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基于共溅射ZnO/SnO_(2)异质结薄膜的气体传感器研究 被引量:2
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作者 孙士斌 张叶裕 +1 位作者 高晨阳 常雪婷 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期61-64,共4页
采用射频磁控共溅射法在叉指电极上制备了ZnO/SnO_(2)n-n异质结复合薄膜,系统测试了其气敏特性,并分析了其气敏机理。结果表明,与ZnO薄膜和SnO_(2)薄膜气体传感器相比,ZnO/SnO_(2)异质结薄膜气体传感器具有更低的工作温度、更高的灵敏... 采用射频磁控共溅射法在叉指电极上制备了ZnO/SnO_(2)n-n异质结复合薄膜,系统测试了其气敏特性,并分析了其气敏机理。结果表明,与ZnO薄膜和SnO_(2)薄膜气体传感器相比,ZnO/SnO_(2)异质结薄膜气体传感器具有更低的工作温度、更高的灵敏度以及更快的响应和恢复速度。ZnO/SnO_(2)异质结薄膜气体传感器对乙醇具有较好的选择性,最低检测体积分数为1×10^(-6),最佳工作温度为250℃;对1×10^(-4)乙醇气体的灵敏度可达18.4,响应时间和恢复时间分别为10 s和19 s。 展开更多
关键词 磁控共溅射 ZnO/SnO_(2)异质结 复合薄膜 气体传感器
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基于LabVIEW的红外气体传感器自动批量标定测试系统 被引量:1
2
作者 宋栓军 张婕 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第2期65-72,共8页
针对红外气体传感器在标定过程中存在效率低、工作量大、易出错等问题,设计了一种基于LabVIEW的红外气体传感器自动批量标定测试系统。系统由红外气体传感器、流量计、温湿度实验箱、采集板及上位机组成。采用LabVIEW编写软件程序,功能... 针对红外气体传感器在标定过程中存在效率低、工作量大、易出错等问题,设计了一种基于LabVIEW的红外气体传感器自动批量标定测试系统。系统由红外气体传感器、流量计、温湿度实验箱、采集板及上位机组成。采用LabVIEW编写软件程序,功能包括:参数设置、采集板和红外气体传感器的连通性测试、控制温箱和流量计实现定时保温和定时通入比例气体、采集红外气体传感器数据、自动标定、自动处理数据等。该软件编程采用多线程,保证各项功能同时进行,具有界面美观、运行速度快、稳定性强、可靠性高的优点。标定测试结果显示:系统结构紧凑,运行稳定且操作简单,该系统可高效并广泛应用在实际生活中的大批量红外传感器自动标定。 展开更多
关键词 自动批量标定 LABVIEW 红外气体传感器 数据通讯
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基于MPSO-BP算法的四电极电化学气体传感器温度补偿研究
3
作者 刘伟 鲁露 +2 位作者 杨文博 赵曼玉 魏广芬 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期29-34,共6页
针对四电极电化学气体传感器的测量精度极易受环境温度影响的问题,提出一种基于粒子群优化BP神经网络算法(PSO-BP)的温度补偿方法。利用改进的PSO算法(MPSO)对BP神经网络的权值和阈值进行优化,构造四电极电化学气体传感器的温度补偿模型... 针对四电极电化学气体传感器的测量精度极易受环境温度影响的问题,提出一种基于粒子群优化BP神经网络算法(PSO-BP)的温度补偿方法。利用改进的PSO算法(MPSO)对BP神经网络的权值和阈值进行优化,构造四电极电化学气体传感器的温度补偿模型,并设计了气体传感器测试系统。实验结果表明,MPSO-BP算法可有效提高BP神经网络的收敛速度和泛化能力;基于MPSO-BP算法的四电极气体传感器温度补偿模型,可将温度补偿误差控制在0.1%以内。 展开更多
关键词 温度补偿 电化学气体传感器 粒子群优化 BP神经网络 四电极
