GaN-MOCVD设备产业化发展战略研究——Ⅲ族氮化物半导体的热点、难点、机遇和挑战

以氮化镓(GaN)为代表的Ⅲ族氮化物半导体材料已经成为世界范围的研究热点。但是,采用异质外延法生长的GaN,由于衬底材料晶格失配和热失配而存在高密度的位错缺陷和产生龟裂;外延生长所用的源材料之间存在严重的气相预反应以及MO源对氧和水份等杂质十分敏感,因而外延质量和成品率强烈依赖于设备性能和工艺条件。无论是设备还是工艺,都还存在很大的发展空间和机遇,预料3年～5年内国外将推出每批几十片的商用机型,我国相关设备制造和器件开发面临严峻挑战。

半导体照明(LED)产业MOCVD设备专利现状及发展策略研究——以广东省为例

从专利的角度研究LED产业技术制高点之一的MOCVD设备的竞争格局和发展趋势。对THOMSON的DWPI数据库和广东省专利信息服务平台的国家知识产权局全领域代码化专利数据库进行专利检索(截止时间为2011年12月31日),分别从整体产业、国家(地区)、广东省、技术构成以及主要公司来华专利布局等方面研究中国和广东省MOCVD设备技术专利布局情况,并对广东省LED产业MOCVD设备专利发展提出战略性建议。

LED产业MOCVD设备专利信息分析

通过世界专利索引数据库(DWPI)对MOCVD设备专利进行全面检索,然后进行人工标引,剔除不相关专利,经过引证、权利要求项、诉讼等指标的筛选,对AIXTRON的喷淋头结构技术和VECOO公司的MOCVD托盘技术专利进行分析和预警。在"七国两组织"专利数据库与综合专利检索分析系统中,检索出中国的MOCVD设备申请专利,将国内申请和来华申请专利的关键技术点进行比对分析。通过核心技术分析和预警、关键技术点比对分析为中国在这些技术领域做出专利部署或技术研发,制定出适合LED产业MOCVD设备自主知识产权发展战略和政策提供一定的参考和依据。

MOCVD设备〖集散控制系统〗设计

介绍了集散控制 MOCVD 系统的研究和应用。该设备是生长半导体材料 GaN 的关键设备。文中重点探讨了用 PLC 实现该设备的控制系统,并给出了硬件设计和工控软件的应用。

DeviceNet现场总线在MOCVD设备上的应用

以MOCVD设备为例,介绍一种基于DeviceNet现场总线标准,采用远程DeviceNet扫描仪SST-END-1-C2与流量控制器、压力控制器构成现场总线控制网络。给出了DeviceNet软件设计与控制实现。使用效果表明DeviceNet是基于CAN总线技术的一种低成本的通信链接,是一种低端网络系统,具有低成本、高效率、高可靠性的特点。

MOCVD设备与现代MOCVD技术研究

MOCVD,即金属有机物化学气相沉积法、金属有机物气相外延生长,是一种制备化合物半导体薄层的方法,应用于多个领域,如太阳能电池、半导体激光器、LED等。现有的MOCVD设备主要依赖进口,成本较高,因此MOCVD设备的研究对国防高端技术、新能源领域都很有必要。文章简单分析了MOCVD设备以及MOCVD技术。

低压MOCVD设备设计

采用了一种新的设计原理，即以流量计为基准，将气体入口端和出口端压力双重分别统一控制，进行了低压ＭＯＣＶＤ设计。本设备引入模拟反应室，减少了在ＶＥＮＴ－ＲＵＮ转换时反应室内的压力波动，为确保材料生长的均匀性提供了有利条件。

中微MOCVD设备技术性突破大获LED业界认可

上海2013年11月21日电——中微半导体设备有限公司（简称“中微”）的MOCVD设备PrismoD-BlueTM于本月举办的第十五届中国国际工业博览会（简称“工博会”）上荣获银奖。该产品于今年3月正式发布，是此次获奖产品中唯一代表半导体外延工艺的MOCVD设备，该产品技术对于高亮度LED的大规模生产至关重要。作为生产LED芯片的关键设备，MOCVD设备市场一直为欧美企业所垄断。具有自主知识产权的MOCVD设备国产化成功，意味着相关技术长期被国外垄断的局面将被打破，国内LED自主产业生态链也将更加完善。

综合利用MOCVD设备尾气的装置

本实用新型提供一种综合利用MOCVD设备尾气的装置,MOCVD的尾气通过管道进入低压缓冲罐,低压缓冲罐通过压缩机连接于高压缓冲罐,高压缓冲罐管道连接于预冷交换器上,预冷交换器下端管道连接有低温冷凝器,低温冷凝器下方管道连接有气液分离器,气液分离器的下端通过液氨泵与液氨储槽连接、顶端管道连接于分子筛吸附柱上,分子筛吸附柱上端连接在变压吸附柱上,变压吸附柱管道连接于氢气储罐。本实用新型结构简单,能够对MOCVD尾气进行有效分离,液氨和氢气被回收,可直接应用到其他行业,氮气可以直接排放,综合利用率高,且没有安全和环保的问题。

