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国内外MSSBIRFPA的发展现状及其应用
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作者 程开富 《集成电路通讯》 2003年第4期8-12,共5页
本文介绍国内外金属硅化物肖特基势垒红外焦平面阵列(MSSBIRFPA)的发展现状。概述了PtSi、IrSi、GeSi/SiMSSBIRFPA的研制和开发水平,同时也介绍了MSSBIRFPA技术在军事上的应用情况及发展方向。
关键词 mssbirfpa 金属硅化物肖特基势垒红外焦平面阵列 PTSI IrSi GESI/SI 应用 CCD CMOS MOS
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