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基于纳米WO_(3)半导体材料的H_(2)气体传感器的研究现状
4
作者 徐红燕 李根 《中国粉体技术》 CAS CSCD 2024年第5期9-20,共12页
【目的】梳理对氢气气体响应快、灵敏度高的气体传感器研究现状,为研究高灵敏度、高选择性、易制备的H2气体传感器提供思路。【研究现状】纳米WO_(3)材料作为N型半导体,具有宽带隙、热稳定性高、易合成等优点,广泛应用于气体传感器领域;... 【目的】梳理对氢气气体响应快、灵敏度高的气体传感器研究现状,为研究高灵敏度、高选择性、易制备的H2气体传感器提供思路。【研究现状】纳米WO_(3)材料作为N型半导体,具有宽带隙、热稳定性高、易合成等优点,广泛应用于气体传感器领域;WO_(3)基氢气传感器发展迅速,综述近年来国内外WO_(3)基氢气传感器的研究成果,概括WO_(3)材料氢气传感器制备技术、形貌特征、气敏性能的研究成果,总结上述成果的优势与现阶段的局限性;WO_(3)纳米材料由于独特的结构特性,存在多种提高其性能的方式,包括形貌控制、异质结构筑、贵金属掺杂;重点阐述WO_(3)纳米材料不同调整修饰技术的基本原理。【展望】WO_(3)基氢气传感器的发展势头较好,提升性能的方式灵活多样,制备出的传感器气敏性能优异,WO_(3)基氢气传感器在未来具有深厚的发展潜力。 展开更多
关键词 气体传感器 氧化物半导体 三氧化钨
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利用气体压力传感器改进二氧化硫性质实验
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作者 万莉 杨新佳 夏晓丽 《化学教学》 CAS 北大核心 2024年第9期77-79,共3页
分析比较三版教材及相关文献中关于二氧化硫制取及其性质检验的内容,对现有实验存在的问题进行设计与改进。将注射器、医用输液袋和气体压力传感器等联合使用,实现气体制取、性质检验、气体收集及尾气处理等一体化实验设计,有效帮助学... 分析比较三版教材及相关文献中关于二氧化硫制取及其性质检验的内容,对现有实验存在的问题进行设计与改进。将注射器、医用输液袋和气体压力传感器等联合使用,实现气体制取、性质检验、气体收集及尾气处理等一体化实验设计,有效帮助学生构建“可逆反应”概念。改进后的实验具有操作方便、现象明显、绿色环保、便于理解等优点。 展开更多
关键词 二氧化硫 气体压力传感器 实验改进 一体化实验设计
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便携式荧光气体传感器的设计及应用
6
作者 张志江 李涛 +2 位作者 施泽宗 苑明帅 付艳艳 《中国安全防范技术与应用》 2024年第2期37-39,共3页
荧光气体传感器是一种基于光学响应的传感器,通过特定的化学反应或吸附过程来检测目标物质。本文对荧光气体传感器进行了简要概述,提出了一种便携式的荧光气体传感器,对传感器的设计以及功能实现进行了介绍。
关键词 荧光气体传感器 荧光气体检测器 便携
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金属氧化物半导体MEMS气体传感器研究进展 被引量:2
7
作者 尹嘉琦 沈文锋 +3 位作者 吕大伍 赵京龙 胡鹏飞 宋伟杰 《材料导报》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期30-43,共14页
随着物联网的快速发展,各领域对气体监测的需求越来越大,基于先进微机电系统(Micro-electro-mechanical systems, MEMS)技术的金属氧化物半导体(Metal oxide semiconductor, MOS)气体传感器在过去几十年里取得了很大发展。MEMS微热板的... 随着物联网的快速发展,各领域对气体监测的需求越来越大,基于先进微机电系统(Micro-electro-mechanical systems, MEMS)技术的金属氧化物半导体(Metal oxide semiconductor, MOS)气体传感器在过去几十年里取得了很大发展。MEMS微热板的多样化设计、MOSs纳米结构的多样化以及机器学习算法的出现为MEMS的传感性能以及智能传感系统的构建提供了很大助力。本文从MEMS气体传感器的分类、制备和应用以及传感器阵列的构建等方面综述了金属氧化物半导体MEMS气体传感器的最新研究进展,并对MEMS基气体传感器的发展前景进行了总结和展望。 展开更多