中微MOCVD设备技术性突破备受LED业界青睐

日前，中微半导体设备有限公司（简称“中微”）的MOCVD设备PrismoD—BlueTM于第十五届中国国际工业博览会（简称“工博会”）上荣获银奖。该产品于今年3月正式发布，是此次获奖产品中唯一代表半导体外延工艺的MOCVD设备，该产品技术对于高亮度LED的大规模生产至关重要。作为生产LED芯片的关键设备，

三安光电再获芜湖市政府MOCVD设备补贴3．120万元

8月22日，三安光电公告，子公司安徽三安光电有限公司收到芜湖市政府9台设备部分补贴款3，120万元。公司与安徽省芜湖市政府签定的《三安光电芜湖光电产业化项目投资合作协议》约定，芜湖市政府按照购买MOCVD设备进度给予相应比例补贴。

中微MOCVD设备获众多客户认可,全面进入主流LED大生产线

中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称＂中微＂）自主研发制造的MOCVD设备Prismo D-Blue,是在国内几十家设备公司和研究所为开发MOCVD设备所做的多年努力中,唯一一个成功进入多个生产线,实现大规模量产,能和国际一流设备正面竞争的设备。在政府和产业界多年的努力推动下,我国已成为国际LED产业发展最快,规模最大的地区。

AIXTRON助力韩国光伏产业发展 提供首款GaAs MOCVD设备

AIXTRON日前宣布获得韩国先进纳米元件制造中心（KANC）的订单，向其提供一套12x4寸AIX 2600G3系统，用于太阳能电池制造业。该设备将被安装在KANC位于Gwanggyo Techno Valley的洁净室内，预计在今年上半年发货。这也是AIXTRON公司与KANC之间针对韩国新兴的三五族光伏产业所展开的合作。

华灿光电追购Veeco的MOCVD设备

Veeco公司日前宣布，华灿光电股份有限公司追加订购了其TurboDisc MaxBright GaN MOCVD，来大批量生产用于显示器和普通照明的发光二级管设备（LEDs）。华灿光电的总裁刘榕博士表示：“Veeco的设备能提供稳定的工艺，已经帮助我们成功地生产出了高质量、高亮度的LEDs。新增的MaxBrightMHP机台，由于可以从现有的Veeco机台无缝工艺转转移，我们生产线的产能可以获得迅速增加。”

中国首台具有自主知识产权MOCVD设备问世

由青岛杰生电气有限公司承担的国家863半导体照明工程重点项目“氮化镓-MOCVD深紫外LED材料生长设备”研制取得突破，我国首台具有自主知识产权的并能同时生长6片外延片的MOCVD设备研制成功。

中微公司发布用于深紫外LED量产的MOCVD设备Prismo HiT3^TM

中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”),日前宣布推出Prismo HiT3^TM MOCVD设备,主要用于深紫外LED量产。中微Prismo系列MOCVD设备目前已进入全球大多数领先的蓝绿光LED制造商,此次推出的Prismo HiT3^TM是中微Prismo系列MOCVD设备的最新产品。

MOCVD设备成功实现国产化

事件：2013年初，国产MOCVD设备纷纷出炉，具有自主知识产权的MOCVD设备国产化成功，意味着相关技术长期被国外垄断的局面将被打破，国内LED自主产业生态链也将更加完善。广东省中科宏微半导体设备有限公司（以下简称“中科宏微”）研制开发的量产型MOCVD设备在国内首次实现5台实际销售成绩，截至2013年10月，中科宏微的5台设备已经陆续交付客户；2012年12月6日，上海理想能源有限公司研制开发的MOCVD设备成功下线，并与客户签订了设备应用验证合同；2012年12月12日，中晟光电设备（上海）有限公司在客户的多次考察和验证各项工艺的基础上，

2011年MOCVD设备厂营收优于2010年全球需求量将达900～1000台

（台北讯）根据DIGITIMES统计,2010年全球MOCVD机台需求量为800台,较2009年大幅成长277%,DIGITIMES Research分析师兼项目经理林芬卉分析,该年度成长主要来自南韩、中国台湾、中国大陆地区贡献。

国外MOCVD欲封喉 昭信设备或成新希望

2009年1月，广东昭信集团与华中科技大学正式签约共同研发国产LED（发光二极管）外延芯片核心设备半导体照明芯片设备（MOCVD）。目前，双方正进行项目样机试制及项目产业化。广东昭信半导体装备制造有限公司总经理甘志银表示，一旦国产MOCVD设备产业化推向市场。