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乙炔笼网形空心阴极放电特性研究
1
作者
吴明忠
田修波
+3 位作者
李慕勤
任逸群
巩春志
魏荣华
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期1403-1407,共5页
为解决常规直流脉冲等离子体增强化学气相沉积工艺制备类金刚石膜沉积速率低问题,美国西南研究院开发了"笼网等离子体浸没离子沉积技术"。采用这种技术,本次实验研究了乙炔气压、流量、脉冲电压及氩气分压等工艺参数对笼形空...
为解决常规直流脉冲等离子体增强化学气相沉积工艺制备类金刚石膜沉积速率低问题,美国西南研究院开发了"笼网等离子体浸没离子沉积技术"。采用这种技术,本次实验研究了乙炔气压、流量、脉冲电压及氩气分压等工艺参数对笼形空心阴极放电动力学的影响。结果表明:在单个脉冲辉光放电过程中存在自辉光和空心阴极两种放电模式。工艺参数的影响表现为,乙炔气压由2.5升高到8 Pa,笼网放电击穿电压由1100降为620 V;当脉冲电压从900升高到1400 V,对应乙炔流量为200和100 m L/min时,工作气压分别下降1.4和3.9 Pa;提高脉冲电压或氩气分压,笼形空心阴极辉光增强,笼网电流增大,在p(C2H2):p(Ar)为1∶4时有最高值32 A。
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关键词
笼网等离子体浸没离子沉积
放电特性
工艺参数
电流波形
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职称材料
题名
乙炔笼网形空心阴极放电特性研究
1
作者
吴明忠
田修波
李慕勤
任逸群
巩春志
魏荣华
机构
哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室
佳木斯大学材料科学与工程学院
Southwest Research Institute
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期1403-1407,共5页
基金
国家自然科学基金项目(51175118
U1330110)
哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室开放课题基金(AWPT-Z02)
文摘
为解决常规直流脉冲等离子体增强化学气相沉积工艺制备类金刚石膜沉积速率低问题,美国西南研究院开发了"笼网等离子体浸没离子沉积技术"。采用这种技术,本次实验研究了乙炔气压、流量、脉冲电压及氩气分压等工艺参数对笼形空心阴极放电动力学的影响。结果表明:在单个脉冲辉光放电过程中存在自辉光和空心阴极两种放电模式。工艺参数的影响表现为,乙炔气压由2.5升高到8 Pa,笼网放电击穿电压由1100降为620 V;当脉冲电压从900升高到1400 V,对应乙炔流量为200和100 m L/min时,工作气压分别下降1.4和3.9 Pa;提高脉冲电压或氩气分压,笼形空心阴极辉光增强,笼网电流增大,在p(C2H2):p(Ar)为1∶4时有最高值32 A。
关键词
笼网等离子体浸没离子沉积
放电特性
工艺参数
电流波形
Keywords
mpiid
Discharge characteristics
Technological parameter
Current waveform
分类号
TB716 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
乙炔笼网形空心阴极放电特性研究
吴明忠
田修波
李慕勤
任逸群
巩春志
魏荣华
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
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