关键词 气体传感器 金属氧化物半导体 微机电系统 传感器阵列 智能传感系统
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检测空气绝缘分解气体NO_(2)的Pd-MoSe_(2)传感器研究 被引量:1
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作者 吴宝良 李谈笑 +3 位作者 杨家隆 廖一铭 蒋佳明 周渠 《重庆理工大学学报(自然科学)》 CAS 北大核心 2024年第7期220-227,共8页
针对目前NO_(2)传感器响应低、恢复速度慢、功耗高等问题,提出一种用于空气绝缘分解气体NO_(2)检测的金属钯Pd掺杂MoSe_(2)基气体传感方法。制备了本征MoSe_(2)气敏传感器与Pd-MoSe_(2)气敏传感器,并基于所搭建气敏响应测试平台研究其对... 针对目前NO_(2)传感器响应低、恢复速度慢、功耗高等问题,提出一种用于空气绝缘分解气体NO_(2)检测的金属钯Pd掺杂MoSe_(2)基气体传感方法。制备了本征MoSe_(2)气敏传感器与Pd-MoSe_(2)气敏传感器,并基于所搭建气敏响应测试平台研究其对NO_(2)的气敏响应特性,利用第一性原理计算NO_(2)在MoSe_(2)晶面上的吸附参数和吸附行为。经过气敏特性测试发现:室温工作时,Pd-MoSe_(2)气敏传感器对20μL/L NO_(2)的响应值为3.95,响应时间和恢复时间分别为38 s和46 s,可实现2μL/L NO_(2)的有效检测。理论计算结果表明:本征MoSe_(2)对NO_(2)的吸附为弱物理吸附,而Pd-MoSe_(2)表现为强化学吸附。研究结果可为高性能MoSe_(2)气体传感器的制备及其在NO_(2)在线监测中的应用提供借鉴。 展开更多
关键词 空气绝缘分解气体 硒化钼 NO_(2) 气敏传感器
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基于COA-GRU的低成本气体传感器数据修正方法
9
作者 李炳伟 叶树霞 +3 位作者 齐亮 张永韡 冯锦 陈宇霆 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第3期120-126,共7页
针对低成本气体传感器在受到温度、湿度、压力、气体交叉干扰等影响时检测精度低的问题,提出了一种长鼻浣熊-门控循环单元神经网络(COA-GRU)的修正模型,用于提高传感器检测精度。首先,根据低成本传感器的非线性特性构建了GRU修正模型;其... 针对低成本气体传感器在受到温度、湿度、压力、气体交叉干扰等影响时检测精度低的问题,提出了一种长鼻浣熊-门控循环单元神经网络(COA-GRU)的修正模型,用于提高传感器检测精度。首先,根据低成本传感器的非线性特性构建了GRU修正模型;其次,利用COA算法解决修正模型的多局部极值以及参数组合寻优问题;最后,利用低成本传感器组以及H200D气体检测装置的实测数据对该方法进行了仿真实验。结果表明,使用COA-GRU修正模型后,SO_(2)、CO、NO_(2)、CO_(2)传感器的平均绝对误差分别降低了72.0%、28.4%、29.6%、13.5%,能够有效提高低成本传感器的检测精度。 展开更多
关键词 气体传感器 长鼻浣熊门控循环单元 修正模型 检测精度
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基于GaN纳米薄膜的室温三甲胺气体传感器
10
作者 李荣超 菅傲群 +2 位作者 袁仲云 杨琨 禚凯 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2024年第4期395-401,410,共8页
