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钛酸铋钠基铁电薄膜掺杂工艺研究
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作者 李大吉 王亚平 王卓 《广西轻工业》 2008年第1期42-43,41,共3页
论文首次介绍了最新的钙掺杂钛酸铋钠薄膜的金属有机溶液沉积法(MOSD法)-匀胶法甩膜(Spin coating)工艺,提出现行铁电薄膜制备工艺要解决的一些问题。
关键词 钙掺杂 钛酸铋钠基 铁电薄膜 mosd+匀胶法制膜工艺
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