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关键词
mocvd
晶体生长
计算机控制系统
设计
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职称材料
题名
MOCVD计算机控制系统的设计与实现
1
作者
耿静
王遵立
鲁礼松
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《微计算机信息》
2001年第11期14-15,共2页
文摘
MOCVD是金属有机化学气相沉积技术的简称,即通过MOCVD设备,在衬底上生长材料晶体的一种方法。用这种方法生长出来的晶体可用于各种芯片的制造。这是当前研制新型光电材料的重要方法之一。针对手工操作的种种不便,我们在MOCVD系统中引入了计算机控制,实现了用微机控制MOCVD生长的全过程。本文详细介绍了该MOCVD计算机控制系统的设计及实现方法,重点论述了其中的软件设计与实现方法。
关键词
mocvd
晶体生长
计算机控制系统
设计
Keywords
mocvd multithread real time watching bde
分类号
O78 [理学—晶体学]
TP273.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
MOCVD计算机控制系统的设计与实现
耿静
王遵立
鲁礼松
《微计算机信息》
2001
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