三甲胺在实验室和工业生产中被广泛使用,由于其具有毒性和挥发性,开发能够在室温下对其进行检测的传感器尤为重要。采用气喷旋涂和高温氮化的方法制备出GaN纳米薄膜,再利用磁控溅射仪对薄膜的两端溅射覆盖一层金作为电极制作成气体传感... 三甲胺在实验室和工业生产中被广泛使用,由于其具有毒性和挥发性,开发能够在室温下对其进行检测的传感器尤为重要。采用气喷旋涂和高温氮化的方法制备出GaN纳米薄膜,再利用磁控溅射仪对薄膜的两端溅射覆盖一层金作为电极制作成气体传感器单元并进行了一系列气敏测试。在室温条件下,GaN纳米薄膜传感器对10ppm三甲胺的响应值为2.54,响应/恢复时间分别为41 s和139 s,检测下限为1ppm。传感器在1ppm~50ppm三甲胺浓度范围内也呈现出良好的线性响应,并具有优异的重复性、稳定性和选择性。GaN纳米薄膜传感器的表面堆积覆盖有许多的纳米颗粒,形成的独特结构有利于气体分子的吸附。纳米薄膜表面存在大量的化学吸附氧,使得传感器对三甲胺展现出良好的传感性能。 展开更多
关键词 GAN 三甲胺 纳米薄膜 气体传感器 室温
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NO_(2)气体传感器的研究现状 被引量:5
11
作者 武天飞 杨先军 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第4期7-11,16,共6页
二氧化氮(NO_(2))气体是空气中的主要污染物之一,严重危害生态环境和人体健康。因此,开发高气敏性和选择性的NO_(2)气体传感器对空气中NO_(2)体积分数的检测显得尤为重要。综述了近年来NO_(2)气体传感器的研究现状,重点对石墨烯、金属... 二氧化氮(NO_(2))气体是空气中的主要污染物之一,严重危害生态环境和人体健康。因此,开发高气敏性和选择性的NO_(2)气体传感器对空气中NO_(2)体积分数的检测显得尤为重要。综述了近年来NO_(2)气体传感器的研究现状,重点对石墨烯、金属氧化物、碳纳米管和聚合物4种类型的NO_(2)气体传感器敏感材料进行了阐述,讨论了NO_(2)气体传感器的制备方法和敏感材料的气敏性,同时指出了传感器存在的问题。 展开更多
关键词 二氧化氮 气体传感器 气敏性 选择性
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微波法制备金属氧化物纳米材料气体传感器研究进展
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作者 卫涛 李伟 +1 位作者 解小玲 王晓敏 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期14-18,23,共6页
微波法具有反应时间短、热量分布均匀、反应温度低、控制精确、抑制副反应、操作简单等优点。介绍了微波法的作用机理,综述了微波法在金属氧化物纳米材料气体传感器制备中的研究进展,总结了各种微波法的优点,并指出了微波法制备金属氧... 微波法具有反应时间短、热量分布均匀、反应温度低、控制精确、抑制副反应、操作简单等优点。介绍了微波法的作用机理,综述了微波法在金属氧化物纳米材料气体传感器制备中的研究进展,总结了各种微波法的优点,并指出了微波法制备金属氧化物纳米材料气体传感器实现商业化生产面临的问题。 展开更多
关键词 微波法 金属氧化物 纳米材料 气体传感器
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同轴静电纺丝法制备气体传感器的研究进展
13
作者 郭琛琰 张怀平 李伟 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期52-56,共5页
近几十年来同轴静电纺丝法的发展取得了巨大进展。介绍了同轴静电纺丝法原理、工艺和参数,综述了同轴静电纺丝法在金属氧化物气体传感器制备方面的研究进展,并对同轴静电纺丝法在制备金属氧化物纳米材料气体传感器领域应用的发展趋势进... 近几十年来同轴静电纺丝法的发展取得了巨大进展。介绍了同轴静电纺丝法原理、工艺和参数,综述了同轴静电纺丝法在金属氧化物气体传感器制备方面的研究进展,并对同轴静电纺丝法在制备金属氧化物纳米材料气体传感器领域应用的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 同轴静电纺丝 金属氧化物 纳米材料 气体传感器
