微细超声加工中恒力控制问题的研究

为提高微细超声波加工系统的稳定性和加工性能,对微细超声加工中微小加工力的恒定控制方法进行了深入研究。最终采用积分分离PID控制算法,实现了微小加工力的恒定控制。加工实验结果证明,该控制算法较好地解决了微细超声加工中加工力波动大且难以控制的问题。