非均匀沟道MOS辐照正空间电荷迁移率模型

提出非均匀沟道MOS辐照正空间电荷迁移率模型 .借助镜像法导出沟道电离杂质与辐照正空间电荷的二维场和二维互作用势的分布 ,由此给出非均匀n沟和p沟的迁移率表示式 ,其解析解与二维仿真值十分吻合 .还借助二维仿真器计算均匀沟道MOS辐照正空间电荷迁移率的变化值 ,其值和文献 [2 。