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针对半导体气体传感器的电信号采集装置
14
作者 段奇 王宇轩 +3 位作者 李栋辉 刘东明 韩丹 桑胜波 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第1期88-90,98,共4页
针对半导体气体传感器对环境敏感、电阻跨度大的特性,设计了一种针对半导体气体传感器灵敏度高、体积小、适用性广的电信号采集装置。采用多档位分压法实现对欧姆(Ω)至吉欧姆(GΩ)范围的电阻测量,通过滤波与温湿度补偿消除物理、温湿... 针对半导体气体传感器对环境敏感、电阻跨度大的特性,设计了一种针对半导体气体传感器灵敏度高、体积小、适用性广的电信号采集装置。采用多档位分压法实现对欧姆(Ω)至吉欧姆(GΩ)范围的电阻测量,通过滤波与温湿度补偿消除物理、温湿度干扰;同时装置具有本地报警、上位机报警、气室等设计。本文装置实现了半导体气体传感器的精确测量,同时设计集成电路,将传感器封装为可实际应用系统,采用国产EDA与核心芯片设计,有效填补了该领域的空白。 展开更多
关键词 半导体气体传感器 嵌入式 大电阻测量
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基于生物质衍生α-Fe_(2)O_(3)的丙酮气体传感器实验研究
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作者 郭路路 赵姝姝 +3 位作者 杨桂茂 徐军 张旭光 杨志民 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第1期29-32,共4页
研制具有高灵敏度、低检测限的丙酮气体传感器对于工业生产安全和人体疾病诊断具有重要意义。本文以生物质脱脂棉为模板,采用金属盐溶液浸泡法和空气中煅烧处理相结合的策略制备了α-Fe_(2)O_(3)微米管,然后采用X射线衍射仪、热重分析... 研制具有高灵敏度、低检测限的丙酮气体传感器对于工业生产安全和人体疾病诊断具有重要意义。本文以生物质脱脂棉为模板,采用金属盐溶液浸泡法和空气中煅烧处理相结合的策略制备了α-Fe_(2)O_(3)微米管,然后采用X射线衍射仪、热重分析仪、扫描电子显微镜(SEM)对α-Fe_(2)O_(3)的物相组成与表面形貌进行表征。所制备的α-Fe_(2)O_(3)传感器表现出优异的丙酮传感性能,包括高响应(192.51%@20×10^(-6)),低检测限(1×10^(-6)),优异的重复性和选择性,并分析传感器的敏感机制。该工作不仅为多孔金属氧化物材料的简便设计提供了方案,而且在构建用于高性能丙酮气体检测系统方面具有应用潜力。 展开更多
关键词 丙酮气体传感器 生物质模板 多孔材料 α-Fe_(2)O_(3)
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用于低浓度H_(2)S室温稳定监测的CsPbBr_(3)@TiO_(2)异质结微晶气体传感器
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作者 逯江浩 黄胜 +4 位作者 陈露 程永超 高莎莎 陶雪钰 顾修全 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第10期1815-1826,共12页
通过简单的溶液法用TiO(Acac)_(2)原位包覆CsPbBr_(3)全无机钙钛矿材料,在400℃加热后直接制成了CsPbBr_(3)@TiO_(2)核壳结构微晶,使用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高倍透射电子显微镜(HRTEM)及X射线光电子能谱(XPS)对CsPbBr_... 通过简单的溶液法用TiO(Acac)_(2)原位包覆CsPbBr_(3)全无机钙钛矿材料,在400℃加热后直接制成了CsPbBr_(3)@TiO_(2)核壳结构微晶,使用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高倍透射电子显微镜(HRTEM)及X射线光电子能谱(XPS)对CsPbBr_(3)@TiO_(2)微晶的晶体结构、微观形貌、化学组成进行表征。结果表明,原位金属氧化物包覆钙钛矿形成分散良好、大小为4~8μm的球壳结构。用旋涂法在掺氟氧化锡(FTO)电极上构筑了CsPbBr_(3)@TiO_(2)薄膜气体传感器,在室温下测试其对H_(2)S气体的检测灵敏度,结果发现,该传感器对H_(2)S气体的检测下限达25 ppb(1 ppb=10-9),对100 ppb H_(2)S响应/恢复时间为24/21 s,灵敏度为0.59,响应曲线具有良好的循环稳定性。另外,传感器暴露在空气中30 d内的稳定性高于90%,且具有优异的气体选择性和抗湿度干扰性。通过光致发光(PL)光谱、时间分辨光致发光(TRPL)光谱、紫外-可见漫反射光谱(UV-Vis)及紫外光电子能谱(UPS)测试分析了其能带位置、电荷动力学和配位机理,并用氧吸附原理对其传感机理进行了解释。该工作为室温下低浓度H_(2)S气体的稳定监测提供了一种新的思路。 展开更多
关键词 CsPbBr_(3) 钙钛矿 核壳结构 异质结 H_(2)S气体传感器 氧吸附原理
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SF_(6)分解组分的气体传感器检测方法综述 被引量:2
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作者 蒋庆明 张艳妹 +3 位作者 王明祥 李洨雨 徐敏 贾鹏飞 《绝缘材料》 CAS 北大核心 2024年第3期1-14,共14页
填充六氟化硫(SF_(6))的电气设备内部存在绝缘缺陷时可能发生过热或放电,迫使SF_(6)分解产生一些特定的气体副产物。通过检测这些副产物的种类和浓度,可以判断电气设备中是否存在绝缘缺陷以及缺陷的类型和严重程度。气体传感器作为气体... 填充六氟化硫(SF_(6))的电气设备内部存在绝缘缺陷时可能发生过热或放电,迫使SF_(6)分解产生一些特定的气体副产物。通过检测这些副产物的种类和浓度,可以判断电气设备中是否存在绝缘缺陷以及缺陷的类型和严重程度。气体传感器作为气体检测的重要工具,在绝缘缺陷的气体检测法中受到了越来越多的关注。本文重点回顾了使用气体传感器检测SF_(6)分解产物的方法,介绍了SF_(6)解离过程和特征气体的生成路径,详细阐述了用于SF_(6)分解特征气体检测的传感器气敏原理和优缺点;重点讨论了利用特征气体信息诊断绝缘缺陷的算法,并展望了通过传感器检测气体分解组分方法诊断绝缘缺陷的发展方向。 展开更多
关键词 六氟化硫 气体组分分析法 绝缘缺陷 气体传感器 金属氧化物半导体
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引力波探测中惯性传感器的残余气体动力学特性机理研究
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作者 徐峰 王玉青 +1 位作者 张俊 王旭迪 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期35-41,共7页
作为空间引力波探测的核心系统,惯性传感器在轨运行时的噪声干扰诱发机制解析是迫切需要解决的关键科学问题。惯性传感器中检验质量(TM)的残余加速度噪声是限制探测器灵敏度的最大噪声源。作为残余气体噪声的直接表征手段,惯性传感器复... 作为空间引力波探测的核心系统,惯性传感器在轨运行时的噪声干扰诱发机制解析是迫切需要解决的关键科学问题。惯性传感器中检验质量(TM)的残余加速度噪声是限制探测器灵敏度的最大噪声源。作为残余气体噪声的直接表征手段,惯性传感器复杂拓扑构型下气体分子逃逸时间动态特性解析亟待解决。文章首先考虑了狭小空间下检验质量块与周围壁面间的材料属性、放气特性等差异性,建立了异质空间复杂拓扑结构下的惯性传感器数理模型;其次解析出残余气体噪声与气体分子逃逸时间之间的定量约束关系,提取了逃逸时间核心影响因素;随后以蒙特卡洛模拟技术为切入点,得到约束条件下气体分子从板间扩散出去所需的逃逸时间及碰撞次数的模拟解。文章研究发现:不同气体成分、壁面性质对残余气体噪声有较大影响;考虑气体分子在壁面的滞留时间会大幅增加逃逸时间、降低碰撞频率。 展开更多
关键词 空间引力波探测 惯性传感器板间异质性 残余气体噪声 逃逸时间 表面碰撞次数
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Au修饰SnO_(2)薄膜兼容型高响应乙炔气体传感器研制
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作者 胡宗鑫 田兵 +2 位作者 谭则杰 徐振恒 王海容 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期129-138,共10页
为了实现变压器油中溶解的乙炔气体检测,研发了一款基于Au修饰SnO_(2)气敏薄膜的乙炔气体传感器。通过射频溅射制备SnO_(2)薄膜,进而通过直流溅射制备Au并改变溅射时间,得到不同Au修饰量的气敏薄膜,采用微机电系统(MEMS)工艺开发了基于... 为了实现变压器油中溶解的乙炔气体检测,研发了一款基于Au修饰SnO_(2)气敏薄膜的乙炔气体传感器。通过射频溅射制备SnO_(2)薄膜,进而通过直流溅射制备Au并改变溅射时间,得到不同Au修饰量的气敏薄膜,采用微机电系统(MEMS)工艺开发了基于气敏薄膜的乙炔气体传感芯片。对比纯SnO_(2)以及不同Au修饰量的SnO_(2)气敏薄膜的气敏性能,结果显示,基于20 s-Au修饰的SnO_(2)薄膜MEMS乙炔传感器性能最佳,最佳工作温度为200℃,体积分数为1×10^(-6)的乙炔气体的响应值高达14,响应恢复时间分别为5 s和87 s,且具有良好的重复性,检测限低至0.1×10^(-6)(体积分数)。对比测试体积分数为1×10^(-6)下变压器油中溶解的氢气、甲烷等其他气体,所研发的MEMS乙炔气体传感器仍具有优越的选择性,在长期测试下保持良好稳定性,可为解决变压器油中溶解乙炔气体的检测难题提供一种元件选择。 展开更多
关键词 变压器油 乙炔 Au修饰 氧化锡 气体传感器
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基于Nb掺杂Co_(3)O_(4)的高性能对二甲苯气体传感器 被引量:1
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作者 冀小华 曹开法 +2 位作者 李蒙 邓赞红 孟钢 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第6期524-530,共7页
p型Co_(3)O_(4)具有优异的挥发性有机化合物(VOC)催化氧化活性,但其在空气中呈现空穴累积层(HAL)构型,导致本征Co_(3)O_(4)传感器的VOC响应较弱。利用共沉淀法合成了0~5%Nb掺杂的Co_(3)O_(4)纳米材料,缺陷与形貌表征结果表明高价Nb掺杂... p型Co_(3)O_(4)具有优异的挥发性有机化合物(VOC)催化氧化活性,但其在空气中呈现空穴累积层(HAL)构型,导致本征Co_(3)O_(4)传感器的VOC响应较弱。利用共沉淀法合成了0~5%Nb掺杂的Co_(3)O_(4)纳米材料,缺陷与形貌表征结果表明高价Nb掺杂剂可诱导p型Co_(3)O_(4)发生晶格畸变及形貌改变,为对二甲苯气敏特性的提升发挥了重要作用。气敏测试结果表明:在最佳工作温度150℃下,3%Nb-Co_(3)O_(4)传感器对体积分数为100×10^(-6)的对二甲苯的响应从1.3(纯Co_(3)O_(4))提高到14;其选择性也得到了改善,可通过线性判别分析(LDA)准确识别9种不同气体。在为期15 d的稳定性测试中,其性能未有明显衰减。3%Nb-Co_(3)O_(4)表现出优异的对二甲苯传感器特性,为高性能p型金属氧化物半导体VOC传感器的设计提供了参考。 展开更多
关键词 气体传感器 Nb掺杂Co_(3)O_(4) 选择性 气体响应 对二甲苯
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